လျှပ်စစ်သံလိုက်ဝင်ရောက်စွက်ဖက်မှုမှ လေဟာနယ်လိုက်ဖက်ညီမှုအထိ- လစ်သိုဂရပ်ဖီစက်များတွင် ဂရနိုက်အောက်ခံများ၏ အစားထိုး၍မရခြင်း။

​
တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်ရေးနယ်ပယ်တွင် ချစ်ပ်ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်၏ တိကျမှုကို ဆုံးဖြတ်ပေးသည့် အဓိကပစ္စည်းကိရိယာအနေဖြင့်၊ ဖိုတိုလစ်သိုဂရပ်ဖီစက်၏ အတွင်းပိုင်းပတ်ဝန်းကျင်၏ တည်ငြိမ်မှုသည် အလွန်အရေးကြီးပါသည်။ အလွန်အမင်း ခရမ်းလွန်ရောင်ခြည်အရင်းအမြစ်၏ လှုံ့ဆော်မှုမှသည် နာနိုစကေး တိကျမှုရွေ့လျားမှုပလက်ဖောင်း၏ လည်ပတ်မှုအထိ၊ ချိတ်ဆက်မှုတိုင်းတွင် အနည်းငယ်မျှ သွေဖည်မှုမရှိပါ။ ထူးခြားသောဂုဏ်သတ္တိများစွာရှိသော ဂရနိုက်အခြေခံများသည် ဖိုတိုလစ်သိုဂရပ်ဖီစက်များ၏ တည်ငြိမ်သောလည်ပတ်မှုကို သေချာစေပြီး ဖိုတိုလစ်သိုဂရပ်ဖီတိကျမှုကို မြှင့်တင်ရာတွင် မယှဉ်နိုင်သော အားသာချက်များကို ပြသထားသည်။
ထူးချွန်သော လျှပ်စစ်သံလိုက်အကာအကွယ်ပေးသည့် စွမ်းဆောင်ရည်
ဖိုတိုလစ်သိုဂရပ်ဖီစက်၏ အတွင်းပိုင်းသည် ရှုပ်ထွေးသော လျှပ်စစ်သံလိုက်ပတ်ဝန်းကျင်ဖြင့် ပြည့်နှက်နေသည်။ အလွန်အမင်း ခရမ်းလွန်ရောင်ခြည်ရင်းမြစ်များ၊ မောင်းနှင်မော်တာများနှင့် မြင့်မားသောကြိမ်နှုန်းပါဝါထောက်ပံ့မှုများကဲ့သို့သော အစိတ်အပိုင်းများမှ ထုတ်ပေးသော လျှပ်စစ်သံလိုက်အနှောင့်အယှက် (EMI) ကို ထိရောက်စွာ မထိန်းချုပ်ပါက စက်ပစ္စည်းအတွင်းရှိ တိကျသော အီလက်ထရွန်းနစ်အစိတ်အပိုင်းများနှင့် အလင်းစနစ်များ၏ စွမ်းဆောင်ရည်ကို ပြင်းထန်စွာ ထိခိုက်စေလိမ့်မည်။ ဥပမာအားဖြင့်၊ အနှောင့်အယှက်များသည် ဖိုတိုလစ်သိုဂရပ်ဖီပုံစံများတွင် အနည်းငယ် သွေဖည်မှုများကို ဖြစ်စေနိုင်သည်။ အဆင့်မြင့်ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်များတွင် ၎င်းသည် ချစ်ပ်ပေါ်ရှိ ထရန်စစ္စတာချိတ်ဆက်မှုများ မှားယွင်းစွာဖြစ်ပေါ်စေပြီး ချစ်ပ်အထွက်နှုန်းကို သိသိသာသာ လျော့ကျစေသည်။
ဂရန်နိုက်သည် သတ္တုမဟုတ်သောပစ္စည်းဖြစ်ပြီး ၎င်းကိုယ်တိုင် လျှပ်စစ်စီးကူးမှုမရှိပါ။ သတ္တုပစ္စည်းများကဲ့သို့ အတွင်းပိုင်းရှိ အခမဲ့အီလက်ထရွန်များ ရွေ့လျားမှုကြောင့် ဖြစ်ပေါ်လာသော လျှပ်စစ်သံလိုက်လှုံ့ဆော်မှုဖြစ်စဉ် မရှိပါ။ ဤဝိသေသလက္ခဏာသည် သဘာဝလျှပ်စစ်သံလိုက်အကာအကွယ်ပေးသည့်ကိုယ်ထည်တစ်ခုဖြစ်ပြီး အတွင်းပိုင်းလျှပ်စစ်သံလိုက်အနှောင့်အယှက်၏ ထုတ်လွှင့်မှုလမ်းကြောင်းကို ထိရောက်စွာပိတ်ဆို့နိုင်သည်။ ပြင်ပလျှပ်စစ်သံလိုက်အနှောင့်အယှက်အရင်းအမြစ်မှထုတ်လုပ်သော