ကမ္ဘာပေါ်တွင် အတိတ်ဆိတ်ဆုံးအခန်းများ—တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်သည့်စက်ရုံများ—တွင်—မမြင်ရသောရန်သူ—တုန်ခါမှုကို တိတ်ဆိတ်စွာတိုက်ပွဲဆင်နွှဲနေပါသည်။ ကမ္ဘာလုံးဆိုင်ရာ မိုက်ခရိုအီလက်ထရွန်းနစ်လုပ်ငန်းသည် 2nm နှင့်အထက်ရှိ ယုတ္တိဗေဒဂိတ်ကန့်သတ်ချက်များဆီသို့ ချီတက်လာသည်နှင့်အမျှ၊ စက်ပိုင်းဆိုင်ရာမတည်ငြိမ်မှုအတွက် သည်းခံနိုင်စွမ်းသည် ပျောက်ကွယ်သွားပါပြီ။ ဤဖိအားများသော၊ အလွန်အမင်းထိန်းချုပ်ထားသောပတ်ဝန်းကျင်များတွင်၊ ဒေါ်လာသန်းပေါင်းများစွာတန်သော လစ်သိုဂရပ်ဖီ သို့မဟုတ် မက်ထရိုလိုဂျီကိရိယာ၏ စွမ်းဆောင်ရည်သည် ၎င်းရပ်တည်နေသော မြေပြင်နှင့် အခြေခံအားဖြင့် ချိတ်ဆက်ထားသည်။ ထို့ကြောင့်ပင်fab အတွက် တုန်ခါမှုကင်းသော ဂရနိုက်အခြေခံအဆောက်အအုံသည် ဇိမ်ခံသတ်မှတ်ချက်မှ အထွက်နှုန်း အကောင်းဆုံးဖြစ်အောင် လုပ်ဆောင်ခြင်းအတွက် အခြေခံလိုအပ်ချက်အဖြစ် ပြောင်းလဲလာခဲ့သည်။
ရိုးရာတုန်ခါမှုခွဲထုတ်စနစ်များသည် တက်ကြွသောလေဝင်ပေါက်များ သို့မဟုတ် ရှုပ်ထွေးသောအီလက်ထရွန်းနစ်တုန်ခါမှုကို အာရုံစိုက်လေ့ရှိသည်။ သို့သော် ဥရောပနှင့် မြောက်အမေရိကရှိ အရှုပ်ထွေးဆုံးအင်ဂျင်နီယာပညာရှင်များသည် တက်ကြွသောစနစ်များသည် ၎င်းတို့၏အခြေခံ၏ passive stability ကဲ့သို့သာ ထိရောက်မှုရှိကြောင်း အသိအမှတ်ပြုကြသည်။ သဘာဝကျောက်စရစ်၊ အထူးသဖြင့် semiconductor အဆင့် granite မျက်နှာပြင်ပြားစံနှုန်းသို့ စီမံဆောင်ရွက်သောအခါတွင် ဓာတုပစ္စည်းများ ပုံတူကူးရန်ခက်ခဲသော intrinsic molecular density ကို ပေးစွမ်းသည်။ ZHHIMG မှရွေးချယ်ထားသော gabbro နှင့် granite သိုက်များ၏ crystalline structure သည် tool-tip displacement အဖြစ်မပြောင်းလဲမီ high frequency micro-acoustic energy ကိုစုပ်ယူသည့် သဘာဝ low-pass filter အဖြစ်ဆောင်ရွက်သည်။
