တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း တိကျမှုအဆင့်များနှင့် အဆင့်မြင့် မက်ထရိုလိုဂျီတွင် ဂရနိုက်၏ အရေးပါသော အခန်းကဏ္ဍ

ကမ္ဘာလုံးဆိုင်ရာ semiconductor လုပ်ငန်းသည် လက်ရှိတွင် transistor အတိုင်းအတာများကို အက်တမ်အနည်းငယ်၏ အကျယ်ဖြင့် တိုင်းတာသည့် “Angstrom Era” ကို အဆက်မပြတ်လိုက်စားနေပါသည်။ လစ်သိုဂရပ်ဖီနှင့် စစ်ဆေးရေးကိရိယာများသည် ဤအဏုကြည့်မှန်ပြောင်းဖြင့်သာမြင်နိုင်သော စကေးများအဖြစ်သို့ ကူးပြောင်းလာသည်နှင့်အမျှ ဖွဲ့စည်းပုံတည်ငြိမ်မှုအတွက် လိုအပ်ချက်သည် “macro” မှ “nano” သို့ ပြောင်းလဲလာခဲ့သည်။ ဤတော်လှန်ရေး၏ အဓိကအချက်မှာ ကမ္ဘာမြေကဲ့သို့ပင် ရှေးကျသော ပစ္စည်းတစ်ခုဖြစ်သည်- Precision Granite။

ဂရန်နိုက်ကို ရိုးရှင်းတဲ့ ကျောက်တုံးတစ်ခုအဖြစ် လူအများက ရှုမြင်ကြပေမယ့်၊ ရှုထောင့်တစ်ခုအနေနဲ့ကတော့နာနိုတည်နေရာအဆင့်သို့မဟုတ် မြန်နှုန်းမြင့် wafer စစ်ဆေးရေးစနစ်တစ်ခုအတွက်၊ ၎င်းသည် ခေတ်မီသော အင်ဂျင်နီယာကြွေထည်တစ်ခုဖြစ်သည်။ ဆီလီကွန်ထုတ်လုပ်ခြင်းတွင် ဖြစ်နိုင်ချေရှိသော နယ်နိမိတ်များကို တွန်းအားပေးလိုသော OEM များအတွက် အခြေခံ metrology tools များနှင့် အဆင့်မြင့် motion platforms များအကြား ခြားနားချက်ကို နားလည်ခြင်းသည် မရှိမဖြစ်လိုအပ်ပါသည်။

Granite CMM vs. Granite Surface Plate: အင်ဂျင်နီယာပြောင်းလဲမှုကို နားလည်ခြင်း

အရည်အသွေးထိန်းချုပ်ရေးဓာတ်ခွဲခန်းများစွာတွင်၊ဂရနိုက် မျက်နှာပြင်ပြားသည် နေရာတိုင်းတွင် အသုံးပြုနိုင်သော ကိရိယာတစ်ခုဖြစ်ပြီး လက်ဖြင့်တိုင်းတာရန်အတွက် ယုံကြည်စိတ်ချရသော ပြားချပ်ချပ် ရည်ညွှန်းချက်တစ်ခုဖြစ်သည်။ သို့သော် မျက်နှာပြင်ပြားနှင့် Granite CMM (Coordinate Measuring Machine) အောက်ခံတို့သည် အပြန်အလှန်လဲလှယ်နိုင်သည်ဟူသော အထင်အမြင်လွဲမှားမှုတစ်ခုရှိသည်။ အင်ဂျင်နီယာရှုထောင့်မှကြည့်လျှင် ၎င်းတို့သည် ရှုပ်ထွေးမှုအဆင့်နှစ်ခုကို ကိုယ်စားပြုသည်။

မျက်နှာပြင်ပြားကို တည်ငြိမ်သော တည်ငြိမ်မှုအတွက် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသည်။ ၎င်း၏ အဓိကအလုပ်မှာ တည်ငြိမ်သော ဝန်အောက်တွင် ပြားချပ်နေစေရန်ဖြစ်သည်။ ဆန့်ကျင်ဘက်အနေဖြင့်၊ CMM သို့မဟုတ် တိကျသောအဆင့်အတွက် ဂရန်နိုက်အခြေခံသည် dynamic loads များကို ကိုင်တွယ်ရမည်။ CMM ၏ bridge ရွေ့လျားသည် သို့မဟုတ် linear motor သည် wafer stage ကို Gs အများအပြားတွင် အရှိန်မြှင့်လိုက်သည်နှင့်အမျှ၊ ဂရန်နိုက်သည် ကွေးညွှတ်ခြင်းကိုသာမက torsion နှင့် harmonic resonance ကိုလည်း ခံနိုင်ရည်ရှိရမည်။

