ဘာကြောင့် ဂရနိုက်အခြေခံ တိကျစနစ်တွေဟာ ခေတ်မီစစ်ဆေးခြင်းနှင့် ရွေ့လျားမှုထိန်းချုပ်ခြင်းရဲ့ ကျောရိုးဖြစ်လာနေရတာလဲ။

တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်မှု၊ အဆင့်မြင့်မက်ထရိုလော်ဂျီနှင့် အလွန်တိကျသောထုတ်လုပ်မှုတို့တွင်၊ တည်ငြိမ်မှု၊ တိကျမှုနှင့် တုန်ခါမှုကင်းသောရွေ့လျားမှုအတွက် လိုအပ်ချက်သည် ရိုးရာစက်ယန္တရားဖွဲ့စည်းပုံများ မဖြည့်ဆည်းနိုင်သည့်အဆင့်သို့ ရောက်ရှိနေပြီဖြစ်သည်။ ဤပြောင်းလဲမှုသည် ကမ္ဘာလုံးဆိုင်ရာအင်ဂျင်နီယာအဖွဲ့များအား ၎င်းတို့၏ အထိခိုက်မခံဆုံးပစ္စည်းများကို ပံ့ပိုးပေးသည့် ပစ္စည်းများနှင့် ရွေ့လျားမှုပလက်ဖောင်းများကို ပြန်လည်အကဲဖြတ်ရန် တွန်းအားပေးနေသည်။ ရလဒ်အနေဖြင့်၊ ဂရန်နိုက်အခြေခံစနစ်များ—တိကျသောဂရန်နိုက်တပ်ဆင်ခြင်း၊ ဂရန်နိုက်စစ်ဆေးရေးအခြေခံပလက်ဖောင်းကြီးများ၊ ဒေါင်လိုက်မျဉ်းဖြောင့်အဆင့်များ ဂရန်နိုက်အဆင့်များနှင့် အဆင့်မြင့်ဂရန်နိုက်လေဝင်လေထွက်အဆင့်ဒီဇိုင်းများ—သည် မြင့်မားသောတိကျမှုရှိသောစက်မှုလုပ်ငန်းများတွင် မရှိမဖြစ်လိုအပ်လာပါသည်။ ဤဖွဲ့စည်းပုံများသည် အဘယ်ကြောင့်အရေးကြီးကြောင်းနှင့် ၎င်းတို့သည် wafer စစ်ဆေးခြင်းကဲ့သို့သော အပလီကေးရှင်းများကို မည်သို့ပံ့ပိုးပေးသည်ကို နားလည်ခြင်းသည် အမြင့်ဆုံးတိကျမှုအဆင့်တွင် ယှဉ်ပြိုင်နေသော ထုတ်လုပ်သူများအတွက် မရှိမဖြစ်လိုအပ်ပါသည်။

ဂရန်နိုက်၏ အဓိကအားသာချက်မှာ ၎င်း၏ ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာဂုဏ်သတ္တိများဖြင့် စတင်သည်။ အတွင်းပိုင်းဖိစီးမှုကို ဖြစ်ပေါ်စေသော၊ အပူချဲ့ထွင်မှုဒဏ်ကို ခံရသော သို့မဟုတ် တုန်ခါမှုကို ထုတ်လွှင့်သော သတ္တုဖွဲ့စည်းပုံများနှင့်မတူဘဲ၊ အနက်ရောင် မက်ထရိုလိုဂျီအဆင့် ဂရန်နိုက်သည် သဘာဝအတိုင်း တည်ငြိမ်နေသည်။ ဤတည်ငြိမ်မှုသည် အင်ဂျင်နီယာများအား တိကျမှုကို မထိခိုက်စေဘဲ လေးလံသောဝန်များကို သယ်ဆောင်နိုင်သော အလွန်ပြားချပ်ပြီး အလွန်မာကျောသော ပလက်ဖောင်းများကို တည်ဆောက်နိုင်စေပါသည်။ ဂရန်နိုက်စစ်ဆေးရေးအခြေခံကြီးအဖြစ် အသုံးပြုသောအခါ၊ ဤပစ္စည်းသည် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းကိရိယာများ၊ အလင်းတိုင်းတာမှုစနစ်များနှင့် တောင်းဆိုမှုများသောပတ်ဝန်းကျင်များတွင် အဆက်မပြတ်လည်ပတ်နေသော အလိုအလျောက်စစ်ဆေးရေးယူနစ်များအတွက် လိုအပ်သော အတိုင်းအတာသမာဓိမျိုးကို ပေးစွမ်းသည်။

