မိုက်ခရွန်အောက် တိကျမှုကို အဆက်မပြတ်လိုက်စားရင်း ထုတ်လုပ်ရေးလောကသည် ရိုးရာပစ္စည်းများ၏ ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာ ကန့်သတ်ချက်များကို ကျော်လွန်နေပါသည်။ ဆယ်စုနှစ်များစွာကြာအောင် အင်ဂျင်နီယာများသည် ကြီးမားသော မည်သည့်အရာကိုမဆို အားကိုးခဲ့ကြသည်။ဂရနိုက်အခြေခံများတည်ငြိမ်မှုအတွက် သို့မဟုတ် တောင့်တင်းမှုအတွက် အဆင့်မြင့်နည်းပညာကြွေထည်များ။ သို့သော် ကျွန်ုပ်တို့သည် ကွမ်တမ်ကွန်ပျူတာနှင့် နာနိုနည်းပညာခေတ်သို့ ရွေ့လျားလာသည်နှင့်အမျှ မေးခွန်းမှာ “ဂရနိုက် vs ကြွေ” မဟုတ်တော့ပါ။
အနာဂတ်သည် hybrid precision metrology platform များနှင့် သက်ဆိုင်သည်။
ဂရနိုက်၏ သဘာဝတုန်ခါမှုကို တုန်ခါမှုလျော့ကျစေသော ဂုဏ်သတ္တိများကို အဆင့်မြင့်ကြွေထည်များ၏ အလွန်အမင်းတောင့်တင်းမှုနှင့် ပေါင်းစပ်ခြင်းဖြင့်၊ R&D အဖွဲ့များနှင့် စက်ပစ္စည်းဒီဇိုင်နာများသည် နောက်မျိုးဆက် တိုင်းတာမှုအခြေခံများကို ဖန်တီးနေကြသည်။ ဤဆောင်းပါးသည် ဤပစ္စည်းပေါင်းစပ်မှုသည် အလွန်မြင့်မားသောတိကျမှုအသုံးချမှုများအတွက် ရွှေစံနှုန်းဖြစ်လာရသည့်အကြောင်းရင်းကို စူးစမ်းလေ့လာသည်။
ရိုးရာပစ္စည်းများ၏ ကန့်သတ်ချက်များ
ဟိုက်ဘရစ်ပလက်ဖောင်းများ တိုးတက်လာမှုကို နားလည်ရန်အတွက်၊ ကျွန်ုပ်တို့သည် တစ်ဦးချင်းပစ္စည်းများ၏ ကန့်သတ်ချက်များကို ဦးစွာကြည့်ရှုရမည်-
- ဂရနိုက်- တုန်ခါမှုကို လျော့ချခြင်းနှင့် အပူရှော့ခ်ကို ခံနိုင်ရည်ရှိခြင်းတွင် အထူးကောင်းမွန်သော်လည်း ဂရနိုက်တွင် ကျုံ့နိုင်ဆန့်နိုင်သော မော်ဂျူးလပ်စ် (တောင့်တင်းမှု) နည်းပါးသည်။ မြန်နှုန်းမြင့် ဒိုင်းနမစ် စကင်န်ဖတ်ခြင်းတွင် ၎င်းသည် တိကျမှုကို ထိခိုက်စေသည့် သေးငယ်သော ကွဲလွဲမှုများကို ဖြစ်ပေါ်စေနိုင်သည်။
- ကြွေထည်များ (အလူမီနာ/ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ဒ်): ကြွေထည်များသည် မယုံနိုင်လောက်အောင် မာကျောမှုနှင့် ပွတ်တိုက်မှုဒဏ်ကို ခံနိုင်ရည်ရှိသည်။ သို့သော် ၎င်းတို့သည် ကြွပ်ဆတ်နိုင်ပြီး ပမာဏများစွာ စက်ဖြင့်ပြုပြင်ရန် စျေးကြီးနိုင်ပြီး တစ်ခါတစ်ရံတွင် ၎င်းတို့ကို စုပ်ယူမည့်အစား မြင့်မားသောကြိမ်နှုန်းရှိသော တုန်ခါမှုများကို ထုတ်လွှတ်နိုင်သည်။
Hybrid Solution: နှစ်မျိုးလုံးရဲ့ အကောင်းဆုံး
Hybrid precision metrology platform များသည် ၎င်း၏ အစိတ်အပိုင်းများ၏ စုစုပေါင်းထက် သာလွန်ကောင်းမွန်သော ပေါင်းစပ်ဖွဲ့စည်းပုံကို ဖန်တီးရန် ပစ္စည်းနှစ်မျိုးလုံး၏ အားသာချက်များကို အသုံးချသည်။
၁။ “ပျော့ပျောင်းသော မာကျောမှု” ဗိသုကာ
