တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းကိရိယာများအတွက် တိကျသော ဂရန်းနစ်အစိတ်အပိုင်းများကို မည်သို့ရွေးချယ်ရမည်နည်း

တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းလုပ်ငန်းသည် 3nm လုပ်ငန်းစဉ်များနှင့် ယင်းထက်ကျော်လွန်သော လုပ်ငန်းစဉ်များဆီသို့ တွန်းအားပေးလာသည်နှင့်အမျှ အမှားအယွင်းအတွက် အနားသတ်သည် သိသိသာသာ ပျောက်ကွယ်သွားခဲ့သည်။ စက်ပစ္စည်းထုတ်လုပ်သူများအတွက် စက်အခြေခံ၏ဖွဲ့စည်းပုံဆိုင်ရာ တည်တံ့မှုသည် စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ထည့်သွင်းစဉ်းစားမှုတစ်ခုမျှသာ မဟုတ်တော့ဘဲ အထွက်နှုန်း၏ အရေးကြီးသော အဆုံးအဖြတ်ပေးသည့်အချက်တစ်ခုဖြစ်သည်။

ZHHIMG Group မှာ wafer inspection နဲ့ lithography systems တွေမှာ precision granite components တွေဟာ sub-micron stability ကို ထိန်းသိမ်းဖို့အတွက် industry standard ဖြစ်လာတယ်ဆိုတာ ကျွန်တော်တို့ အသိအမှတ်ပြုပါတယ်။ ဒါပေမယ့် သင့်ရဲ့ သီးခြား application အတွက် မှန်ကန်တဲ့ ပစ္စည်းကို ဘယ်လိုရွေးချယ်မလဲ။

ပစ္စည်းဆိုင်ရာ ယှဉ်ပြိုင်မှု- ဂရနိုက် vs. သံမဏိ vs. သတ္တုသွန်းလောင်းခြင်း

တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းကိရိယာအခြေခံကို ဒီဇိုင်းဆွဲသည့်အခါ အင်ဂျင်နီယာများသည် အဓိကပစ္စည်းသုံးမျိုးကို ချိန်တွယ်လေ့ရှိသည်။ ၎င်းတို့၏ ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာဂုဏ်သတ္တိများကို နားလည်ခြင်းသည် ရေရှည်တိကျမှုကို သေချာစေရန် အဓိကသော့ချက်ဖြစ်သည်။

၁။ ဂရနိုက်- တည်ငြိမ်မှုအတွက် ရွှေစံနှုန်း

သိပ်သည်းဆမြင့်မားသော အနက်ရောင်ဂရနိုက် (ZHHIMG မှ မကြာခဏအသုံးပြုလေ့ရှိသော G684 သို့မဟုတ် Jinan Black မျိုးကွဲများကဲ့သို့) သည် ထူးခြားသောဂုဏ်သတ္တိများပေါင်းစပ်မှုကို ပေးစွမ်းသည်။ ၎င်းသည် သဘာဝအတိုင်း သက်တမ်းရင့်သောကြောင့် အတွင်းပိုင်းဖိစီးမှု လုံးဝမရှိသည်။ သတ္တုများနှင့်မတူဘဲ၊ ၎င်းသည် သံချေးမတက်၊ အောက်ဆီဒေးရှင်းမဖြစ်ဘဲ တုန်ခါမှုကို သက်သာစေသော ထူးခြားသောစွမ်းရည်များရှိသည်။

