မြင့်မားသောကုန်ထုတ်လုပ်မှုနှင့် ခေတ်မီသိပ္ပံနည်းကျ သုတေသနနယ်ပယ်များတွင်၊ တိကျသောတည်ငြိမ်သောဖိအားလေပျံလှုပ်ရှားမှုပလပ်ဖောင်းသည် အလွန်တိကျသောလည်ပတ်မှုကိုရရှိရန် အဓိကကိရိယာဖြစ်သည်။ Granite တိကျမှုအခြေခံသည် ပလပ်ဖောင်း၏ အဓိကပံ့ပိုးပေးသည့်အစိတ်အပိုင်းဖြစ်ပြီး ၎င်း၏စွမ်းဆောင်ရည်သည် လုပ်ငန်းခွင်ပတ်ဝန်းကျင်နှင့် နီးကပ်စွာဆက်စပ်နေသည်။ ဤပတ်ဝန်းကျင်ဆိုင်ရာ လိုအပ်ချက်များကို နားလည်ခြင်းနှင့် ဖြည့်ဆည်းပေးခြင်းသည် ပလပ်ဖောင်း၏ တိကျမှုမြင့်မားသော လည်ပတ်မှုကို သေချာစေရုံသာမက ဆက်စပ်နယ်ပယ်များတွင် ၎င်း၏ ယှဉ်ပြိုင်နိုင်စွမ်းကို မြှင့်တင်ရန်အတွက် လုပ်ငန်း၏ အရေးကြီးသော အစိတ်အပိုင်းတစ်ခုလည်းဖြစ်သည်၊၊ အောက်တွင် အသေးစိတ်ဖော်ပြထားသည်များကို ဖော်ပြထားပါသည်။
1. အပူချိန်- အတိုင်းအတာတည်ငြိမ်မှုရှိစေရန် တိကျသောထိန်းချုပ်မှု
Granite သည် ၎င်း၏တည်ငြိမ်မှုအတွက်လူသိများသော်လည်း၊ ၎င်း၏အပူချဲ့ထွင်မှုကိန်းဂဏန်းသည် သုညမဟုတ်ပါ၊ သေးငယ်သောအပူချိန်ပြောင်းလဲမှုများသည် ၎င်း၏အတိုင်းအတာတိကျမှုကို သက်ရောက်မှုရှိနေဆဲဖြစ်သည်။ ယေဘူယျအားဖြင့်ပြောရလျှင်၊ Granite ၏အပူချဲ့ကိန်းသည် 5-7×10⁻⁶/℃ ဖြစ်သည်။ တိကျသောတည်ငြိမ်သောဖိအားလေထုလှုပ်ရှားမှုပလပ်ဖောင်း၏လျှောက်လွှာအခြေအနေတွင်၊ ဤအနည်းငယ်ပြောင်းလဲမှုကို ပလပ်ဖောင်းဖြင့်ချဲ့ထွင်ပြီး ရွေ့လျားမှုတိကျမှုကိုသွေဖည်သွားစေနိုင်သည်။ ဥပမာအားဖြင့်၊ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း ချစ်ပ်ပြားထုတ်လုပ်ခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်တွင်၊ danami အဆင့်၏ တိကျမှန်ကန်မှုလိုအပ်ချက်များကို နေရာချထားခြင်းအတွက် လစ်သမိုဂရပ်ဖစ်လုပ်ငန်းစဉ်၊ ပတ်ဝန်းကျင်အပူချိန်အတက်အကျ 1°C၊ 1 မီတာ ဂရန်နီအခြေခံဘေးဘက်အလျားသည် မျဉ်းကြောင်းချဲ့ထွင်ခြင်း သို့မဟုတ် ကျုံ့ခြင်း၏ 5-7 microns ထုတ်ပေးနိုင်သည်၊ ၎င်းသည် chip lithography ပုံစံသွေဖည်သွားစေရန် လုံလောက်သောအထွက်နှုန်းကို လျှော့ချနိုင်သည်။ ထို့ကြောင့်၊ တိကျသောတည်ငြိမ်သောဖိအားလေထုမျောပါသောပလပ်ဖောင်းသည် granite တိကျမှုအခြေစိုက်စခန်း၊ စံပြအလုပ်ပတ်ဝန်းကျင်အပူချိန်ကို 20°C ±1°C တွင် တင်းကြပ်စွာထိန်းချုပ်ထားသင့်သည်၊ လုပ်ငန်းများသည် တိကျမှန်ကန်သောအဆက်မပြတ်အပူချိန်လေအေးပေးစက်စနစ်ကို စဉ်ဆက်မပြတ်စောင့်ကြည့်ပြီး တိကျစွာချိန်ညှိကာ ပတ်ဝန်းကျင်အပူချိန်ကို ချိန်ညှိနိုင်သည်၊ ပလက်ဖောင်း၏အရွယ်အစားကို ထိန်းသိမ်းထားနိုင်သည်၊ တိကျမှုမြင့်မားသောလည်ပတ်မှုကိုသေချာစေရန်။
2.humidity: ကျိုးကြောင်းဆီလျော်သောထိန်းချုပ်မှု, အခြေစိုက်စခန်းစွမ်းဆောင်ရည်ကိုကာကွယ်ပါ။
စိုထိုင်းဆသည်လည်း တိကျသော ကျောက်တုံးအခြေများပေါ်တွင် သိသာထင်ရှားသော သက်ရောက်မှုရှိပါသည်။ မြင့်မားသောစိုစွတ်သောပတ်ဝန်းကျင်တွင်၊ ကျောက်တုံးများသည် ရေခိုးရေငွေ့များကို စုပ်ယူရန်လွယ်ကူပြီး မျက်နှာပြင်ပေါ်တွင် ငွေ့ရည်ဖွဲ့မှုများရှိနေနိုင်ပြီး၊ ၎င်းသည် မျက်နှာပြင်ပေါ်တွင် ငွေ့ရည်ဖွဲ့မှုဖြစ်နိုင်ကာ လေပြွန်စနစ်၏ ပုံမှန်လည်ပတ်မှုကို အနှောင့်အယှက်ပေးရုံသာမက ဂရန်နီမျက်နှာပြင်၏ တိကျမှုနှင့် ဝန်ဆောင်မှုသက်တမ်းကိုလည်း လျှော့ချပေးမည်ဖြစ်သည်။ ဥပမာအနေဖြင့် optical မှန်ဘီလူးကြိတ်ခြင်း အလုပ်ရုံကို စံနမူနာယူ၍ စိုထိုင်းဆ 60% RH ထက် ကြာမြင့်ပါက၊ granite base ၏ မျက်နှာပြင်ပေါ်တွင် စုပ်ယူထားသော ရေခိုးရေငွေ့သည် air float film ၏ တူညီမှုကို ပျက်ပြားစေပြီး မှန်ဘီလူးကြိတ်ခွဲမှု တိကျမှုနှင့် မျက်နှာပြင် ချို့ယွင်းချက်များ လျော့နည်းသွားမည်ဖြစ်သည်။ ထို့ကြောင့် လုပ်ငန်းခွင်ပတ်ဝန်းကျင်၏ နှိုင်းရစိုထိုင်းဆကို 40% မှ 60%RH ကြား ထိန်းချုပ်ရန် လိုအပ်ပါသည်။ လုပ်ငန်းများသည် စိုထိုင်းဆကို အချိန်နှင့်တပြေးညီ စောင့်ကြည့်ထိန်းချုပ်ရန်အတွက် စိုထိုင်းဆကို ထိန်းချုပ်ရန်အတွက် မြူမှုန်ရေမွှားစက်များ၊ စိုထိုင်းဆအာရုံခံကိရိယာများနှင့် အခြားစက်ပစ္စည်းများကို အသုံးပြုနိုင်ပြီး တိကျသော ကျောက်တုံးအခြေခံအတွက် သင့်လျော်သော စိုထိုင်းဆပတ်ဝန်းကျင်ကို ဖန်တီးကာ တိကျတည်ငြိမ်သောဖိအားလေလွင့်လှုပ်ရှားမှုပလပ်ဖောင်း၏ တည်ငြိမ်သောလည်ပတ်မှုကို သေချာစေသည်။