ပုံမှန် hybrid ဒီဇိုင်းတွင်၊ ပတ်ဝန်းကျင်ဆူညံသံနှင့် အပူစွမ်းအင်ကို စုပ်ယူရန်အတွက် ဂရနိုက်အခြေခံကို ဖွဲ့စည်းပုံဆိုင်ရာ အခြေခံအဖြစ် အသုံးပြုသည်။ ၎င်းနှင့် ချိတ်ဆက်ထားသော ကြွေပြား သို့မဟုတ် လမ်းညွှန်ရထားလမ်း ပါရှိသည်။ ဤဖွဲ့စည်းပုံသည် ဂရနိုက်မှ ပေးစွမ်းသော တိတ်ဆိတ်ငြိမ်သက်သော ပတ်ဝန်းကျင်ကို ထိန်းသိမ်းထားစဉ်တွင် မြင့်မားသော အရှိန်မြှင့်လှုပ်ရှားမှုများအတွက် လိုအပ်သော မာကျောမှုကို အဆင့်မြင့် composite metrology အခြေခံများကို ပေးစွမ်းသည်။
ပုံမှန် hybrid ဒီဇိုင်းတွင်၊ ပတ်ဝန်းကျင်ဆူညံသံနှင့် အပူစွမ်းအင်ကို စုပ်ယူရန်အတွက် ဂရနိုက်အခြေခံကို ဖွဲ့စည်းပုံဆိုင်ရာ အခြေခံအဖြစ် အသုံးပြုသည်။ ၎င်းနှင့် ချိတ်ဆက်ထားသော ကြွေပြား သို့မဟုတ် လမ်းညွှန်ရထားလမ်း ပါရှိသည်။ ဤဖွဲ့စည်းပုံသည် ဂရနိုက်မှ ပေးစွမ်းသော တိတ်ဆိတ်ငြိမ်သက်သော ပတ်ဝန်းကျင်ကို ထိန်းသိမ်းထားစဉ်တွင် မြင့်မားသော အရှိန်မြှင့်လှုပ်ရှားမှုများအတွက် လိုအပ်သော မာကျောမှုကို အဆင့်မြင့် composite metrology အခြေခံများကို ပေးစွမ်းသည်။
၂။ အပူဆ៊ီမက်ထရီ
တိကျမှုအင်ဂျင်နီယာပညာတွင် အကြီးမားဆုံးစိန်ခေါ်မှုများထဲမှတစ်ခုမှာ အပူချိန်ချဲ့ထွင်ခြင်းဖြစ်သည်။ လိုက်ဖက်သော အပူချိန်ကိန်းဂဏန်းများပါရှိသော ဂရနိုက်နှင့် ကြွေထည်အဆင့်များကို ဂရုတစိုက်ရွေးချယ်ခြင်းဖြင့် အင်ဂျင်နီယာများသည် အပူချိန်အတက်အကျများကို လုံးဝခံနိုင်ရည်ရှိသော ပလက်ဖောင်းများကို ဒီဇိုင်းထုတ်နိုင်ပြီး ၎င်းသည် နောက်မျိုးဆက်တိုင်းတာမှုအုတ်မြစ်များအတွက် အရေးကြီးသောလိုအပ်ချက်တစ်ခုဖြစ်သည်။
တိကျမှုအင်ဂျင်နီယာပညာတွင် အကြီးမားဆုံးစိန်ခေါ်မှုများထဲမှတစ်ခုမှာ အပူချိန်ချဲ့ထွင်ခြင်းဖြစ်သည်။ လိုက်ဖက်သော အပူချိန်ကိန်းဂဏန်းများပါရှိသော ဂရနိုက်နှင့် ကြွေထည်အဆင့်များကို ဂရုတစိုက်ရွေးချယ်ခြင်းဖြင့် အင်ဂျင်နီယာများသည် အပူချိန်အတက်အကျများကို လုံးဝခံနိုင်ရည်ရှိသော ပလက်ဖောင်းများကို ဒီဇိုင်းထုတ်နိုင်ပြီး ၎င်းသည် နောက်မျိုးဆက်တိုင်းတာမှုအုတ်မြစ်များအတွက် အရေးကြီးသောလိုအပ်ချက်တစ်ခုဖြစ်သည်။
လက်တွေ့ကမ္ဘာအသုံးချမှုများ- Hybrids များ ထွန်းတောက်သည့်နေရာ
ဤနည်းပညာသည် သီအိုရီပိုင်းဆိုင်ရာသက်သက်မဟုတ်ပါ၊ “တိကျမှု” သည် မလုံလောက်ဘဲ “ပြီးပြည့်စုံမှု” သည် အခြေခံဖြစ်သည့် နယ်ပယ်များတွင် ၎င်းကို အလျင်အမြန် လက်ခံကျင့်သုံးလာကြသည်။
- ကွမ်တမ်ကွန်ပျူတာ- qubits များထုတ်လုပ်ရာတွင် အက်တမ်အဆင့်တွင် တည်ငြိမ်မှုလိုအပ်သည်။ Hybrid platform များသည် ကွမ်တမ်ပရိုဆက်ဆာထုတ်လုပ်ရာတွင် အသုံးပြုသော အီလက်ထရွန်မိုက်ခရိုစကုပ်နှင့် လစ်သရိုဂရပ်ဖီအတွက် လိုအပ်သော သုညတုန်ခါမှုပတ်ဝန်းကျင်ကို ပေးစွမ်းသည်။