ရွေ့လျားမှုစနစ်များ၏ကမ္ဘာတွင်၊ ဂရနိုက်သည် ၎င်း၏ passive machine foundation အခန်းကဏ္ဍထက် များစွာကျော်လွန်သွားခဲ့သည်။ ယနေ့ခေတ်တွင်၊ ၎င်းသည် Vertical Linear Stages Granite Stages အတွက် ဖွဲ့စည်းပုံဆိုင်ရာကျောရိုးအဖြစ် ဆောင်ရွက်ပြီး၊ Z-axis ရှိ တိကျသောရွေ့လျားမှုကို sub-micron သို့မဟုတ် nanometer အဆင့်များတွင်ပင် ထပ်ခါတလဲလဲလုပ်ဆောင်နိုင်ရမည်။ ဤအဆင့်များတွင် မကြာခဏ လေဝင်လေထွက်နည်းပညာကို ထည့်သွင်းလေ့ရှိပြီး ရေရှည်တိကျမှုအတွက် မရှိမဖြစ်လိုအပ်သော ပွတ်တိုက်မှုမရှိသောရွေ့လျားမှုကို ဖြစ်စေသည်။ ကောင်းမွန်စွာဒီဇိုင်းထုတ်ထားသော ဂရနိုက်အဆင့်သည် အပူထုတ်လုပ်မှုနှင့် စက်ပိုင်းဆိုင်ရာယိုယွင်းမှုကို ဖယ်ရှားပေးပြီး၊ ၎င်းတို့သည် တိကျသောရွေ့လျားမှုပလက်ဖောင်းများ၏ သက်တမ်းနှင့် ယုံကြည်စိတ်ချရမှုကို ရိုးရာအစဉ်အလာအရ ကန့်သတ်ထားသော အချက်နှစ်ချက်ဖြစ်သည်။

လေဝင်ပေါက်များသည် ဤဆင့်ကဲဖြစ်စဉ်ကို မောင်းနှင်သည့် အရေးကြီးဆုံးသော ဆန်းသစ်တီထွင်မှုများထဲမှ တစ်ခုဖြစ်သည်။ Granite Air Bearing Guide သည် အလွန်ချောမွေ့ပြီး ထိတွေ့မှုကင်းသော ရွေ့လျားမှုကို ပံ့ပိုးပေးနိုင်သည့် သာလွန်ကောင်းမွန်သော လမ်းညွှန်မျက်နှာပြင်ကို ပေးစွမ်းသည်။ Granite Air Bearing Stage တွင် ပေါင်းစပ်လိုက်သောအခါ၊ စနစ်သည် မြင့်မားသောအမြန်နှုန်းများ သို့မဟုတ် ကြာရှည်သော duty cycle များအောက်တွင်ပင် ခြေရာခံအမှားအနည်းဆုံးဖြင့် တည်ငြိမ်သောရွေ့လျားမှုကို ထိန်းသိမ်းထားနိုင်သည်။ ဤစွမ်းရည်သည် wafer alignment၊ overlay accuracy နှင့် micro-pattern scanning တို့သည် ဝင်ရိုးအားလုံးတွင် အလွန်တည်ငြိမ်သောရွေ့လျားမှု လိုအပ်သည့် semiconductor ထုတ်လုပ်ရာတွင် အထူးအရေးကြီးပါသည်။ granite တည်ငြိမ်မှုနှင့် လေဝင်ပေါက်ရွေ့လျားမှုပေါင်းစပ်မှုကို ယခုအခါ အဆင့်မြင့်စက်ဒီဇိုင်းတွင် စံနှုန်းတစ်ခုအဖြစ် သတ်မှတ်ကြသည်။