ကျွန်တော်တို့ တစ်ခု ဆွေးနွေးတဲ့အခါတစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းအဆင့် ဂရနိုက် မျက်နှာပြင်ပြားကျွန်ုပ်တို့သည် စံသတ်မှတ်ထားသော စက်မှုမက်ထရိုလိုဂျီထက် ကျော်လွန်သော တိကျမှုအဆင့်ကို ရည်ညွှန်းနေပါသည်။ ပုံမှန်အလုပ်ရုံတစ်ခုတွင် Grade 00 ပြားသည် စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ အစိတ်အပိုင်းများကို စစ်ဆေးရန်အတွက် လုံလောက်ပါသည်။ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းဆိုင်ရာ အခြေအနေတွင် ZHHIMG အင်ဂျင်နီယာများသည် ထုထည်တိကျမှု၊ မျက်နှာပြင်စိုထိုင်းဆနှင့် ရေရှည်အမှုန်အမွှားတည်ငြိမ်မှုကို ထည့်သွင်းစဉ်းစားရမည်။ ငါးနှစ်အတွင်း ကျောက်တုံးတွင် အဏုကြည့်မှန်ပြောင်းဖြင့်သာ မြင်နိုင်သော ပြောင်းလဲမှုတစ်စုံတစ်ရာသည် EUV (Extreme Ultraviolet) စကင်နာတွင် အာရုံစူးစိုက်မှု ကြီးမားသောဆုံးရှုံးမှုကို ဖြစ်ပေါ်စေနိုင်သည်။ ထို့ကြောင့် ကျွန်ုပ်တို့၏ လုပ်ငန်းစဉ်တွင် တင်းကျပ်သော ဖိစီးမှုသက်သာစေသည့်ကာလ ပါဝင်ပြီး၊ နောက်ဆုံးတိကျမှု လှီးဖြတ်ခြင်းမစတင်မီ ကျောက်တုံးသည် ဘူမိဗေဒဆိုင်ရာ မျှခြေအခြေအနေကို ရောက်ရှိစေပါသည်။
အရေးပါမှုfab အတွက် တုန်ခါမှုကင်းသော ဂရနိုက်ခေတ်မီ wafer လုပ်ဆောင်ခြင်း၏ တိုးပွားလာသော throughput လိုအပ်ချက်များကြောင့် အသုံးပြုမှုကို ပိုမိုများပြားစေပါသည်။ wafer အဆင့်များကို မယုံနိုင်လောက်အောင် အရှိန်မြှင့်ပေးသည့် မြန်နှုန်းမြင့် linear မော်တာများသည် သိသာထင်ရှားသော reactive force များကို ထုတ်ပေးသည်။ ကြီးမားသော၊ inert နှင့် vibration-dampening base မပါဘဲ ဤ force များသည် တိုင်းတာမှုများအကြား "settling time" လိုအပ်သော residual oscillations များကို ဖန်တီးပေးသည်။ ZHHIMG high-mass granite solution ကို အကောင်အထည်ဖော်ခြင်းဖြင့် fab operator များသည် ဤ settling time ကို သိသိသာသာ လျှော့ချနိုင်ပြီး တစ်နာရီလျှင် wafers များ ပိုမိုထုတ်လုပ်နိုင်စေပြီး ပိုင်ဆိုင်မှုစုစုပေါင်းကုန်ကျစရိတ် နည်းပါးစေပါသည်။
