ကမ္ဘာလုံးဆိုင်ရာ semiconductor လုပ်ငန်းသည် လက်ရှိတွင် မကြုံစဖူး တိကျမှုခေတ်ကို ဖြတ်သန်းနေပါသည်။ ဆီလီကွန်ဝေဖာများ၏ အင်္ဂါရပ်အရွယ်အစားများသည် 2nm နှင့် 1nm node များဆီသို့ ကျုံ့သွားသည်နှင့်အမျှ၊ မက်ထရိုလိုဂျီနှင့် စစ်ဆေးခြင်းတွင် အမှားအယွင်းအတွက် အနားသတ်သည် ပျောက်ကွယ်သွားခဲ့သည်။ ဤအန္တရာယ်များသောပတ်ဝန်းကျင်တွင်၊ အဆင့်မြင့်ဆုံး optical နှင့် electron-beam စနစ်များပင် ၎င်းတို့တည်ရှိသော platform များကဲ့သို့သာ ယုံကြည်စိတ်ချရသည်။ ဤအဖြစ်မှန်သည် လုပ်ငန်းတစ်ခုလုံးအတွက် သိသာထင်ရှားသော ပြောင်းလဲမှုတစ်ခုကို ဖြစ်ပေါ်စေခဲ့သည်- မှီခိုမှုတိုးပွားလာခြင်းwafer စစ်ဆေးရန်အတွက် သံလိုက်မဟုတ်သော ဂရနိုက်မြင့်မားသော throughput စမ်းသပ်မှုပတ်ဝန်းကျင်များအတွက် အခြေခံပစ္စည်းအဖြစ်။
ဆယ်စုနှစ်များစွာကြာအောင် သဘာဝကျောက်ပြားသည် ၎င်း၏ထူးခြားသောတုန်ခါမှု damping နှင့် အပူချဲ့ထွင်မှုကိန်းနည်းပါးခြင်းကြောင့် တိကျမှုအင်ဂျင်နီယာအတွက် "ရွှေစံနှုန်း" ဖြစ်ခဲ့သည်။ သို့သော် ခေတ်မီ wafer စစ်ဆေးခြင်း၏အခြေအနေတွင် ကျောက်ပြားအားလုံးကို တူညီစွာဖန်တီးထားခြင်းမဟုတ်ပါ။ စံအဆင့်ကျောက်ပြားတွင် သတ္တုပါဝင်မှုများ သို့မဟုတ် သံလိုက်ဓာတ်သတ္တုများရှိနေခြင်းသည် ဒေသအလိုက်သံလိုက်စက်ကွင်းအနှောင့်အယှက်ကို ဖန်တီးနိုင်သည်။ အီလက်ထရွန် beams သို့မဟုတ် အာရုံခံနိုင်သော သံလိုက်အာရုံခံကိရိယာများကို အသုံးပြုသည့်စနစ်များအတွက်၊ ထိုကဲ့သို့သောအနှောင့်အယှက်သည် ကပ်ဘေးကြီးတစ်ခုဖြစ်ပြီး beam တိမ်းစောင်းမှုနှင့် တိုင်းတာမှုမတိကျမှုများကို ဖြစ်ပေါ်စေပြီး အရည်အသွေးထိန်းချုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်တစ်ခုလုံးကို အနှောင့်အယှက်ဖြစ်စေသည်။
ZHHIMG သည် သံလိုက်ခံနိုင်ရည်အနည်းဆုံးဖြင့် ဘူမိဗေဒဆိုင်ရာဖွဲ့စည်းပုံများကို ရှာဖွေရန် ရွေးချယ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်ကို နှစ်ပေါင်းများစွာ ပြုပြင်မွမ်းမံခဲ့သည်။ အမှန်တကယ် ပံ့ပိုးပေးခြင်းဖြင့်wafer စစ်ဆေးရန်အတွက် သံလိုက်မဟုတ်သော ဂရနိုက်ကျွန်ုပ်တို့သည် ပစ္စည်းထုတ်လုပ်သူများအား ပစ္စည်းအနည်းငယ်ကိုသာ အသုံးပြုသည့် phantom “noise” မပါဘဲ resolution ၏ ကန့်သတ်ချက်များကို တွန်းအားပေးနိုင်စေပါသည်။ ဤနည်းပညာပိုင်းဆိုင်ရာ သိမ်မွေ့နက်နဲမှုသည် စံစစ်ဆေးရေးကိရိယာတစ်ခုကို sub-nanometer repeatability ကို ထိန်းသိမ်းနိုင်သည့် ကမ္ဘာ့အဆင့်မီ metrology suite နှင့် ခွဲခြားပေးပါသည်။