alternating magnetic field သည် ဂရန်နိုက်အောက်ခြေသို့ ပျံ့နှံ့သွားသောအခါ၊ ဂရန်နိုက်သည် သံလိုက်မဟုတ်ပြီး သံလိုက်အဖြစ်မတည်ရှိနိုင်သောကြောင့်၊ alternating magnetic field ကို ထိုးဖောက်ရန်ခက်ခဲပြီး တိကျသောအာရုံခံကိရိယာများနှင့် optical lens adjustment device များကဲ့သို့သော base တွင်တပ်ဆင်ထားသော photolithography စက်၏အဓိကအစိတ်အပိုင်းများကို လျှပ်စစ်သံလိုက်အနှောင့်အယှက်၏လွှမ်းမိုးမှုမှကာကွယ်ပေးပြီး photolithography လုပ်ငန်းစဉ်အတွင်း pattern transfer ၏တိကျမှုကိုသေချာစေသည်။

အလွန်ကောင်းမွန်သော ဖုန်စုပ်စက် တွဲဖက်အသုံးပြုနိုင်မှု
အလွန်အမင်း ခရမ်းလွန်ရောင်ခြည် (EUV) ကို လေအပါအဝင် အရာအားလုံးက အလွယ်တကူ စုပ်ယူနိုင်သောကြောင့် EUV ပုံနှိပ်စက်များသည် ဖုန်စုပ်စက်ပတ်ဝန်းကျင်တွင် လည်ပတ်ရမည်ဖြစ်သည်။ ဤအချက်တွင် စက်ပစ္စည်းအစိတ်အပိုင်းများနှင့် ဖုန်စုပ်စက်ပတ်ဝန်းကျင် တွဲဖက်အသုံးပြုနိုင်မှုသည် အထူးအရေးကြီးလာပါသည်။ ဖုန်စုပ်စက်တွင် ပစ္စည်းများ ပျော်ဝင်၊ စုပ်ယူပြီး ဓာတ်ငွေ့ထုတ်လွှတ်နိုင်သည်။ ထုတ်လွှတ်လိုက်သော ဓာတ်ငွေ့သည် EUV အလင်းကို စုပ်ယူရုံသာမက အလင်း၏ ပြင်းထန်မှုနှင့် ထုတ်လွှင့်မှုစွမ်းဆောင်ရည်ကို လျော့ကျစေရုံသာမက မှန်ဘီလူးများကိုလည်း ညစ်ညမ်းစေနိုင်သည်။ ဥပမာအားဖြင့် ရေငွေ့သည် မှန်ဘီလူးများကို အောက်ဆီဒေးရှင်းဖြစ်စေနိုင်ပြီး ဟိုက်ဒရိုကာဗွန်များသည် မှန်ဘီလူးများပေါ်တွင် ကာဗွန်အလွှာများ စုပုံစေပြီး ပုံနှိပ်စက်၏ အရည်အသွေးကို ပြင်းထန်စွာ ထိခိုက်စေနိုင်သည်။
ဂရန်နိုက်သည် တည်ငြိမ်သော ဓာတုဂုဏ်သတ္တိများရှိပြီး လေဟာနယ်ပတ်ဝန်းကျင်တွင် ဓာတ်ငွေ့အနည်းငယ်သာ ထုတ်လွှတ်သည်။ ပရော်ဖက်ရှင်နယ်စမ်းသပ်မှုအရ၊ ဖိုတိုလစ်သိုဂရပ်ဖီစက် လေဟာနယ်ပတ်ဝန်းကျင် (ဥပမာ အဓိကအခန်းရှိ အလင်းရောင်အလင်းစနစ်နှင့် ပုံရိပ်ဖော်အလင်းစနစ်တည်ရှိသည့် အလွန်သန့်ရှင်းသော လေဟာနယ်ပတ်ဝန်းကျင်ကဲ့သို့၊ H₂O < 10⁻⁵ Pa၊ CₓHᵧ < 10⁻⁷ Pa) တွင် ဂရန်နိုက်အောက်ခံ၏ ဓာတ်ငွေ့ထွက်နှုန်းသည် အလွန်နိမ့်ပြီး သတ္တုကဲ့သို့သော အခြားပစ္စည်းများထက် များစွာနိမ့်သည်။ ၎င်းသည် ဖိုတိုလစ်သိုဂရပ်ဖီစက်၏ အတွင်းပိုင်းကို မြင့်မားသော လေဟာနယ်အဆင့်နှင့် သန့်ရှင်းမှုကို ကြာရှည်စွာ ထိန်းသိမ်းနိုင်စေပြီး၊ ထုတ်လွှင့်နေစဉ်အတွင်း EUV အလင်း၏ မြင့်မားသော ဖြတ်သန်းမှုနှင့် အလင်းမှန်ဘီလူးများအတွက် အလွန်သန့်ရှင်းသော အသုံးပြုမှုပတ်ဝန်းကျင်ကို သေချာစေပြီး၊ အလင်းစနစ်၏ ဝန်ဆောင်မှုသက်တမ်းကို တိုးချဲ့ပေးကာ ဖိုတိုလစ်သိုဂရပ်ဖီစက်၏ အလုံးစုံစွမ်းဆောင်ရည်ကို မြှင့်တင်ပေးပါသည်။