၂။ သံမဏိ- မာကျောမှုမြင့်မားခြင်း၊ အန္တရာယ်မြင့်မားခြင်း

ဂဟေဆက်ထားသော သံမဏိဖွဲ့စည်းပုံများသည် မာကျောသော်လည်း အပူပုံပျက်လွယ်သည်။ သံမဏိသည် အပူချိန်ပြောင်းလဲမှုများနှင့်အတူ သိသိသာသာ ကျယ်ပြန့်လာပြီး ထိခိုက်လွယ်သော အလင်းလမ်းကြောင်းများကို မှားယွင်းစွာ ချိန်ညှိနိုင်သည်။ ထို့အပြင်၊ ဂဟေဆက်ထားသော ဘောင်များသည် အချိန်ကြာလာသည်နှင့်အမျှ ကျန်ရှိနေသော ဖိစီးမှုသက်သာစေမှုကို ခံရလွယ်ပြီး ကောက်ကွေးစေသည်။

၃။ သတ္တုသွန်းလောင်းခြင်း (ပိုလီမာကွန်ကရစ်): အခြားရွေးချယ်စရာ

သတ္တုသွန်းလောင်းခြင်းသည် စိုထိုင်းဆကို ကောင်းစွာပေးစွမ်းသော်လည်း သဘာဝကျောက်စရစ်၏ မာကျောမှုနှင့် မျက်နှာပြင်ကြာရှည်ခံမှုတို့ ချို့တဲ့လေ့ရှိသည်။ စက်ကိရိယာအချို့အတွက် အသုံးဝင်သော်လည်း အဆင့်မြင့် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း ဝေဖာကိုင်တွယ်မှု၏ အလွန်အမင်း ပြားချပ်မှုနှင့် ဟောင်းနွမ်းမှုခံနိုင်ရည်လိုအပ်ချက်များနှင့် ကိုက်ညီမည်မဟုတ်ပါ။

နည်းပညာဆိုင်ရာ နှိုင်းယှဉ်ချက်- Granite ဘာကြောင့် အနိုင်ရတာလဲ

အင်္ဂါရပ် တိကျသော ဂရနိုက် သံမဏိ / ဂဟေဆော်ထားသောဘောင် သတ္တုသွန်းလုပ်ခြင်း
အပူချဲ့ထွင်ခြင်း အလွန်နိမ့်သည် မြင့်မားသော (အပူချိန်ထိန်းချုပ်မှု လိုအပ်သည်) နိမ့်ကျသော
တုန်ခါမှုကို လျော့ချပေးခြင်း အလွန်ကောင်းမွန်သည် (သံမဏိ ၁၀ ခု) ညံ့ဖျင်းသော ကောင်းသည်
အတိုင်းအတာတည်ငြိမ်မှု ထာဝရ (သဘာဝအတိုင်း အိုမင်းရင့်ရော်ခြင်း) အချိန်ကြာလာတာနဲ့အမျှ လွင့်မျောသွားခြင်း (စိတ်ဖိစီးမှု သက်သာစေခြင်း) တည်ငြိမ်သော
ချေးခံနိုင်ရည်ရှိခြင်း ကိုယ်ခံအား အပေါ်ယံလွှာ/ဆေးသုတ်ခြင်း လိုအပ်သည် ကောင်းသည်
သံလိုက်ဂုဏ်သတ္တိများ သံလိုက်မဟုတ်သော သံလိုက် (e-beam ကို အနှောင့်အယှက်ပေးသည်) သံလိုက်မဟုတ်သော

အဓိကအချက်- sub-micron ထပ်ခါတလဲလဲလုပ်ဆောင်နိုင်သော semiconductor ပစ္စည်းများအတွက်၊ granite ၏ အပူချဲ့ထွင်မှုကိန်းဂဏန်းနည်းပါးခြင်းနှင့် သံလိုက်မဟုတ်သောသဘောသဘာဝသည် သံမဏိထက်သာလွန်ကောင်းမွန်ပြီး သတ္တုပုံသွင်းခြင်းထက် ပိုမိုခိုင်ခံ့သည်။

