အလွန်တိကျသော ရွေ့လျားမှုထိန်းချုပ်မှုကမ္ဘာတွင်၊ မဖြစ်နိုင်သလောက်ဟုထင်ရသည့်အရာကို လုပ်ဆောင်သည့် အစိတ်အပိုင်းတစ်ခုရှိသည်- မိုက်ခရွန်အနည်းငယ်ထူသော လေအလွှာပေါ်တွင် ပွတ်တိုက်မှုလုံးဝမရှိဘဲ ရွေ့လျားနေသော တိကျသောစင်မြင့်တစ်ခု။ ၎င်းသည် သိပ္ပံစိတ်ကူးယဉ်ဇာတ်လမ်းမဟုတ်ပါ။ ၎င်းသည် ဂရန်နိုက်လေဝင်ပေါက်ဖြစ်ပြီး ၎င်းသည် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းပုံနှိပ်ခြင်း၊ ဝေဖာစစ်ဆေးခြင်း၊ EV ဘက်ထရီစစ်ဆေးခြင်းနှင့် နာနိုမီတာအဆင့်နေရာချထားခြင်းလိုအပ်သည့် အခြားအသုံးချမှုတိုင်းနီးပါး၏ နောက်ကွယ်ရှိ အထောက်အကူပြုနည်းပညာဖြစ်သည်။
လေဝင်ပေါက် (Air Bearing) ဆိုတာ ဘာလဲ။
လေဝင်လေထွက်ကောင်းတစ်ခုသည် ဖိအားပေးထားသောလေကို porous သို့မဟုတ် orifice-fed မျက်နှာပြင်မှတစ်ဆင့် အတင်းအကျပ်တွန်းပို့ခြင်းဖြင့် အလုပ်လုပ်ပြီး မျက်နှာပြင်နှစ်ခုကြားတွင် ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာထိတွေ့မှုရှိမည့် ပါးလွှာပြီး စဉ်ဆက်မပြတ်လေကူရှင်တစ်ခုကို ဖန်တီးပေးပါသည်။ ဝန် — stage၊ spindle၊ moving table — သည် ဒီဇိုင်းနှင့် ဝန်လိုအပ်ချက်များပေါ် မူတည်၍ မိုက်ခရွန် ၅ မှ ၂၀ အကြားအထူရှိသော ဤလေအလွှာပေါ်တွင် အမှန်တကယ်ပေါလောမျောနေပါသည်။
ရွေ့လျားနေသော မျက်နှာပြင်နှင့် ရပ်တန့်နေသော မျက်နှာပြင်များကြားတွင် ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာ ထိတွေ့မှုမရှိသောကြောင့် စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ပွတ်တိုက်မှု၊ ကပ်ငြိမှု အပြုအမူနှင့် အခြေခံအားဖြင့် ပွန်းပဲ့မှု မရှိပါ။ ၎င်းသည် အခြေခံအားဖြင့် ကွဲပြားသော အခြေအနေတစ်ခုဖြစ်သည်။ရိုးရာစက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ဝက်ဝံ၊ မည်မျှပင် စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ကောင်းမွန်စွာ ပြုပြင်ထားပါစေ၊ ပွတ်တိုက်မှုအတိုင်းအတာတစ်ခုအထိ၊ အဏုကြည့်မှန်ပြောင်းဖြင့်သာ မြင်နိုင်သော မျက်နှာပြင် မမှန်မှုနှင့် ၎င်း၏ လည်ပတ်မှုသက်တမ်းတစ်လျှောက် တဖြည်းဖြည်း ယိုယွင်းပျက်စီးမှု အမြဲရှိသည်။