ZHHIMG အင်ဂျင်နီယာများသည် ၎င်း၏ မြင့်မားသောသိပ်သည်းဆနှင့် ပိုမိုနူးညံ့သော အမှုန်အမွှားဖွဲ့စည်းပုံကြောင့် ပြောင်းလဲနေသော အသုံးချမှုများအတွက် “Black Granite” ကို အထူးရွေးချယ်ကြသည်။ စံမျက်နှာပြင်ပြားသည် ပိုမို porous မျိုးကွဲကို အသုံးပြုနိုင်သော်လည်း၊ CMM အခြေခံသည် မြန်နှုန်းမြင့်လှုပ်ရှားမှု၏ “snap” သည် တိုင်းတာမှုဒေတာကို ပျက်စီးစေမည့် ဖွဲ့စည်းပုံဆိုင်ရာ ringing အဖြစ် မပြောင်းလဲစေရန်အတွက် အမြင့်ဆုံးဖြစ်နိုင်သော Young's Modulus လိုအပ်သည်။

တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း ထုတ်လုပ်ရေးတွင် တိကျမှုအဆင့်များ- အထွက်နှုန်း၏ အခြေခံအုတ်မြစ်

တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း ထုတ်လုပ်ရေးတွင်၊ throughput နှင့် yield တို့သည် အရေးအကြီးဆုံး တိုင်းတာမှု နှစ်ခုဖြစ်သည်။ နှစ်ခုစလုံးသည် စွမ်းဆောင်ရည်ပေါ်တွင် တိုက်ရိုက်မူတည်သည်။တိကျသောအဆင့်များDUV/EUV လစ်သိုဂရပ်ဖီစက်ရှိ wafer stage ဖြစ်စေ၊ Automated Optical Inspection (AOI) ကိရိယာရှိ positioning system ဖြစ်စေ၊ အခြေခံပစ္စည်းသည် sub-nanometer repeatability ကို အထောက်အကူပြုရမည်။

fab မှာ အဓိကစိန်ခေါ်မှုက အပူပါ။ linear motor တွေနဲ့ actuator တွေက သိသာထင်ရှားတဲ့ အပူစွမ်းအင်ကို ထုတ်ပေးပါတယ်။ stage base ကို အလူမီနီယမ် ဒါမှမဟုတ် သံမဏိနဲ့ ပြုလုပ်ထားရင်၊ ရလဒ်အနေနဲ့ thermal expansion က wafer ကို alignment ကနေ ရွေ့သွားစေပြီး ချစ်ပ်အသုတ်တစ်ခုလုံးကို ပျက်စီးစေတဲ့ “overlay errors” တွေ ဖြစ်ပေါ်စေပါလိမ့်မယ်။

ဂရန်နိုက်၏ အလွန်နိမ့်သော အပူချဲ့ထွင်မှုကိန်း (CTE) သည် မော်တာများ ပူလာသည်နှင့်အမျှပင် စင်မြင့်၏ ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာ “မြေပုံ” သည် မပြောင်းလဲဘဲ ရှိနေကြောင်း သေချာစေသည်။ ထို့အပြင် ZHHIMG သည် ပေါင်းစပ်ထားသော လေဝင်လေထွက်လမ်းကြောင်းများဖြင့် စိတ်ကြိုက်ပြုလုပ်ထားသော ဂရန်နိုက်အစိတ်အပိုင်းများကို ပံ့ပိုးပေးသည်။ ဂရန်နိုက်ကို မှန်ကဲ့သို့ ပြားချပ်အောင် ပွတ်တိုက်နိုင်သောကြောင့် ၎င်းသည် လေဝင်လေထွက်များအတွက် ပြီးပြည့်စုံသော တန်ပြန်မျက်နှာပြင်အဖြစ် ဆောင်ရွက်ပေးပြီး စင်မြင့်များကို ပွတ်တိုက်မှုနှင့် ထိတွေ့မှု လုံးဝမရှိဘဲ လေအလွှာပါးပေါ်တွင် “ပေါလောမျော” နိုင်စေသည်။

နာနိုတည်နေရာအဆင့်အခြေခံ၏ ရူပဗေဒ

ကျွန်ုပ်တို့ လောကီနယ်ပယ်ထဲသို့ ဝင်ရောက်သောအခါနာနိုတည်နေရာအဆင့်ကျွန်ုပ်တို့သည် လူ့ဆံပင်ထက် ၁၀,၀၀၀ ဆ သေးငယ်သော လှုပ်ရှားမှုများကို ကိုင်တွယ်ဖြေရှင်းနေရပါသည်။ ဤအဆင့်တွင် တုန်ခါမှုသည် ရန်သူဖြစ်သည်။ စံစက်မှုလုပ်ငန်းကြမ်းပြင်များသည် HVAC စနစ်များ၊ လမ်းလျှောက်သူများနှင့် အနီးအနားရှိ စက်ပစ္စည်းများကြောင့် အဆက်မပြတ်တုန်ခါနေပါသည်။