သံလိုက်လိုအပ်ချက်များနှင့်အပြိုင် ပတ်ဝန်းကျင်သန့်ရှင်းမှုအတွက် ညှိနှိုင်း၍မရသော လိုအပ်ချက်လည်း ရှိပါသည်။ ခေတ်မီ Fab တစ်ခုတွင် ပလက်ဖောင်းသည် ငြိမ်သက်နေရုံထက်မက လုပ်ဆောင်ရမည်ဖြစ်ပြီး ပတ်ဝန်းကျင်အတွက် "မမြင်ရအောင်" ထိန်းသိမ်းထားရမည်။ ဤနေရာတွင် a ၏ အယူအဆ ရှိသည်။သန့်ရှင်းခန်းနှင့် တွဲဖက်အသုံးပြုနိုင်သော ဂရနိုက်ပလက်ဖောင်းမရှိမဖြစ်လိုအပ်လာပါသည်။ ရိုးရာစက်မှုလုပ်ငန်းသုံးပစ္စည်းများသည် လေဟာနယ် သို့မဟုတ် မြင့်မားသောသန့်စင်မှုပတ်ဝန်းကျင်များတွင် မကြာခဏပျက်ကွက်လေ့ရှိပြီး ဓာတ်ငွေ့များထွက်ရှိခြင်း - ပိတ်မိနေသောဓာတ်ငွေ့များ သို့မဟုတ် အလင်းတန်းများကို ညစ်ညမ်းစေနိုင်သော သို့မဟုတ် ဝေဖာမျက်နှာပြင်ပေါ်တွင် စုပုံစေနိုင်သော ပျံ့လွင့်လွယ်သော အော်ဂဲနစ်ဒြပ်ပေါင်းများ ထုတ်လွှတ်ခြင်းကြောင့်ဖြစ်သည်။ ၎င်းသည် ကြီးမားသော “သေစေနိုင်သော ချို့ယွင်းချက်များ” ကို ဖြစ်စေသည်။
ZHHIMG အင်ဂျင်နီယာအတွေးအခေါ်သည် ဂရန်နိုက်မျက်နှာပြင်ကို ကျောက်တုံးတစ်တုံးအဖြစ် မဟုတ်ဘဲ စွမ်းဆောင်ရည်မြင့် အစိတ်အပိုင်းတစ်ခုအဖြစ် သဘောထားပါသည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ အထူးပြုလုပ်ငန်းစဉ်တိုင်းသည်သန့်ရှင်းခန်းနှင့် တွဲဖက်အသုံးပြုနိုင်သော ဂရနိုက်ပလက်ဖောင်းအမှုန်အမွှားများ ကွာကျခြင်းကို ဖယ်ရှားရန် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသော တင်းကျပ်သော သန့်ရှင်းရေးနှင့် တံဆိပ်ခတ်ခြင်း ပရိုတိုကောကို ဖြတ်သန်းပါသည်။ ဤပစ္စည်း၏ တည်တံ့မှုအဆင့်သည် Class 1 သို့မဟုတ် ISO 3 သန့်ရှင်းသောအခန်းများတွင် လည်ပတ်နေသော လစ်သိုဂရပ်ဖီနှင့် စစ်ဆေးရေးကိရိယာများအတွက် အရေးကြီးပါသည်၊ ထိုနေရာတွင် လွင့်စင်သွားသော အမှုန်တစ်ခုပင် ဒေါ်လာထောင်ပေါင်းများစွာ ဆုံးရှုံးနိုင်ပါသည်။
ကျောက်တုံး၏ ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာဂုဏ်သတ္တိများအပြင်၊ ဂရနိုက်ကို ပိုမိုကျယ်ပြန့်သော စက်ဗိသုကာလက်ရာထဲသို့ ပေါင်းစပ်ရန်အတွက် ဖွဲ့စည်းပုံဆိုင်ရာ ဒိုင်းနမစ်ကို နက်နက်ရှိုင်းရှိုင်း နားလည်ရန် လိုအပ်ပါသည်။ ဦးဆောင်ဥရောပနှင့် အမေရိကန် semiconductor OEM များသည် ရိုးရှင်းသော ပေးသွင်းသူများကို မရှာဖွေတော့ပါ။ ၂၄/၇ မြန်နှုန်းမြင့် wafer ကိုင်တွယ်မှု၏ အပူနှင့် စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ဖိစီးမှုများကို နားလည်သော ပူးပေါင်းဆောင်ရွက်သည့် မိတ်ဖက်များကို ရှာဖွေနေပါသည်။ ZHHIMG ၏ တိကျသော lapping နှင့် custom insert များတွင် ကျွမ်းကျင်မှုသည် air-bearing stages နှင့် linear motors များကို ဂရနိုက်အောက်ခြေသို့ တိုက်ရိုက်ချောမွေ့စွာ ပေါင်းစပ်နိုင်စေပြီး stack-up အမှားများကို အနည်းဆုံးဖြစ်စေသော ပေါင်းစည်းထားသော စနစ်တစ်ခုကို ဖန်တီးပေးပါသည်။