စက်ရုံအတွင်းရှိ ပတ်ဝန်းကျင်ဆိုင်ရာအချက်များသည်လည်း ပစ္စည်းရွေးချယ်မှုတွင် အရေးပါသောအခန်းကဏ္ဍမှ ပါဝင်သည်။ သန့်ရှင်းသောအခန်းသည် အလွန်ထိခိုက်လွယ်သော ဂေဟစနစ်တစ်ခုဖြစ်ပြီး အပူအတက်အကျများသည် သေးငယ်သော်လည်း ပစ္စည်းများကို ချဲ့ထွင်ခြင်း သို့မဟုတ် ကျုံ့ခြင်းဖြစ်စေနိုင်သည်။ ZHHIMG'sတစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းအဆင့် ဂရနိုက် မျက်နှာပြင်ပြားထုတ်ကုန်များကို ၎င်းတို့၏ အပူချိန်ချဲ့ထွင်မှုကိန်း (CTE) အလွန်နည်းပါးသောကြောင့် ရွေးချယ်ထားပါသည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ ပေါင်းစပ်အအေးပေးစနစ်နည်းပညာနှင့် ပေါင်းစပ်လိုက်သောအခါ၊ ဤဂရနိုက်အောက်ခံများသည် အပေါ်ရှိ အီလက်ထရွန်းနစ်အစိတ်အပိုင်းများမှ ထုတ်ပေးသော အပူကို ထည့်သွင်းစဉ်းစားခြင်းမရှိဘဲ ၎င်း၏ပြားချပ်ချပ်အနေအထားကို ထိန်းသိမ်းထားသည့် အပူချိန်မပြောင်းလဲသောပလက်ဖောင်းတစ်ခုကို ပေးစွမ်းသည်။
ပိုမိုကျယ်ပြန့်သော စက်မှုလုပ်ငန်း မိုးကုပ်စက်ဝိုင်းကို ကြည့်လျှင် 300mm နှင့် 450mm wafer အရွယ်အစားများသို့ ကူးပြောင်းခြင်းသည် ပိုမိုကြီးမားပြီး ပိုမိုတည်ငြိမ်သော ဖွဲ့စည်းပုံဆိုင်ရာ အစိတ်အပိုင်းများ လိုအပ်ပါသည်။ ဤစကေးသည် ထူးခြားသော အင်ဂျင်နီယာဆိုင်ရာ စိန်ခေါ်မှုတစ်ခုကို တင်ပြသည်- ကျောက်တုံးသည် “တုန်ခါမှုကင်းစင်” နေစဉ်တွင် မျက်နှာပြင်ကျယ်တစ်ခုတွင် လုံးဝပြားချပ်မှုကို ထိန်းသိမ်းထားသည်။ ZHHIMG သည် ကျောက်တုံးမီတာများစွာတွင် မိုက်ခရွန်အဆင့် ခံနိုင်ရည်များကို ရရှိနိုင်သော စိတ်ကြိုက်ပြုလုပ်ထားသော၊ ကြီးမားသောပုံစံ CNC ကြိတ်ခွဲခြင်းနှင့် ಲೇಪစက်ယန္တရားများတွင် ရင်းနှီးမြှုပ်နှံခြင်းဖြင့် ဤပြဿနာကို ဖြေရှင်းခဲ့သည်။ ၎င်းသည် fab ပစ္စည်းကိရိယာများ အရွယ်အစား ကြီးထွားလာသည်နှင့်အမျှ အခြေခံတည်ငြိမ်မှု လျော့နည်းမသွားစေရန် သေချာစေသည်။
ဟာ့ဒ်ဝဲအပြင်၊ ZHHIMG ရဲ့ အတွေးအခေါ်ဟာ နည်းပညာဆိုင်ရာ ပွင့်လင်းမြင်သာမှုနဲ့ ပူးပေါင်းဆောင်ရွက်မှု အင်ဂျင်နီယာပညာမှာ အခြေခံထားပါတယ်။ အမေရိကန်ပြည်ထောင်စု ဒါမှမဟုတ် ဥရောပသမဂ္ဂမှာရှိတဲ့ OEM (Original Equipment Manufacturer) အတွက် ထောက်ပံ့ရေးကွင်းဆက်ရဲ့ ယုံကြည်စိတ်ချရမှုဟာ ကျောက်တုံးရဲ့ ပြားချပ်မှုလိုပဲ အရေးကြီးတယ်ဆိုတာ ကျွန်ုပ်တို့ နားလည်ပါတယ်။ ကျွန်ုပ်တို့ရဲ့ အရည်အသွေးထိန်းချုပ်မှု စာရွက်စာတမ်းတွေက အစိတ်အပိုင်းတိုင်းအတွက် အပြည့်အစုံ “မွေးစာရင်း” ကို ပေးစွမ်းပါတယ်။fab အတွက် တုန်ခါမှုကင်းသော ဂရနိုက်ကျောက်၏ မူလအစ၊ သတ္တုဓာတ်ပါဝင်မှုနှင့် အာထရာဆောင်းစစ်ဆေးမှုရလဒ်များကို အသေးစိတ်ဖော်ပြထားသော ပို့ဆောင်မှု။ ဤတင်းကျပ်မှုအဆင့်သည် ZHHIMG အောက်ခံကို တပ်ဆင်သောအခါ ၎င်းသည် စက်ရုံ၏ အမွေအနှစ်၏ အမြဲတမ်း ယုံကြည်စိတ်ချရသော အစိတ်အပိုင်းတစ်ခု ဖြစ်လာစေရန် သေချာစေသည်။
အတုဥာဏ်ရည်နှင့် မြင့်မားသောစွမ်းဆောင်ရည်ရှိသော ကွန်ပျူတာများသည် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း ရင်းနှီးမြှုပ်နှံမှုလှိုင်းသစ်တစ်ခုကို မောင်းနှင်လာသည်နှင့်အမျှ “လုံးဝငြိမ်သက်သော” ပတ်ဝန်းကျင်အတွက် ရှာဖွေမှုသည် ဆက်လက်ဖြစ်ပေါ်နေပါသည်။ ZHHIMG သည် မနက်ဖြန်၏ နာနိုဖွဲ့စည်းပုံများ၏ စိန်ခေါ်မှုများကို ရင်ဆိုင်ရန် ကျောက်တိုင်းတာမှုပညာကို ပိုမိုကောင်းမွန်အောင် လုပ်ဆောင်ခြင်းဖြင့် ဤရှာဖွေမှုအတွက် ဆက်လက်ကြိုးပမ်းနေဆဲဖြစ်သည်။ နည်းပညာ၏အနာဂတ်သည် ခိုင်မာသောအုတ်မြစ်ပေါ်တွင် တည်ဆောက်ထားကြောင်း ကျွန်ုပ်တို့ယုံကြည်ပြီး ဒစ်ဂျစ်တယ်ခေတ်၏ ဗိသုကာပညာရှင်များအား အတည်ငြိမ်ဆုံး တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းအဆင့် ဂရန်နိုက်မျက်နှာပြင်ပြား ဖြေရှင်းချက်များကို ပံ့ပိုးပေးရသည့်အတွက် ကျွန်ုပ်တို့ ဂုဏ်ယူမိပါသည်။
ZHHIMG တိကျသောကျောက်တုံးများကို စက်ရုံတစ်ခုတွင် ပေါင်းစပ်ခြင်းသည် ဖွဲ့စည်းပုံဆိုင်ရာ ရွေးချယ်မှုထက်ပိုပါသည် - ၎င်းသည် ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာ မက်ထရိုလိုဂျီ၏ အမြင့်ဆုံးစံနှုန်းများအပေါ် ကတိကဝတ်တစ်ခုဖြစ်သည်။ စက်မှုလုပ်ငန်းသည် နောက်ဆယ်စုနှစ်၏ ဆန်းသစ်တီထွင်မှုကို မျှော်လင့်နေချိန်တွင်၊ တိကျသောကျောက်တုံးများ၏ တိတ်ဆိတ်ငြိမ်သက်ပြီး ယိမ်းယိုင်ခြင်းမရှိသော ရှိနေခြင်းသည် အောင်မြင်သော wafer အထွက်နှုန်းတိုင်း၏ တိတ်ဆိတ်သော သူရဲကောင်းအဖြစ် ဆက်လက်တည်ရှိနေမည်ဖြစ်သည်။
ပို့စ်တင်ချိန်: ၂၀၂၆ ခုနှစ်၊ မတ်လ ၅ ရက်