Optical စနစ်များတွင် တိကျသောဖန်အစိတ်အပိုင်းများ- အသုံးချမှုများနှင့် ထုတ်လုပ်မှုဆိုင်ရာစိန်ခေါ်မှုများ

အလင်းတန်းမှန်သည် ခေတ်သစ်ဖိုတွန်နစ်၏ အဓိကကျောရိုးဖြစ်သည်။ ဆက်သွယ်ရေးမှသည် ကာကွယ်ရေးအထိ ဤအစိတ်အပိုင်းများအတွက် လိုအပ်ချက်များသည် ပိုမိုတင်းကျပ်လာပါသည်။

ပါဝါမြင့်လေဆာစနစ်များတွင်၊ အလင်းတန်းအစိတ်အပိုင်းများသည် ကြီးမားသောစွမ်းအင်သိပ်သည်းဆများကို ခံနိုင်ရည်ရှိရမည်။ ဖန်အတွင်းရှိ မည်သည့်အဏုကြည့်မှန်ပြောင်းဖြင့်သာမြင်နိုင်သော ချို့ယွင်းချက် သို့မဟုတ် မသန့်စင်မှုများသည် လေဆာကြောင့်ဖြစ်ပေါ်လာသော ပျက်စီးမှုကို ဖြစ်ပေါ်စေနိုင်ပြီး စနစ်တစ်ခုလုံးကို ထိခိုက်နိုင်သည်။ ဤနေရာတွင် ထုတ်လုပ်မှုအာရုံစိုက်မှုမှာ မြေအောက်ပျက်စီးမှုကို ဖယ်ရှားခြင်းနှင့် ရောင်ခြည်ပုံပျက်ခြင်းကို ကာကွယ်ရန် မြင့်မားသော တစ်သားတည်းဖြစ်မှုကို သေချာစေရန်ဖြစ်သည်။

အာကာသတယ်လီစကုပ်များနှင့် အဝေးထိန်းကိရိယာများသည် အပေါက်အရွယ်အစား (ယခုအခါ ၄ မီတာကျော်) တိုးလာသည်နှင့်အမျှ အလေးချိန်ပေါ့ပါးမှုနှင့် မျက်နှာပြင်တိကျမှုအတွက် လိုအပ်ချက်သည် ပိုမိုပြင်းထန်လာသည်။ အာကာသအတွက် အလင်းတန်းအစိတ်အပိုင်းများသည် အပူချိန်အလွန်အမင်းမြင့်မားသောပတ်ဝန်းကျင်များတွင် ၎င်းတို့၏ပုံသဏ္ဍာန်ကို ထိန်းသိမ်းရမည်ဖြစ်ပြီး အပူချဲ့ထွင်မှုကိန်းဂဏန်း အလွန်နည်းသော ပစ္စည်းများ လိုအပ်ပါသည်။

တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းလုပ်ငန်းတွင် EUV လစ်သိုဂရပ်ဖီစနစ်များသည် မျက်နှာပြင်ကြမ်းတမ်းမှုကို 0.1 nm (RMS) အောက် ထိန်းချုပ်ထားသော ရောင်ပြန်မှန်များကို အားကိုးအားထားပြုကြသည်။ အက်တမ်အဆင့် အဖုအထစ်များပင် အလင်းကို ပြန့်ကျဲစေပြီး ချစ်ပ်၏ ရုပ်ထွက်အရည်အသွေးကို ပျက်စီးစေနိုင်သည်။ ၎င်းသည် အလင်းမှန်ထုတ်လုပ်မှု၏ အထွတ်အထိပ်ကို ကိုယ်စားပြုသည်။

ထုတ်လုပ်မှုဆိုင်ရာစိန်ခေါ်မှု- ဖိစီးမှု၊ ပြားချပ်မှုနှင့် ချောမွေ့မှု

၁။ အတွင်းပိုင်းဖိစီးမှုကို ထိန်းချုပ်ခြင်း

• စိန်ခေါ်မှု- မာကျောပြီး ကြွပ်ဆတ်သောဖန်ကို စက်ဖြင့်ပြုပြင်ခြင်းသည် မကြာခဏဆိုသလို အဏုကြည့်မှန်များကို ဖြစ်ပေါ်စေပါသည်။
• ကျွန်ုပ်တို့၏ချဉ်းကပ်မှု- ကျွန်ုပ်တို့သည် အဆင့်မြင့်အပူပေးလုပ်ငန်းစဉ်များနှင့် ပျက်စီးမှုနည်းသောပုံသွင်းနည်းစနစ်များကို အသုံးပြုပါသည်။ အအေးခံနှုန်းကို တင်းကြပ်စွာထိန်းချုပ်ခြင်းနှင့် ဖိစီးမှုသက်သာစေသော စက်ယန္တရားများကို အသုံးပြုခြင်းဖြင့် ဖန်၏အတွင်းပိုင်းဖွဲ့စည်းပုံသည် ကြားနေနှင့် တည်ငြိမ်နေစေရန် သေချာစေပါသည်။