ဂရနိုက်သည် အဘယ်ကြောင့် Air Bearings အတွက် တစ်ခုတည်းသော ရွေးချယ်မှုဖြစ်သနည်း
လေဝင်လေထွက်များကို ပြားချပ်ချပ်၊ မာကျောသောပစ္စည်းအမျိုးမျိုးပေါ်တွင် တည်ဆောက်နိုင်သော်လည်း၊ ဂရနိုက်သည် မြင့်မားသောတိကျမှုအသုံးချမှုများတွင် တည်ငြိမ်သောဝင်လေဝင်မျက်နှာပြင်အတွက် စံရွေးချယ်မှုဖြစ်လာခဲ့သည်။
အချိန်ကြာလာသည်နှင့်အမျှ ပြားချပ်မှုတည်ငြိမ်မှု။ ဂရန်နိုက်တွင် စက်ဖြင့်ပြုလုပ်ထားသောသတ္တုနှင့် နှိုင်းယှဉ်ပါက အတွင်းပိုင်းဖိစီးမှု အလွန်နည်းပါးသောကြောင့်—သတ္တုသည် ပုံသွင်းခြင်းနှင့် စက်ဖြင့်ပြုလုပ်ခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်မှ ကျန်ရှိသောဖိစီးမှုကို ထိန်းသိမ်းထားသောကြောင့် လပေါင်းများစွာ သို့မဟုတ် နှစ်ပေါင်းများစွာ တဖြည်းဖြည်းသေးငယ်သော အတိုင်းအတာပြောင်းလဲမှုများကို ဖြစ်စေနိုင်သည်—ဂရန်နိုက် ဘက်ရီဆင်းမျက်နှာပြင်သည် ၎င်း၏ပြားချပ်မှုသတ်မှတ်ချက်ကို သတ္တုနှင့်ညီမျှသောသတ္တုထက် များစွာပိုကြာအောင် ထိန်းထားလေ့ရှိသည်။ စွမ်းဆောင်ရည်အဖုံးတစ်ခုလုံးသည် တသမတ်တည်း၊ ထိန်းချုပ်ထားသောကွာဟချက်ကို ထိန်းသိမ်းခြင်းအပေါ် မူတည်သည့် လေဘက်ရီဆင်းအတွက် ဤတည်ငြိမ်မှုသည် အရေးကြီးပါသည်။
အပူချိန်တည်ငြိမ်မှု။ လေဝင်လေထွက်ကွာဟချက်သည် အဏုကြည့်မှန်ပြောင်းဖြင့်သာမြင်ရပြီး ပုံမှန်အားဖြင့် ၅-၂၀ မိုက်ခရွန်ခန့်သာရှိသည်။ လမ်းညွှန်ရထားလမ်း၏ အပူချဲ့ထွင်မှုသည် ဤကွာဟချက်ကို ပြောင်းလဲစေပြီး ဝင်လေဝင်လေထွက်၏ စွမ်းဆောင်ရည်ကို ပြောင်းလဲစေပြီး နေရာချထားမှုအမှားများကို ဖြစ်ပေါ်စေပါသည်။ Granite ၏ CTE သည် သံမဏိ၏ ထက်ဝက်ခန့်နှင့် အလူမီနီယမ်၏ သုံးပုံတစ်ပုံခန့်ရှိသည်။ ၎င်းသည် နာနိုမီတာအဆင့် နေရာချထားမှုတိကျမှုသည် ၂၄ နာရီလည်ပတ်မှုစက်ဝန်းအတွင်း မှန်ကန်ကြောင်း သေချာစေသည်။
တုန်ခါမှုနှင့် တုန်ခါမှု သီးခြားခွဲထုတ်ခြင်း။ ဂရနိုက်သည် သံမဏိထက် ၁၀ ဆ ပိုမိုသော သဘာဝတုန်ခါမှုစွမ်းရည်ရှိသည်။ လေအလွှာ၏ စေးကပ်သော တုန်ခါမှုနှင့် ပေါင်းစပ်လိုက်သောအခါ၊ စနစ်သည် ကြမ်းပြင်တုန်ခါမှုနှင့် မော်တာဆူညံသံမှ အာရုံခံနိုင်သော ဝန်တင်ပစ္စည်းများကို ခွဲထုတ်သည့် “နှစ်ဆ တုန်ခါမှု” အကျိုးသက်ရောက်မှုကို ဖန်တီးပေးသည်။ ၎င်းသည် တုန်ခါမှုသည် ရုပ်ပုံ resolution ကို ထိခိုက်စေသည့် အီလက်ထရွန်ရောင်ခြည်ကော်လံများနှင့် interferometers များကဲ့သို့သော အသုံးချမှုများအတွက် အရေးကြီးပါသည်။