ဤတိုးတက်မှုများသည် အထူးသဖြင့် wafer စစ်ဆေးခြင်းတွင် semiconductor လုပ်ငန်းအပေါ် အဓိကသက်ရောက်မှုရှိခဲ့သည်။ စစ်ဆေးရေးစနစ်များသည် တုန်ခါမှုကို သီးခြားခွဲထုတ်ရမည်ဖြစ်ပြီး၊ ပြီးပြည့်စုံသော ပြားချပ်မှုကို ထိန်းသိမ်းရမည်ဖြစ်ပြီး နာနိုမီတာအဆင့် သည်းခံနိုင်စွမ်းများတွင် နူးညံ့သိမ်မွေ့သော wafer များကို ကိုင်တွယ်စဉ် အမှားအယွင်းကင်းသော ရွေ့လျားမှုထိန်းချုပ်မှုကို ပေးဆောင်ရမည်ဖြစ်သည်။ ဂရန်နိုက်အခြေခံဖွဲ့စည်းပုံသည် ၎င်းကိုဖြစ်နိုင်စေသည့် အခြေခံအုတ်မြစ်ကို ပံ့ပိုးပေးသည်။ ပစ္စည်း၏ မြင့်မားသောသိပ်သည်းဆသည် မော်တာများ၊ ပတ်ဝန်းကျင်ရှိ ပစ္စည်းကိရိယာများနှင့် ပတ်ဝန်းကျင်ဆိုင်ရာအချက်များမှပင် အဏုကြည့်မှန်ပြောင်းစနစ်များသည် လည်ပတ်ရန် သန့်ရှင်းပြီး တည်ငြိမ်သော ပလက်ဖောင်းတစ်ခုကို ရရှိကြောင်း သေချာစေသည်။ ထုတ်လုပ်မှု node များ ကျုံ့သွားပြီး စစ်ဆေးရေးလိုအပ်ချက်များ ပိုမိုရှုပ်ထွေးလာသည်နှင့်အမျှ ဂရန်နိုက်ထောက်ပံ့ထားသော ရွေ့လျားမှုစနစ်များသည် အထွက်နှုန်းကို ထိန်းသိမ်းရန်နှင့် wafer တည်တံ့မှုကို ကာကွယ်ရန် မရှိမဖြစ်လိုအပ်ကြောင်း သက်သေပြနေပါသည်။

ဂရက်နိုက်ဖွဲ့စည်းပုံဆိုင်ရာအစိတ်အပိုင်းများ

စက်ပစ္စည်းတည်ဆောက်သူများအတွက် ဂရန်နိုက်ဖွဲ့စည်းပုံများ၏တန်ဖိုးသည် ပစ္စည်းအားသာချက်များထက် များစွာကျော်လွန်ပါသည်။ အပြည့်အဝပေါင်းစပ်ထားသော တိကျသောဂရန်နိုက်တပ်ဆင်မှုဆီသို့ ဦးတည်သောခေတ်ရေစီးကြောင်းသည် ရှုပ်ထွေးသောစက်ဘောင်များ၊ ထည့်သွင်းထားသောထည့်သွင်းမှုများ၊ တိကျသောမြေပြင်အဆင့်များနှင့် လေဝင်လေထွက်လမ်းညွှန်များကို ပေါင်းစည်းထားသောဖွဲ့စည်းပုံအဖြစ် ထုတ်လုပ်နိုင်သည်ဟု ဆိုလိုသည်။ ၎င်းသည် တပ်ဆင်ချိန်ကို လျှော့ချပေးပြီး ချိန်ညှိမှုပြဿနာများကို ဖယ်ရှားပေးကာ နောက်ဆုံးစက်သည် ရေရှည်ဂျီဩမေတြီတည်ငြိမ်မှုကို ထိန်းသိမ်းထားကြောင်း သေချာစေသည်။ စက်ယန္တရားနည်းပညာတွင် စဉ်ဆက်မပြတ်တိုးတက်မှုများဖြင့် ဂရန်နိုက်အစိတ်အပိုင်းများကို အလွန်တင်းကျပ်သောခံနိုင်ရည်များဖြင့် ထုတ်လုပ်နိုင်ပြီး နောက်မျိုးဆက်တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းနှင့် အလင်းတန်းပစ္စည်းများအတွက် သင့်လျော်စေပါသည်။

ဥရောပ၊ အမေရိကန်နှင့် အာရှတစ်လွှားတွင် အသုံးပြုမှုကို မောင်းနှင်သည့် နောက်ထပ်အချက်တစ်ခုမှာ ဂရနိုက်၏ ရေရှည်ခံမှုဖြစ်သည်။ အပေါ်ယံလွှာများ၊ ချောဆီလိမ်းခြင်း သို့မဟုတ် မကြာခဏ ချိန်ညှိခြင်း လိုအပ်သည့် သတ္တုအစိတ်အပိုင်းများနှင့်မတူဘဲ၊ ဂရနိုက်သည် အနည်းဆုံးပြုပြင်ထိန်းသိမ်းမှုဖြင့် ၎င်း၏မျက်နှာပြင်အရည်အသွေးကို ထိန်းသိမ်းထားသည်။ ဂရနိုက်အဆင့် သို့မဟုတ် ကြီးမားသော စစ်ဆေးရေးအခြေစိုက်စခန်းတွင် အသုံးပြုသောအခါ၊ ပစ္စည်း၏ ပုံပျက်ခြင်းကို ခံနိုင်ရည်ရှိခြင်းက စနစ်သည် နှစ်ပေါင်းများစွာ တက်ကြွစွာအသုံးပြုရာတွင် ယုံကြည်စိတ်ချစွာ လုပ်ဆောင်နိုင်စေရန် သေချာစေသည်။ သက်တမ်းစက်ဝန်းကုန်ကျစရိတ်နှင့် ပတ်သက်၍ စိုးရိမ်သော ကုမ္ပဏီများအတွက်၊ ဤရေရှည်တည်ငြိမ်မှုသည် ရင်းနှီးမြှုပ်နှံမှုအပေါ် တိုင်းတာနိုင်သော အကျိုးအမြတ်ကို ပေးစွမ်းသည်။