3. သန့်ရှင်းမှု- တင်းကြပ်စွာ ထိန်းချုပ်ပါ၊ အမှုန်အမွှားဝင်ရောက်စွက်ဖက်မှုကို ဖယ်ရှားပါ။
ဖုန်မှုန့်များသည် တိကျသောတည်ငြိမ်သောဖိအားလေထုလှုပ်ရှားမှုပလပ်ဖောင်း၏ "ရန်သူ" ဖြစ်ပြီး granite တိကျမှုအခြေခံကို ကြီးမားစွာထိခိုက်စေသည်။ သေးငယ်သောအမှုန်အမွှားများသည် gas float slider နှင့် granite base ကြားရှိ ဓာတ်ငွေ့ဖလင်ကွာဟချက်သို့ ရောက်ရှိလာသည်နှင့်၊ ၎င်းတို့သည် ဓာတ်ငွေ့ဖလင်၏ တူညီမှုကို ပျက်ပြားစေကာ ပွတ်တိုက်မှုကို တိုးလာစေကာ အောက်ခြေမျက်နှာပြင်ကို ကုတ်ခြစ်ကာ ပလက်ဖောင်းလှုပ်ရှားမှု၏ တိကျမှုကို ပြင်းထန်စွာ ထိခိုက်စေနိုင်ပါသည်။ အာကာသယာဉ်အစိတ်အပိုင်းများ၏ အလွန်တိကျသော စက်ယန္တရားအလုပ်ရုံတွင်၊ လေထုအတွင်းရှိ ဖုန်မှုန့်အမှုန်အမွှားများသည် ဂရန်းနစ်ခြေရင်းပေါ်သို့ ကျရောက်ပါက စက်ယန္တရားကိရိယာ၏ ရွေ့လျားမှုလမ်းကြောင်းသည် သွေဖည်သွားနိုင်ပြီး အစိတ်အပိုင်းများ၏ စက်ပိုင်းဆိုင်ရာတိကျမှုကို ထိခိုက်စေပါသည်။ ထို့ကြောင့် လုပ်ငန်းခွင်ဧရိယာကို သန့်ရှင်းသပ်ရပ်စွာ ထိန်းသိမ်းထားသင့်ပြီး သန့်ရှင်းမှုစံနှုန်း 10,000 သို့မဟုတ် ထို့ထက်ပို၍ သန့်ရှင်းမှုရှိသင့်သည်။ လုပ်ငန်းများသည် မြင့်မားသော ထိရောက်မှုရှိသော လေစစ်စစ် (HEPA) ကို တပ်ဆင်ခြင်းဖြင့် လေထုအတွင်းရှိ ဖုန်မှုန့်များကို စစ်ထုတ်နိုင်ပြီး လူသားများယူဆောင်လာသော ဖုန်မှုန့်များကို လျှော့ချရန်အတွက် ဖုန်မှုန့်ကင်းစင်သော အဝတ်အစားများ၊ ဖိနပ်အကာများ စသည်တို့ကို ၀တ်ဆင်ရန် ဝန်ထမ်းများ လိုအပ်ကြောင်း၊ နှင့် granite base ၏ တိကျသောလည်ပတ်မှုပတ်ဝန်းကျင်ကို ထိန်းသိမ်းရန်နှင့် တိကျသော static pressure air floating movement platform ကို ထိန်းသိမ်းရန် လိုအပ်ပါသည်။
4. တုန်ခါမှု- ချောမွေ့သောနေရာကို ဖန်တီးရန် ထိရောက်သော အထီးကျန်မှု