သံလိုက်မပါ၊ လျှပ်စစ်အားဖြင့် အာရုံခံနိုင်စွမ်းမရှိပါ။ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းနှင့် အီလက်ထရွန်းနစ်ပစ္စည်းများ ထုတ်လုပ်သည့်ပတ်ဝန်းကျင်တွင်၊ အာရုံခံနိုင်သော လုပ်ငန်းစဉ်များအနီးတွင် သံလိုက်စက်ကွင်းများနှင့် လျှပ်စစ်စီးကူးမှုကို ရှောင်ရှားခြင်းသည် မကြာခဏ ခက်ခဲသော လိုအပ်ချက်တစ်ခုဖြစ်သည်။ ဂရန်နိုက်သည် အပိုကုသမှုမရှိဘဲ ၎င်းကို ဖြည့်ဆည်းပေးသည်။
“နှစ်ဆ တုန်ခါမှု” အကျိုးသက်ရောက်မှု
ဂရန်နိုက်-လေ ပေါင်းစပ်မှုကို ထူးခြားစွာ ထိရောက်မှုရှိစေသည့်အချက်မှာ အောက်ပါအတိုင်းဖြစ်သည်။ ဂရန်နိုက်ကိုယ်တိုင်က ထူးကဲသော တုန်ခါမှုကို ပေးစွမ်းပြီး သံထည်နှင့် နှိုင်းယှဉ်ပါက စက်၏ တုန်ခါမှုကို ၁၀ ဆအထိ လျှော့ချပေးသည်။ လေအလွှာသည် စေးကပ်သော တုန်ခါမှုကို ထပ်မံပေးစွမ်းပြီး မြင့်မားသောကြိမ်နှုန်း တုန်ခါမှုများကို ချောမွေ့စေသည်။ ၎င်းတို့ပေါင်းစပ်လိုက်သောအခါ အင်ဂျင်နီယာများက “နှစ်ထပ်တုန်ခါမှု” အကျိုးသက်ရောက်မှုဟုခေါ်သောအရာကို ဖန်တီးပေးသည်။
ဆိုလိုသည်မှာ ဂရန်နိုက်လေဝင်လေထွက်ကောင်းသော အဆင့်သည် တိကျမှန်ကန်ရုံသာမက တိတ်ဆိတ်ငြိမ်သက်သည်။ အဆင့်သည် စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ bearings များကို ဒုက္ခပေးသော အဏုကြည့်မှန်ပြောင်းဖြင့်သာ မြင်နိုင်သော တုန်ခါမှုမရှိဘဲ ချောမွေ့စွာ ရွေ့လျားသည်။ တိုင်းတာမှုများကို နှောင့်နှေးစေသော မြည်သံမပါဘဲ လျင်မြန်စွာ တည်ငြိမ်သည်။ ထို့အပြင် စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ bearings စွမ်းဆောင်ရည်ကို လျော့ကျစေသော တဖြည်းဖြည်း ဟောင်းနွမ်းမှုမရှိဘဲ နှစ်ပေါင်းများစွာ လည်ပတ်မှုကြာလာသည်နှင့်အမျှ ၎င်း၏တိကျမှုကို ထိန်းသိမ်းထားနိုင်သည်။
Granite Air Bearings ကို အမှန်တကယ်အသုံးပြုသည့်နေရာများ
အပလီကေးရှင်းစာရင်းသည် ခေတ်မီထုတ်လုပ်မှုနှင့် စစ်ဆေးခြင်း၏ အမြင့်ဆုံးတိကျမှုထောင့်များကို လှည့်လည်ကြည့်ရှုခြင်းကဲ့သို့ ဖတ်ရှုရသည်-
တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း လစ်သိုဂရပ်ဖီနှင့် ဝေဖာစစ်ဆေးခြင်း။ ဝေဖာတစ်လျှောက် အင်္ဂါရပ်များကို မှန်ကန်စွာ ချိန်ညှိရန်အတွက် နာနိုမီတာအောက် နေရာချထားမှု ထပ်ခါတလဲလဲလုပ်ဆောင်နိုင်မှု လိုအပ်သည်။ ဂရန်နိုက်လေဝင်ပေါက်များသည် နောက်မျိုးဆက် ချစ်ပ်ထုတ်လုပ်မှုအတွက် လိုအပ်သော တိကျမှုကို ဖြစ်စေသည့် ပွတ်တိုက်မှုမရှိသော၊ ထိတွေ့မှုမရှိသော ရွေ့လျားမှုကို ပေးစွမ်းသည်။
ကိုဩဒိနိတ်တိုင်းတာစက်များ (CMM)။ တိကျသော ဂရန်နိုက်လမ်းညွှန်များနှင့် လေဝင်ပေါက်များ ပေါင်းစပ်ခြင်းသည် CMM များအတွက် ရွှေစံနှုန်းဖြစ်ပြီး၊ စင်တုန်ခါမှုသည် တိုင်းတာမှုဆုံးဖြတ်ချက်ကို ပျက်ပြားစေသည်။ လေဝင်ပေါက်၏ ပွတ်တိုက်မှုနှင့် တုတ်ချော်မှု မရှိခြင်းသည် နာနိုမီတာ တိုးပေးမှုဖြင့် နေရာချထားနိုင်စေပါသည်။
အလင်းနှင့်လေဆာအခြေခံတိုင်းတာမှုစနစ်များ။ အပြန်အလှန်တိုင်းတာမှု သို့မဟုတ် အလင်းပုံရိပ်ဖော်ခြင်းအပေါ် အားကိုးသော မည်သည့်တိုင်းတာမှုစနစ်မဆို တုန်ခါမှု သို့မဟုတ် နေရာချထားမှုအမှားအယွင်းများ မဖြစ်ပေါ်စေသော ရွေ့လျားမှုအဆင့်တစ်ခု လိုအပ်သည်။ ဂရန်နိုက်လေဝင်ပေါက်များသည် ဤတောင်းဆိုမှုများသော အသုံးချမှုများအတွက် လိုအပ်သောတည်ငြိမ်မှုကို ပေးစွမ်းသည်။
EV ဘက်ထရီစစ်ဆေးခြင်း။ လျှပ်စစ်ကားဘက်ထရီထုတ်လုပ်မှု မြင့်တက်လာသည်နှင့်အမျှ မြန်နှုန်းမြင့်၊ တိကျမှုမြင့်မားသော စစ်ဆေးရေးစနစ်များအတွက် ၀ယ်လိုအားမှာ သိသိသာသာ မြင့်တက်လာခဲ့သည်။ Granite air bearing stages များသည် ဘက်ထရီဆဲလ်အတိုင်းအတာများ၊ electrode alignment နှင့် အခြားအရေးကြီးသော parameters များကို စစ်ဆေးရန်အတွက် လိုအပ်သော အမြန်နှုန်းနှင့် တိကျမှုကို ပေးစွမ်းသည်။
PCB တူးဖော်ခြင်းနှင့် လမ်းကြောင်းရှာဖွေခြင်း။ မြန်နှုန်းမြင့် PCB တူးဖော်ခြင်းသည် အနည်းဆုံး အခြေချချိန်ဖြင့် မြန်ဆန်ပြီး တိကျသော နေရာချထားမှု လိုအပ်သည်။ လေဝင်ပေါက်များသည် မြင့်မားသော ထုတ်လုပ်မှုအတွက် လိုအပ်သော မြန်ဆန်သော ခြေလှမ်းနှင့် အခြေချလှုပ်ရှားမှုကို ဖြစ်စေသည်။
ZHHIMG® ကို ဘာတွေက ထူးခြားစေသလဲ