မျက်နှာပြင် ၄ ခု တိကျစွာ ချိန်ညှိနိုင်သော ဂရနိုက် စတုရန်း ပေတံ

တည်ငြိမ်မှုသိပ္ပံပညာ- ချဲ့ထွင်မှုနည်းခြင်းနှင့် တုန်ခါမှုမြင့်ခြင်း

တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း ထုတ်လုပ်ရာတွင် ဂရနိုက်၏ ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာ ဂုဏ်သတ္တိနှစ်ခုသည် အလွန်အရေးကြီးပါသည်။

၁။ အပူချဲ့ထွင်မှု ကိန်းနည်းခြင်း

တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းစက်ရုံများ (စက်ရုံများ) သည် အပူချိန်ထိန်းချုပ်မှုကို တင်းကျပ်စွာထိန်းသိမ်းထားသော်လည်း၊ အဏုကြည့်မှန်ပြောင်းဖြင့် တိုင်းတာခြင်း မတူညီမှုများ ရှိနေဆဲဖြစ်သည်။ ဂရန်နိုက်တွင် အပူချဲ့ထွင်မှုကိန်းဂဏန်း အလွန်နည်းသည် (ပုံမှန်အားဖြင့်
၄.၅ × ၁၀−၆/∘C

၄.၅×၁၀−၆/∘C)။ ဆိုလိုသည်မှာ ပတ်ဝန်းကျင်အပူချိန် အနည်းငယ်ပြောင်းလဲသွားသည့်တိုင် ဂရနိုက်အခြေခံသည် အတိုင်းအတာတည်ငြိမ်နေသောကြောင့် wafer အဆင့်၏ alignment သည် နာနိုမီတာအထိ တိကျမှန်ကန်နေစေရန် သေချာစေသည်။

၂။ မြင့်မားသော တုန်ခါမှုစွမ်းရည်

တုန်ခါမှုသည် တိကျမှု၏ ရန်သူဖြစ်သည်။ ကြမ်းပြင်တုန်ခါမှုဖြစ်စေ၊ စက်၏ကိုယ်ပိုင်မော်တာများမှထုတ်ပေးသောတုန်ခါမှုဖြစ်စေ၊ ဤတုန်ခါမှုများသည် လုပ်ငန်းစဉ်၏ "ပုံရိပ်" ကို မှုန်ဝါးစေသည်။ ဂရန်နိုက်၏ ပုံဆောင်ခဲဖွဲ့စည်းပုံသည် သံမဏိ သို့မဟုတ် သံထက် တုန်ခါမှုကို ပိုမိုထိရောက်စွာ စုပ်ယူသည်။ ဤမြင့်မားသော တုန်ခါမှုစွမ်းရည်သည် wafer စစ်ဆေးရေးစနစ်များအတွက် အရေးကြီးပါသည်။

စက်မှုလုပ်ငန်း ဖြစ်ရပ်လေ့လာမှု- ဝေဖာစစ်ဆေးရေးပစ္စည်းကိရိယာ

wafer စစ်ဆေးရေးကိရိယာများ၏ ဦးဆောင်ထုတ်လုပ်သူကို ထည့်သွင်းစဉ်းစားပါ။ ၎င်းတို့၏စိန်ခေါ်မှုမှာ ရှည်လျားသော scan cycle များအတွင်း ၎င်းတို့၏ sensor များ၏ optical alignment ကို ထိခိုက်စေသည့် thermal drift ဖြစ်သည်။
ZHHIMG ဖြေရှင်းချက်-
ကျွန်ုပ်တို့သည် ၎င်းတို့၏ရှိပြီးသား သတ္တုအခြေခံဖွဲ့စည်းပုံကို စိတ်ကြိုက်အင်ဂျင်နီယာပြုလုပ်ထားသော တိကျသောဂရနိုက်အစိတ်အပိုင်းဖြင့် အစားထိုးခဲ့ပါသည်။
  • ပေါင်းစပ်ခြင်း- ကျွန်ုပ်တို့သည် တိကျသော တပ်ဆင်မှုမျက်နှာပြင်များနှင့် ကေဘယ်လ်ချန်နယ်များကို ဂရက်နိုက်ဖွဲ့စည်းပုံထဲသို့ တိုက်ရိုက်စက်ဖြင့် ပြုလုပ်ထားသောကြောင့် တပ်ဆင်မှုရှုပ်ထွေးမှုကို လျှော့ချပေးပါသည်။
  • ရလဒ်- ဖောက်သည်သည် အပူပုံပျက်ခြင်းကို သိသိသာသာ လျော့ကျစေကြောင်း သတင်းပို့ခဲ့သည်။ ဂရနိုက်အခြေခံသည် မှန်ဘီလူးများအတွက် “ကြားနေ” အပူချိန်ပတ်ဝန်းကျင်ကို ပံ့ပိုးပေးခဲ့ပြီး၊ ရလဒ်အနေဖြင့် အလင်းအမှောင်ပမာဏ မြင့်မားလာခြင်းနှင့် မှားယွင်းသော ချို့ယွင်းချက် ထောက်လှမ်းမှု နည်းပါးလာခြင်းတို့ကို ဖြစ်ပေါ်စေခဲ့သည်။