တုန်ခါမှုကို ခံနိုင်ရည်ရှိခြင်းနှင့် အပူချိန်တည်ငြိမ်မှုအားကောင်းခြင်း
ဖိုတိုလစ်သိုဂရပ်ဖီလုပ်ငန်းစဉ်အတွင်း နာနိုမီတာအဆင့်တွင် တိကျမှုသည် ဖိုတိုလစ်သိုဂရပ်ဖီစက်တွင် တုန်ခါမှု သို့မဟုတ် အပူပုံပျက်မှု အနည်းငယ်မျှ မရှိစေရန် လိုအပ်ပါသည်။ အခြားစက်ပစ္စည်းများနှင့် အလုပ်ရုံတွင် ဝန်ထမ်းလှုပ်ရှားမှုများ လည်ပတ်မှုကြောင့် ဖြစ်ပေါ်လာသော ပတ်ဝန်းကျင်တုန်ခါမှုများအပြင် လည်ပတ်နေစဉ်အတွင်း ဖိုတိုလစ်သိုဂရပ်ဖီစက်ကိုယ်တိုင်မှ ထုတ်လုပ်သော အပူသည် ဖိုတိုလစ်သိုဂရပ်ဖီတိကျမှုကို အနှောင့်အယှက်ဖြစ်စေနိုင်သည်။ ဂရန်နိုက်တွင် သိပ်သည်းဆမြင့်မားပြီး မာကျောသောအသွင်အပြင်ရှိပြီး တုန်ခါမှုကို အလွန်ကောင်းမွန်စွာ ခံနိုင်ရည်ရှိသည်။ ၎င်း၏ အတွင်းပိုင်းသတ္တုပုံဆောင်ခဲဖွဲ့စည်းပုံသည် ကျစ်လစ်သိပ်သည်းပြီး တုန်ခါမှုစွမ်းအင်ကို ထိရောက်စွာ လျှော့ချနိုင်ပြီး တုန်ခါမှုပျံ့နှံ့မှုကို လျင်မြန်စွာ နှိမ်နင်းနိုင်သည်။ စမ်းသပ်မှုအချက်အလက်များအရ တုန်ခါမှုအရင်းအမြစ်တစ်ခုတည်းအောက်တွင် ဂရန်နိုက်အခြေခံသည် တုန်ခါမှုပမာဏကို ၀.၅ စက္ကန့်အတွင်း ၉၀% ကျော် လျှော့ချနိုင်ကြောင်း ပြသထားသည်။ သတ္တုအခြေခံနှင့် နှိုင်းယှဉ်ပါက ၎င်းသည် စက်ပစ္စည်းကို ပိုမိုမြန်ဆန်စွာ တည်ငြိမ်အောင် ပြန်လည်ထိန်းသိမ်းနိုင်ပြီး ဖိုတိုလစ်သိုဂရပ်ဖီမှန်ဘီလူးနှင့် ဝေဖာကြားရှိ တိကျသောဆွေမျိုးအနေအထားကို သေချာစေပြီး တုန်ခါမှုကြောင့်ဖြစ်ပေါ်လာသော ပုံစံမှုန်ဝါးခြင်း သို့မဟုတ် မညီမညာဖြစ်ခြင်းကို ရှောင်ရှားနိုင်သည်။
တစ်ချိန်တည်းမှာပင်၊ ဂရနိုက်၏ အပူချဲ့ထွင်မှုကိန်းဂဏန်းသည် အလွန်နိမ့်ပြီး ခန့်မှန်းခြေအားဖြင့် (4-8) ×10⁻⁶/℃ ရှိပြီး သတ္တုပစ္စည်းများထက် များစွာနိမ့်ပါသည်။ ဖိုတိုလစ်သိုဂရပ်ဖီစက်လည်ပတ်နေစဉ်အတွင်း အလင်းရင်းမြစ်မှ အပူထုတ်လုပ်မှုနှင့် စက်ပိုင်းဆိုင်ရာအစိတ်အပိုင်းများမှ ပွတ်တိုက်မှုကဲ့သို့သောအချက်များကြောင့် အတွင်းပိုင်းအပူချိန်အတက်အကျရှိသော်လည်း ဂရနိုက်အခြေခံသည် အတိုင်းအတာတည်ငြိမ်မှုကို ထိန်းသိမ်းထားနိုင်ပြီး အပူချဲ့ထွင်ခြင်းနှင့် ကျုံ့ခြင်းကြောင့် သိသာထင်ရှားသောပုံပျက်ခြင်းကို မခံရပါ။ ၎င်းသည် အလင်းစနစ်နှင့် တိကျသောရွေ့လျားမှုပလက်ဖောင်းအတွက် တည်ငြိမ်ပြီး ယုံကြည်စိတ်ချရသော ပံ့ပိုးမှုကို ပေးစွမ်းပြီး ဖိုတိုလစ်သိုဂရပ်ဖီတိကျမှု၏ တသမတ်တည်းရှိမှုကို ထိန်းသိမ်းထားသည်။