တိကျသော granite အခြေစိုက်စခန်းသည် တုန်ခါမှုလျှော့ချနိုင်စွမ်းရှိသော်လည်း ပြင်းထန်သောတုန်ခါမှုအားကောင်းမှုသည် ၎င်း၏ကြားခံကန့်သတ်ချက်ကို ချိုးဖျက်နေဆဲဖြစ်သည်။ စက်ရုံပတ်ပတ်လည် အသွားအလာနှင့် ကြီးမားသော စက်ကိရိယာများ၏ လည်ပတ်မှုမှ ထုတ်ပေးသော တုန်ခါမှုသည် မြေပြင်မှတစ်ဆင့် ဂရန်းနစ်ခြေရင်းသို့ ပို့လွှတ်ကာ ပလက်ဖောင်းလှုပ်ရှားမှု၏ တိကျမှုကို အနှောင့်အယှက်ဖြစ်စေသည်။ အဆင့်မြင့် CMM တွင်၊ တုန်ခါမှုသည် တိုင်းတာခြင်းဆိုင်ရာ ပလေယာနှင့် တိုင်းတာမှုအပိုင်းအကြား မတည်မငြိမ်ဖြစ်စေပြီး တိုင်းတာမှုဒေတာကို သွေဖည်သွားစေနိုင်သည်။ ဤပြဿနာကိုဖြေရှင်းရန်အတွက်၊ စက်တပ်ဆင်ဧရိယာတွင်တုန်ခါမှုအထီးကျန်အကန့်များချထားခြင်း၊ တုန်ခါမှုအထီးကျန်အခြေခံအုတ်မြစ်ကိုတည်ဆောက်ခြင်း သို့မဟုတ် ပြင်ပတုန်ခါမှုကိုတက်ကြွစွာနှိမ်နှင်းရန်အတွက်တက်ကြွသောတုန်ခါမှုအထီးကျန်စနစ်အသုံးပြုခြင်းကဲ့သို့သောထိရောက်သောတုန်ခါမှုအထီးကျန်မှုအစီအမံများကိုချမှတ်ရန်လိုအပ်ပြီး granite တိကျသောအခြေခံနှင့်တိကျသောတည်ငြိမ်သောဖိအားလေထုလှုပ်ရှားမှုပလပ်ဖောင်းအတွက်တိတ်ဆိတ်ပြီးတည်ငြိမ်သောအလုပ်ပတ်ဝန်းကျင်ကိုဖန်တီးရန်လိုအပ်ပါသည်။
ပလတ်ဖောင်းသည် အမျိုးမျိုးသောစက်မှုလုပ်ငန်းများအတွက် တိကျမှုနှင့် တည်ငြိမ်မှုမြင့်မားသော ရွေ့လျားမှုထိန်းချုပ်ရေးဝန်ဆောင်မှုများကို ပံ့ပိုးပေးကြောင်း သေချာစေရန်အတွက် အထက်ဖော်ပြပါ သဘာဝပတ်ဝန်းကျင်ဆိုင်ရာ လိုအပ်ချက်များနှင့် ပြည့်မီစေရန်၊ တိကျသောတည်ငြိမ်သောဖိအားလေထုလှုပ်ရှားမှုပလပ်ဖောင်းရှိ ကျောက်တုံးတိကျမှုအခြေစိုက်စခန်း၏ အားသာချက်များကို အပြည့်အဝကစားနိုင်စေရန်။ လုပ်ငန်းများသည် ထုတ်လုပ်မှုပတ်ဝန်းကျင်တွင် ဤအသေးစိတ်အချက်အလက်များကို အာရုံစိုက်နိုင်လျှင် တိကျသောကုန်ထုတ်လုပ်မှု၊ သိပ္ပံသုတေသနနှင့် အခြားနယ်ပယ်များတွင် အခွင့်အလမ်းကို ဆုပ်ကိုင်နိုင်မည်ဖြစ်ပြီး ၎င်းတို့၏ယှဉ်ပြိုင်နိုင်စွမ်းကို မြှင့်တင်ရန်နှင့် ရေရှည်တည်တံ့သော ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်မှုကို ရရှိမည်ဖြစ်သည်။
ပို့စ်အချိန်- ဧပြီလ ၁၀-၂၀၂၅