၂။ အလွန်မြင့်မားသော ပြားချပ်မှု (ကြိမ်နှုန်းနိမ့် တိကျမှု) ကို ရရှိစေခြင်း

• စိန်ခေါ်မှု- ရိုးရာကြိတ်ခွဲခြင်းသည် လှိုင်းတွန့်များကို ချန်ထားနိုင်သည် သို့မဟုတ် လှိုင်းမျက်နှာစာတိကျမှုကို လျော့ကျစေသည့် အမှားများကို ဖြစ်ပေါ်စေနိုင်သည်။
• ကျွန်ုပ်တို့၏ချဉ်းကပ်မှု- ကျွန်ုပ်တို့သည် မြင့်မားသောတိကျမှုရှိသော ကွန်ပျူတာထိန်းချုပ်ထားသော အလင်းမျက်နှာပြင် (CCOS) ကို အသုံးပြုပါသည်။ ၎င်းက 1 nm အောက်ရှိ peak-to-valley (PV) တန်ဖိုးများကို ရရှိရန် နိမ့်သောကြိမ်နှုန်းအမှားများ (ပုံသဏ္ဍာန်ကွဲလွဲမှုများ) ကို ပြုပြင်နိုင်စေပြီး အလင်းလမ်းကြောင်းသည် ပြီးပြည့်စုံစွာ ချိန်ညှိနေစေရန် သေချာစေသည်။

၃။ မျက်နှာပြင်ကြမ်းတမ်းမှု (မြင့်မားသောကြိမ်နှုန်းချောမွေ့မှု)

• စိန်ခေါ်မှု- ကြိတ်ခွဲခြင်းကြောင့် ကျန်ရစ်ခဲ့သော “မှုန်ဝါးမှု” နှင့် အဏုကြည့်မှန်ပြောင်းဖြင့် ခြစ်ရာများကို ဖယ်ရှားရန်အတွက် ပစ္စည်းဖယ်ရှားခြင်းမှ မျက်နှာပြင်ချောမွေ့စေခြင်းသို့ ပြောင်းလဲရန် လိုအပ်သည်။
• ကျွန်ုပ်တို့၏ချဉ်းကပ်မှု- ကျွန်ုပ်တို့သည် သံလိုက်အကူအညီဖြင့် အပြီးသတ်ခြင်းအပါအဝင် အဆင့်မြင့် ඔප දැමීමနည်းပညာများကို အသုံးပြုပါသည်။ ဤနည်းပညာသည် နာနိုမီတာအောက် မျက်နှာပြင်ကြမ်းတမ်းမှု (Ra < 0.6 nm) ကို ရရှိစေစဉ်တွင် ရှုပ်ထွေးသောပုံသဏ္ဍာန်များ (freeform မှန်ဘီလူးများကဲ့သို့) ကို အသုတ်လိုက် လုပ်ဆောင်နိုင်စေပါသည်။ မျက်နှာပြင်အောက် ပျက်စီးမှုအသစ်များ မဖြစ်ပေါ်စေပါ။

ZHHIMG: အလွန်တိကျမှုရှိသော သင့်လုပ်ဖော်ကိုင်ဖက်

• ရှုပ်ထွေးသော ဂျီသြမေတြီများ- freeform၊ aspheric နှင့် planar optical အစိတ်အပိုင်းများကို စက်ပစ္စည်းဖြင့် ပြုပြင်ခြင်း။
• မက်ထရိုလိုဂျီနှင့် စစ်ဆေးခြင်း- မျက်နှာပြင်အရည်အသွေးနှင့် ပုံစံတိကျမှုကို အချိန်နှင့်တပြေးညီ အတည်ပြုရန်အတွက် interferometers နှင့် profilometers များကို အသုံးပြုခြင်း။
• ပစ္စည်းကျွမ်းကျင်မှု- ဖျူးစ်ဆီလီကာ၊ ကွာ့ဇ်နှင့် မြင့်မားသောထုတ်လွှင့်မှုနှင့် ကျယ်ပြန့်မှုနည်းသော အထူးမျက်မှန်များဖြင့် နက်ရှိုင်းသောအတွေ့အကြုံ။