ဂရက်နိုက်လေဝင်လေထွက်ကောင်းသော အစိတ်အပိုင်းအားလုံးကို တူညီစွာ ဖန်တီးထားခြင်းမဟုတ်ပါ။ ဂရက်နိုက်၏ အရည်အသွေး၊ ပွတ်တိုက်ခြင်း၏ တိကျမှုနှင့် လက်မှုပညာရှင်များ၏ အတွေ့အကြုံအားလုံးသည် လေဝင်လေထွက်ကောင်းသော အစိတ်အပိုင်းတစ်ခုသည် သတ်မှတ်ချက်နှင့်အညီ လုပ်ဆောင်နိုင်ခြင်း ရှိ၊ မရှိကို ဆုံးဖြတ်ပေးသည်။
ZHHIMG® မှာ၊ ကျွန်ုပ်တို့ရဲ့ ZHHIMG® အနက်ရောင်ကျောက်ဟာ သိပ်သည်းဆ ≈3100 kg/m³ ရရှိပြီး ဥရောပနဲ့ အမေရိကန် အနက်ရောင်ကျောက်တွေထက် ပိုများပါတယ်။ ဒါကြောင့် သာလွန်ကောင်းမွန်တဲ့ တည်ငြိမ်မှုနဲ့ ယိုယွင်းပျက်စီးမှုကို သေချာစေပါတယ်။ လက်ဖြင့်ပွတ်တိုက်ခြင်း အတွေ့အကြုံ ၃၀ နှစ်ကျော်ရှိတဲ့ ကျွန်ုပ်တို့ရဲ့ master grinder တွေဟာ လေဝင်လေထွက်အသုံးချမှုများအတွက် လိုအပ်တဲ့ နာနိုမီတာအဆင့် ပြားချပ်မှုကို ရရှိစေပါတယ်။ 1000mm အထူရှိတဲ့ အလွန်မာကျောတဲ့ ကွန်ကရစ်အုတ်မြစ်ပေါ်မှာ 2000mm အနက်ရှိတဲ့ တုန်ခါမှုတားဆီးမြောင်းတွေနဲ့အတူ တည်ဆောက်ထားတဲ့ ကျွန်ုပ်တို့ရဲ့ 10,000 စတုရန်းမီတာ အပူချိန်တည်ငြိမ်တဲ့ အလုပ်ရုံဟာ ဒီတိကျမှုရဲ့ အစိတ်အပိုင်းတွေ ထုတ်လုပ်ဖို့ လိုအပ်တဲ့ တည်ငြိမ်တဲ့ပတ်ဝန်းကျင်ကို ပေးစွမ်းပါတယ်။
ထို့အပြင် ကျွန်ုပ်တို့၏ အရည်အသွေးဆိုင်ရာ ကတိကဝတ်—“တိကျမှုလုပ်ငန်းသည် အလွန်အမင်းတောင်းဆိုမှုများ မဖြစ်ရ” ဟူသော ကျွန်ုပ်တို့၏ အရည်အသွေးမူဝါဒတွင် အကျဉ်းချုပ်ဖော်ပြထားသည်—သည် ကျွန်ုပ်တို့၏စက်ရုံမှ ထွက်ခွာလာသော ဂရက်နိုက်လေသယ်ဆောင်သည့် အစိတ်အပိုင်းတိုင်းသည် အတောင်းဆိုမှုအရှိဆုံး ကမ္ဘာလုံးဆိုင်ရာစံနှုန်းများနှင့် ကိုက်ညီကြောင်း သေချာစေသည်။
နောက်မျိုးဆက် semiconductor lithography စက်ပစ္စည်းများ၊ မြင့်မားသောတိကျမှု CMM သို့မဟုတ် EV ဘက်ထရီစစ်ဆေးရေးစနစ်ကို တည်ဆောက်နေသည်ဖြစ်စေ၊ တိကျသော granite နှင့် air bearing နည်းပညာပေါင်းစပ်မှုသည် nanometer-level motion control အတွက် အခြေခံအုတ်မြစ်ကို ပံ့ပိုးပေးပါသည်။ ထို့အပြင် ZHHIMG® တွင်၊ ကျွန်ုပ်တို့သည် ထိုပေါင်းစပ်မှုကို ဆယ်စုနှစ်များစွာ ကျွမ်းကျင်စွာ ကိုင်တွယ်ဖြေရှင်းလာခဲ့ပါသည်။
ပို့စ်တင်ချိန်: ၂၀၂၆ ခုနှစ်၊ ဇူလိုင်လ ၈ ရက်