- ဆွဲငင်အားလှိုင်းထောက်လှမ်းခြင်းနှင့် အလင်းပညာ- အလင်းပညာ မက်ထရိုလိုဂျီတွင် အနည်းငယ်သော ပဲ့တင်ထပ်မှုပင် ပုံရိပ်ကို မှုန်ဝါးစေနိုင်သည်။ ပေါင်းစပ်ဖွဲ့စည်းပုံသည် အသံဆူညံမှုနှင့် စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ပဲ့တင်ထပ်မှုကို လျော့ပါးစေပြီး ပါဝါမြင့်လေဆာအလင်းပညာနှင့် တယ်လီစကုပ်မှန်များကို စမ်းသပ်ရန်အတွက် အကောင်းဆုံးဖြစ်စေသည်။
- နာနိုထုတ်လုပ်မှု- တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းနုတ်များသည် 3nm အောက်သို့ ကျုံ့သွားသည်နှင့်အမျှ၊ တိုင်းတာရေးကိရိယာများ (EUV လစ်သိုဂရပ်ဖီစကင်နာများကဲ့သို့) သည် အလွန်ပေါ့ပါးသော (အမြန်နှုန်းအတွက်) နှင့် အလွန်မာကျောသော (တိကျမှုအတွက်) အဆင့်များ လိုအပ်သည်။ ဟိုက်ဘရစ်ကြွေ-ဂရနိုက် အဆင့်များသည် ဤနေရာတွင် စက်မှုလုပ်ငန်းစံနှုန်းဖြစ်လာသည်။
နှိုင်းယှဉ်ချက်- ရိုးရာနှင့် ရောနှော
| အင်္ဂါရပ် | သန့်စင်သော ဂရနိုက်အခြေခံ | သန့်စင်သော ကြွေထည်အခြေခံ | ဟိုက်ဘရစ် ဂရက်နိုက်-ကြွေထည် |
|---|---|---|---|
| တုန်ခါမှုကို လျော့ချပေးခြင်း | အလွန်ကောင်းမွန်သည် | နိမ့်ကျသော | အလွန်ကောင်းမွန်သည် |
| တည်ငြိမ်သော တောင့်တင်းမှု | အလယ်အလတ် | မြင့်မားသော | အလွန်မြင့်မားသည် |
| အပူတည်ငြိမ်မှု | မြင့်မားသော | အလယ်အလတ် | အကောင်းဆုံးဖြစ်အောင်ပြုလုပ်ထားသည် |
| ကုန်ကျစရိတ်ထိရောက်မှု | မြင့်မားသော | နိမ့်ကျသော | အလယ်အလတ်/မြင့်မားသော |
နိဂုံးချုပ်- နောက်မျိုးဆက်အတွက် ပြင်ဆင်ခြင်း
နည်းပညာဒါရိုက်တာများနှင့် R&D အင်ဂျင်နီယာများအတွက်၊ hybrid ပစ္စည်းများသို့ ပြောင်းလဲခြင်းသည် မဟာဗျူဟာမြောက် အခွင့်အရေးတစ်ခုကို ကိုယ်စားပြုသည်။ တစ်ခုတည်းသော ပစ္စည်းကန့်သတ်ချက်များကို ကျော်လွန်ခြင်းဖြင့်၊ သင်သည် ပိုမိုမြန်ဆန်၊ ပိုမိုတိကျပြီး ပိုမိုတာရှည်ခံသော စက်ပစ္စည်းများကို ဒီဇိုင်းထုတ်နိုင်သည်။
ZHHIMG မှာ၊ ကျွန်ုပ်တို့သည် ဤပစ္စည်းဆင့်ကဲဖြစ်စဉ်၏ ရှေ့တန်းတွင် ရှိနေသည်။ သင်သည် semiconductor စစ်ဆေးခြင်းတွင် နောက်ထပ်အောင်မြင်မှုတစ်ခုကို တီထွင်နေသည်ဖြစ်စေ၊ သင့်သုတေသနဓာတ်ခွဲခန်းအတွက် စိတ်ကြိုက်အဆင့်မြင့် composite metrology base လိုအပ်သည်ဖြစ်စေ၊ ကျွန်ုပ်တို့အဖွဲ့တွင် ဤရှုပ်ထွေးသော hybrid တည်ဆောက်ပုံများကို စက်ဖြင့်ပြုပြင်ပြီး တပ်ဆင်နိုင်သည့် ကျွမ်းကျင်မှုရှိသည်။
ပစ္စည်းကန့်သတ်ချက်များကြောင့် သင့်ရဲ့ဆန်းသစ်တီထွင်မှုကို တားဆီးမထားပါနဲ့။ သင့်ရဲ့စိတ်ကြိုက် hybrid platform လိုအပ်ချက်တွေကို ဆွေးနွေးဖို့ ဒီနေ့ပဲ ကျွန်ုပ်တို့ကို ဆက်သွယ်လိုက်ပါ။
ပို့စ်တင်ချိန်: ၂၀၂၆ ခုနှစ်၊ မတ်လ ၃၀ ရက်