တိကျမှုအတွက် ZHHIMG နှင့် ပူးပေါင်းဆောင်ရွက်ခြင်း

မှန်ကန်သော ပေးသွင်းသူ ရွေးချယ်ခြင်းသည် မှန်ကန်သော ပစ္စည်းကို ရွေးချယ်ခြင်းကဲ့သို့ပင် အရေးကြီးပါသည်။ ZHHIMG Group တွင် ကျွန်ုပ်တို့သည် ကျောက်တုံးများကို ဖြတ်တောက်ရုံသာမက တိကျသော တည်ဆောက်ပုံများကိုပါ အင်ဂျင်နီယာပြုလုပ်ပါသည်။
  • အဆင့်မြင့်ထုတ်လုပ်မှု- ကျွန်ုပ်တို့သည် ရှုပ်ထွေးသော ဂျီသြမေတြီများတွင် တင်းကျပ်သော သည်းခံနိုင်စွမ်းများ ရရှိရန် ကြီးမားသော CNC စက်ပြင်စင်တာများကို အသုံးပြုပါသည်။
  • အရည်အသွေးထိန်းချုပ်မှု- ပြားချပ်မှုနှင့် parallelism တို့သည် သင်၏သတ်မှတ်ထားသော semiconductor စံနှုန်းများနှင့်ကိုက်ညီကြောင်းသေချာစေရန်အတွက် အစိတ်အပိုင်းတိုင်းကို laser interferometers နှင့် electronic level gauges များကို အသုံးပြု၍ တင်းကျပ်သောစစ်ဆေးမှုကိုပြုလုပ်ပါသည်။
  • စိတ်ကြိုက်ပြင်ဆင်ခြင်း- လေဟာနယ်ကြိုတင်ထည့်သွင်းထားသော လေဝင်လေထွက်ကောင်းသော မျက်နှာပြင်များမှသည် ချည်မျှင်ထည့်သွင်းမှုများအထိ၊ ကျွန်ုပ်တို့သည် သင်၏စက်ပိုင်းဆိုင်ရာလိုအပ်ချက်များကို ဂရနိုက်ထဲသို့ တိုက်ရိုက်ပေါင်းစပ်ပေးပါသည်။
နိဂုံးချုပ်
၂၀၂၆ ခုနှစ်သို့ ကျွန်ုပ်တို့ ပိုမိုရွေ့လျားလာသည်နှင့်အမျှ sub-micron တိကျမှုအတွက် ၀ယ်လိုအားသည် ပိုမိုပြင်းထန်လာမည်ဖြစ်သည်။ တိကျသော ဂရန်းနစ် အစိတ်အပိုင်းများကို ရွေးချယ်ခြင်းဖြင့်

ပို့စ်တင်ချိန်: ၂၀၂၆ ခုနှစ်၊ ဧပြီလ ၉ ရက်