Granite သည် ၎င်း၏ထူးခြားသောစက်ပိုင်းဆိုင်ရာဂုဏ်သတ္တိများနှင့်ကြာရှည်ခံမှုကြောင့် wafer ပြုပြင်ခြင်းလုပ်ငန်းတွင်လူကြိုက်များသောပစ္စည်းဖြစ်သည်။၎င်းသည် ကမ္ဘာတစ်ဝှမ်းရှိ ကျောက်မိုင်းများမှ တူးဖော်ရရှိသည့် သဘာဝကျောက်တစ်မျိုးဖြစ်ပြီး ဆီမီးကွန်ဒတ်တာပစ္စည်းများ ထုတ်လုပ်ခြင်းအပါအဝင် ဆောက်လုပ်ရေးဆိုင်ရာ ရည်ရွယ်ချက်အမျိုးမျိုးအတွက် ရာစုနှစ်များစွာ အသုံးပြုခဲ့ကြသည်။ဤဆောင်းပါးတွင်၊ wafer processing equipment တွင် granite ၏ဂုဏ်သတ္တိများနှင့်၎င်း၏အမျိုးမျိုးသော applications များကိုဆွေးနွေးပါမည်။
Granite ၏ဂုဏ်သတ္တိများ
Granite သည် mica၊ feldspar နှင့် quartz တို့ ဖြင့်ဖွဲ့စည်းထားသော မီးသင့်ကျောက်တစ်မျိုးဖြစ်သည်။၎င်းသည် ၎င်း၏ထူးခြားသော ကြံ့ခိုင်မှု၊ မာကျောမှုနှင့် တာရှည်ခံမှုတို့အတွက် လူသိများပြီး ၎င်းသည် တိကျမှုနှင့် တိကျမှုမြင့်မားသော အပလီကေးရှင်းများအတွက် စံပြပစ္စည်းတစ်ခုဖြစ်စေသည်။Granite သည် အပူချိန် အပြောင်းအလဲကြောင့် မြင့်မားသော တည်ငြိမ်မှု ရှိသော ကြောင့် ချဲ့ထွင်ခြင်း (သို့) ကျုံ့ခြင်း မပြုဘဲ အပူပိုင်း ချဲ့ထွင်မှု နည်းပါးသော ကိန်းဂဏန်း ပါရှိသည်။ထို့အပြင် ကျောက်စိမ်းတုံးသည် သံချေးတက်ခြင်းနှင့် ဓာတုပစ္စည်းများကို ခံနိုင်ရည်ရှိပြီး ကြမ်းတမ်းသောပတ်ဝန်းကျင်များတွင် အသုံးပြုရန်အတွက် စံပြပစ္စည်းတစ်ခုဖြစ်စေသည်။
Wafer Processing Equipment တွင် Granite ၏အသုံးချမှုများ
Granite သည် ၎င်း၏ထူးခြားသောဂုဏ်သတ္တိများပေါင်းစပ်မှုကြောင့် wafer ပြုပြင်ခြင်းလုပ်ငန်းတွင် အသုံးများသောပစ္စည်းဖြစ်သည်။အောက်ဖော်ပြပါများသည် wafer processing စက်ပစ္စည်းများတွင် granite ၏အသုံးချမှုအချို့ဖြစ်သည်။
1. Metrology ကိရိယာများ
Granite ကို ညှိနှိုင်းတိုင်းတာခြင်းစက် (CMMs) နှင့် optical တိုင်းတာခြင်းစနစ်များကဲ့သို့သော မက်ထရိုဗေဒ ကိရိယာများ ထုတ်လုပ်ရာတွင် အသုံးများသည်။ဤကိရိယာများသည် တုန်ခါမှုနှင့် အပူဒဏ်ကိုခံနိုင်သော တည်ငြိမ်သောမျက်နှာပြင်များ လိုအပ်သည်။မြင့်မားသော တောင့်တင်းမှုနှင့် နိမ့်သောအပူရှိန်ချဲ့ထွင်ခြင်းသည် ၎င်းကို ယင်းကဲ့သို့အသုံးချမှုများအတွက် စံပြပစ္စည်းတစ်ခုဖြစ်စေသည်။
2. Wafer Chucks