ဂရန်နိုက်သည် ကြီးမားသော low-pass filter အဖြစ် လုပ်ဆောင်သည်။ ၎င်း၏ မြင့်မားသော အလေးချိန်နှင့် မြင့်မားသော အတွင်းပိုင်း damping ကြောင့်၊ ၎င်းသည် အာရုံခံကိရိယာများ သို့မဟုတ် wafer ကိုယ်တိုင်သို့ မရောက်မီ မြင့်မားသော ကြိမ်နှုန်းတုန်ခါမှုများကို သဘာဝအတိုင်း စုပ်ယူသည်။ ဤ “passive isolation” သည် ကမ္ဘာ့ဦးဆောင် lithography ပေးသွင်းသူများသည် ၎င်းတို့၏ vacuum-compatible stage များအတွက် လေးလံပြီး တည်ငြိမ်သော အုတ်မြစ်များကို ပံ့ပိုးပေးရန် ZHHIMG ကို အားကိုးနေရသည့် အကြောင်းရင်းဖြစ်သည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ ဂရန်နိုက်ကို ဓာတ်ငွေ့ထွက်ရှိမှု သုညဖြစ်စေရန် အထူးပြုလုပ်ထားပြီး electron-beam နှင့် EUV လုပ်ငန်းစဉ်များအတွက် လိုအပ်သော high-vacuum ပတ်ဝန်းကျင်များအတွက် သင့်လျော်စေသည်။

အကန့်အသတ်အထိ ပြေးလွှားခြင်း- ZHHIMG ၏ အားသာချက်

ကျောက်တုံးအစိမ်းတုံးမှ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းအဆင့် အစိတ်အပိုင်းသို့ ကူးပြောင်းခြင်းသည် အလွန်စိတ်ရှည်သည်းခံမှု၏ ခရီးတစ်ခုဖြစ်သည်။ CNC ကြိတ်ခွဲခြင်းသည် ကျွန်ုပ်တို့အား နီးကပ်စွာ ရရှိစေသော်လည်း၊ နောက်ဆုံး “Super-Precision” အဆင့်ကို လက်ဖြင့် ပွတ်တိုက်ခြင်းဖြင့် ရရှိသည်။ ဤသည်မှာ ZHHIMG နည်းပညာရှင်များသည် မိုက်ခရွန်၏ အစိတ်အပိုင်းများကို တစ်ကြိမ်လျှင် ခြစ်ထုတ်ရန် ပွတ်တိုက်အနှစ်များနှင့် လက်ဖြင့်လှုပ်ရှားမှုများကို အသုံးပြုသည့် လုပ်ငန်းစဉ်တစ်ခုဖြစ်သည်။

တစ်ခုအတွက်နာနိုတည်နေရာအဆင့်ပြားချပ်မှုသည် တစ်ခုတည်းသော လိုအပ်ချက်မဟုတ်ပါ။ လမ်းညွှန်မျက်နှာပြင်များ၏ parallelism နှင့် perpendicularity တို့သည်လည်း တူညီစွာ အရေးကြီးပါသည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ စက်ရုံသည် လေဆာခြေရာခံကိရိယာများနှင့် 0.1 arc-seconds resolution ပါသော electronic levels များကို အသုံးပြု၍ ဝင်ရိုးတိုင်း ပြီးပြည့်စုံစွာ ချိန်ညှိထားကြောင်း အတည်ပြုပါသည်။ ဤလက်မှုပညာအဆင့်သည် ဖောက်သည်တစ်ဦးသည် ၎င်းတို့၏ linear motors များနှင့် encoders များကို တပ်ဆင်သောအခါ၊ စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ အခြေခံသည် ရူပဗေဒက ခွင့်ပြုသလောက် "ပြီးပြည့်စုံ" ကြောင်း သေချာစေသည်။

အနာဂတ်ကို ခိုင်မာစေသော Fab ကို ဖန်တီးခြင်း

စက်မှုလုပ်ငန်းသည် 2nm node များဆီသို့နှင့် ထို့ထက်ကျော်လွန်သည်နှင့်အမျှ ပစ္စည်းသန့်စင်မှုနှင့် အတိုင်းအတာတည်ငြိမ်မှုအတွက် လိုအပ်ချက်များသည် ပိုမိုပြင်းထန်လာမည်ဖြစ်သည်။ ကာဗွန်ဖိုက်ဘာတံတားများ သို့မဟုတ် ကြွေဖုန်စုပ်ချပ်များကဲ့သို့သော အခြားအဆင့်မြင့်ပစ္စည်းများနှင့် ဂရနိုက်ကို ပေါင်းစပ်ခြင်းသည် ရွေ့လျားမှုထိန်းချုပ်မှုတွင် နောက်ထပ်နယ်နိမိတ်တစ်ခုဖြစ်သည်။

ZHHIMG သည် ပေးသွင်းသူတစ်ဦးထက်ပို၍ ကတိကဝတ်ပြုထားဆဲဖြစ်သည်။ ကျွန်ုပ်တို့သည် ကမ္ဘာလုံးဆိုင်ရာ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း ထောက်ပံ့ရေးကွင်းဆက်တွင် ပူးပေါင်းဆောင်ရွက်သော မိတ်ဖက်တစ်ဦးဖြစ်သည်။ နောက်မျိုးဆက် တိကျမှုအဆင့်များအတွက် လိုအပ်သော အလွန်တည်ငြိမ်သော အခြေခံများကို ပံ့ပိုးပေးခြင်းဖြင့် အနာဂတ်ကို တည်ဆောက်သည့် စက်များကို တည်ဆောက်ရာတွင် ကျွန်ုပ်တို့ ကူညီပေးနေပါသည်။