စက်မှုလုပ်ငန်းများသည် ပိုမိုမြင့်မားသောတိကျမှုစံနှုန်းများဆီသို့ တွန်းအားပေးလာသည်နှင့်အမျှ ဂရနိုက်သည် အလွန်တည်ငြိမ်သောထုတ်လုပ်မှုအတွက် အခြေခံအဖြစ် ပိုမိုအသိအမှတ်ပြုခံရသည်။ မြန်နှုန်းမြင့်လေဝင်လေထွက်ကောင်းသောစင်မြင့်ကို ပံ့ပိုးပေးသည်ဖြစ်စေ၊ မြင့်မားသောတိကျမှုစစ်ဆေးရေးစက်၏အခြေခံကို ဖွဲ့စည်းသည်ဖြစ်စေ၊ ဂရနိုက်သည် ပတ်ဝန်းကျင်ပြောင်းလဲမှုများ သို့မဟုတ် စက်ပိုင်းဆိုင်ရာဖိစီးမှုကြောင့် စွမ်းဆောင်ရည်ကို ထိခိုက်မှုမရှိစေရန် သေချာစေသည်။ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းဝယ်လိုအား တိုးပွားလာခြင်း၊ အလိုအလျောက်စနစ် တိုးချဲ့လာခြင်းနှင့် အဆင့်မြင့်အလင်းနည်းပညာများ တိုးတက်လာခြင်းနှင့်အတူ ဂရနိုက်အခြေခံပလက်ဖောင်းများ၏ အရေးပါမှုသည် ဆက်လက်မြင့်တက်နေမည်ဖြစ်သည်။

ZHHIMG သည် တိကျသော ဂရန်နိုက် ဖြေရှင်းချက်များ၏ စွမ်းရည်များကို မြှင့်တင်ရန် ကတိပြုထားသည်။ သန့်စင်ထားသော စက်ယန္တရားလုပ်ငန်းစဉ်များ၊ တင်းကျပ်သော ISO အရည်အသွေးထိန်းချုပ်မှုနှင့် တိကျသော ဂရန်နိုက် တပ်ဆင်မှု၊ ဂရန်နိုက် လေဝင်လေထွက် အဆင့်နှင့် ဒေါင်လိုက် မျဉ်းဖြောင့် အဆင့်များကဲ့သို့သော စိတ်ကြိုက်ဖွဲ့စည်းပုံများကို စဉ်ဆက်မပြတ် ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်စေခြင်းဖြင့် ကုမ္ပဏီသည် မစ်ရှင်-အရေးပါသော အသုံးချမှုများတွင် လုံးဝတိကျမှုကို မှီခိုနေရသော ဖောက်သည်များကို ပံ့ပိုးပေးပါသည်။ wafer စစ်ဆေးခြင်း၊ နာနိုမီတာ မက်ထရိုလိုဂျီနှင့် အဆင့်မြင့် အလိုအလျောက်စနစ်များ တိုးတက်ပြောင်းလဲလာသည်နှင့်အမျှ ဂရန်နိုက်သည် ခေတ်မီ တိကျမှုအင်ဂျင်နီယာ၏ အဓိကအချက်အဖြစ် ဆက်လက်တည်ရှိနေမည်ဖြစ်ပြီး ၎င်း၏ တည်ငြိမ်မှု၊ တသမတ်တည်းရှိမှုနှင့် စွမ်းဆောင်ရည်အတွက် ယုံကြည်စိတ်ချရသည်။


ပို့စ်တင်ချိန်: ၂၀၂၅ ခုနှစ်၊ နိုဝင်ဘာလ ၂၈ ရက်