Wafer chuck များကို ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်အတွင်း wafer များကိုင်ဆောင်ရန် အသုံးပြုသည်။ဤ chuck များသည် wafer ကွဲထွက်ခြင်း သို့မဟုတ် ကွေးခြင်းမှ ကာကွယ်ရန် ပြားချပ်ပြီး တည်ငြိမ်သော မျက်နှာပြင် လိုအပ်ပါသည်။Granite သည် အလွန်တည်ငြိမ်ပြီး ကွဲထွက်ခြင်းကို ခံနိုင်ရည်ရှိသော ပြန့်ပြူးသော မျက်နှာပြင်ကို ထောက်ပံ့ပေးသောကြောင့် ၎င်းသည် wafer chucks များအတွက် အထူးကောင်းမွန်သော ပစ္စည်းတစ်ခုဖြစ်လာသည်။
3. Chemical Mechanical Polishing (CMP) ကိရိယာများ
CMP ကိရိယာများကို ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်အတွင်း wafer များကို ပွတ်တိုက်ရန် အသုံးပြုသည်။ဤကိရိယာများသည် တုန်ခါမှုနှင့် အပူဒဏ်ကိုခံနိုင်သော တည်ငြိမ်သောပလပ်ဖောင်းတစ်ခု လိုအပ်သည်။အလွန်ကောင်းမွန်သော တောင့်တင်းမှုနှင့် သေးငယ်သောအပူရှိန်ချဲ့ထွင်ထားသော granite သည် ၎င်းကို CMP ကိရိယာများအတွက် စံပြပစ္စည်းတစ်ခုဖြစ်စေသည်။
4. Wafer စစ်ဆေးရေးကိရိယာ
Wafer စစ်ဆေးရေးကိရိယာကို wafer များတွင် ချို့ယွင်းချက်များနှင့် ချို့ယွင်းချက်များရှိမရှိ စစ်ဆေးရန် အသုံးပြုပါသည်။တိကျသောတိုင်းတာမှုများသေချာစေရန် ဤကိရိယာများသည် တည်ငြိမ်ပြီး ညီညာသောမျက်နှာပြင် လိုအပ်ပါသည်။Granite သည် warping ခံနိုင်ရည်ရှိသော တည်ငြိမ်ပြီး ပြန့်ကားသော မျက်နှာပြင်ကို ထောက်ပံ့ပေးသောကြောင့် ၎င်းသည် wafer စစ်ဆေးရေးကိရိယာအတွက် စံပြပစ္စည်းတစ်ခုဖြစ်လာသည်။
နိဂုံး
နိဂုံးချုပ်အားဖြင့်၊ ကျောက်တုံးသည် ၎င်း၏ထူးခြားသောစက်မှုဂုဏ်သတ္တိများနှင့် ကြာရှည်ခံမှုကြောင့် wafer ပြုပြင်ခြင်းလုပ်ငန်းတွင် အသုံးများသောပစ္စည်းဖြစ်သည်။၎င်းကို မက်ထရိုဗေဒ ကိရိယာများ၊ wafer chucks၊ CMP ကိရိယာများနှင့် wafer စစ်ဆေးရေးကိရိယာများ ထုတ်လုပ်ရေးတွင် အသုံးများသည်။ထူးခြားသောဂုဏ်သတ္တိများ ပေါင်းစပ်မှုသည် မြင့်မားသောတိကျမှုနှင့် တိကျမှုလိုအပ်သော အပလီကေးရှင်းများအတွက် စံပြပစ္စည်းတစ်ခုဖြစ်စေသည်။၎င်း၏အကျိုးကျေးဇူးများစွာဖြင့်၊ ကျောက်တုံးကျောက်တုံးများသည် wafer ပြုပြင်ခြင်းကိရိယာအတွက် ရေပန်းစားသောရွေးချယ်မှုတစ်ခုအဖြစ် ဆက်လက်တည်ရှိနေပြီး ၎င်း၏အသုံးပြုမှုသည် အနာဂတ်တွင် ဆက်လက်ကြီးထွားလာဖွယ်ရှိသည်။
စာတိုက်အချိန်- ဒီဇင်ဘာ-၂၇-၂၀၂၃