ကျွန်ုပ်တို့သည် စက်မှုလုပ်ငန်း၏ အနာဂတ်ကို မျှော်ကြည့်လာသည်နှင့်အမျှ ဖွဲ့စည်းပုံဆိုင်ရာ အခြေခံအုတ်မြစ်၏ အခန်းကဏ္ဍသည် အရေးပါမှု တိုးလာမည်ဖြစ်သည်။ High-NA EUV လစ်သိုဂရပ်ဖီနှင့် 3D NAND scaling ပေါ်ပေါက်လာမှုနှင့်အတူ၊ ၎င်း၏ ထုထည်နှင့် တည်ငြိမ်မှုwafer စစ်ဆေးရန်အတွက် သံလိုက်မဟုတ်သော ဂရနိုက်ပလက်ဖောင်းများသည် မြင့်မားသော အရှိန်မြှင့်မှုများနှင့် ပိုမိုရှုပ်ထွေးသော အပူဝန်များကို ကိုင်တွယ်ဖြေရှင်းရန် တိုးတက်ပြောင်းလဲရမည်ဖြစ်သည်။ ZHHIMG သည် ဤတိုးတက်ပြောင်းလဲမှု၏ ရှေ့တန်းတွင်ရှိပြီး ဆယ်စုနှစ်တစ်ခုခန့်က မဖြစ်နိုင်ဟု ယူဆခဲ့ကြသော ခံနိုင်ရည်များနှင့် ပြားချပ်မှုနှင့် တူညီမှုကို အတည်ပြုရန် အဆင့်မြင့် မက်ထရိုလိုဂျီကိရိယာများတွင် ရင်းနှီးမြှုပ်နှံထားသည်။
ZHHIMG မှာ ထူးချွန်မှုအတွက် ကတိကဝတ်ကို semiconductor လောကမှာ တည်ငြိမ်မှုဟာ ဆန်းသစ်တီထွင်မှုရဲ့ ရှေ့ပြေးနိမိတ်ဖြစ်တယ်ဆိုတာကို နားလည်ခြင်းက မောင်းနှင်ပါတယ်။ မြင့်မားတဲ့စွမ်းဆောင်ရည်သန့်ရှင်းခန်းနှင့် တွဲဖက်အသုံးပြုနိုင်သော ဂရနိုက်ပလက်ဖောင်းဝယ်ယူမှုထက်ပိုပါတယ်။ ထုတ်လုပ်မှုလိုင်းရဲ့ ရေရှည်ယုံကြည်စိတ်ချရမှုအတွက် ရင်းနှီးမြှုပ်နှံမှုတစ်ခုပါ။ ရင်းမြစ်မှာ သံလိုက်ဝင်ရောက်စွက်ဖက်မှုနဲ့ အမှုန်အမွှားညစ်ညမ်းမှုကို ဖယ်ရှားပေးခြင်းအားဖြင့် ZHHIMG ဟာ မနက်ဖြန်ရဲ့ ချစ်ပ်တွေ လိုအပ်တဲ့ တိတ်ဆိတ်ငြိမ်သက်၊ သန့်ရှင်းပြီး တည်ငြိမ်တဲ့ပတ်ဝန်းကျင်ကို ပေးစွမ်းပါတယ်။
၎င်းတို့၏ စစ်ဆေးမှု throughput ကို အကောင်းဆုံးဖြစ်အောင် လုပ်ဆောင်ရန်နှင့် ၎င်းတို့၏ မက်ထရိုလိုဂျီပိုင်ဆိုင်မှုများ၏ စုစုပေါင်းပိုင်ဆိုင်မှုကုန်ကျစရိတ်ကို လျှော့ချရန် ကြိုးပမ်းနေသော အဖွဲ့အစည်းများအနေနှင့်၊ အခြေခံပစ္စည်းရွေးချယ်မှုသည် ဒီဇိုင်းအဆင့်တွင် အခြေခံအကျဆုံး ဆုံးဖြတ်ချက်ဖြစ်သည်။ ZHHIMG သည် သန့်စင်မှုနှင့် တိကျမှုအတွက် အတင်းကျပ်ဆုံး နိုင်ငံတကာစံနှုန်းများနှင့် ကိုက်ညီသော ကျောက်အစိတ်အပိုင်းများကို ပေးပို့ခြင်းဖြင့် ကမ္ဘာလုံးဆိုင်ရာ ခေါင်းဆောင်များကို ဆက်လက်ပံ့ပိုးပေးပါသည်။
အဏုကြည့်မှန်ပြောင်းဖြင့်သာ မြင်နိုင်သော ကမ္ဘာကြီးတွင် ZHHIMG ဂရနိုက်၏ ကြီးမားသော တည်ငြိမ်မှုသည် ဒစ်ဂျစ်တယ်ခေတ်၏ တိတ်ဆိတ်သော ကာကွယ်စောင့်ရှောက်သူအဖြစ် ဆက်လက်တည်ရှိနေပါသည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ အထူးပြုပစ္စည်းသိပ္ပံသည် ၎င်းတို့၏ စစ်ဆေးရေးစနစ်များ ရရှိနိုင်သည့် နယ်နိမိတ်များကို မည်သို့ပြန်လည်သတ်မှတ်နိုင်သည်ကို စူးစမ်းလေ့လာရန် လုပ်ငန်းစဉ်အင်ဂျင်နီယာများနှင့် စက်ပစ္စည်းဒီဇိုင်နာများကို ကျွန်ုပ်တို့ ဖိတ်ခေါ်ပါသည်။
ပို့စ်တင်ချိန်: ၂၀၂၆ ခုနှစ်၊ မတ်လ ၅ ရက်