့
ဆီမီးကွန်ဒတ်တာစက်မှုလုပ်ငန်းတွင်၊ wafer စစ်ဆေးခြင်းသည် ချစ်ပ်၏အရည်အသွေးနှင့် စွမ်းဆောင်ရည်ကိုသေချာစေရန် အဓိကလင့်ခ်ဖြစ်ပြီး စစ်ဆေးရေးဇယား၏တိကျမှုနှင့် တည်ငြိမ်မှုသည် ထောက်လှမ်းခြင်းရလဒ်များတွင် အဆုံးအဖြတ်ပေးသည့်အခန်းကဏ္ဍမှပါဝင်သည်။ ၎င်း၏ထူးခြားသောဝိသေသလက္ခဏာများဖြင့် Granite အခြေစိုက်စခန်း၊ သင့်အတွက် ဘက်ပေါင်းစုံမှ ခွဲခြမ်းစိတ်ဖြာမှုမှ အောက်ပါတို့သည် semiconductor wafer စစ်ဆေးရေးဇယားအတွက် စံပြရွေးချယ်မှုဖြစ်လာသည်။ ့
ပထမအချက်၊ တိကျမှုအာမခံချက်အတိုင်းအတာ
1. အလွန်မြင့်မားသော ပြားချပ်ချပ်နှင့် ဖြောင့်ဖြောင့်မှု- ကျောက်တုံးအခြေခံကို အဆင့်မြင့် လုပ်ဆောင်ခြင်းနည်းပညာဖြင့် လုပ်ဆောင်ထားပြီး ပြားချပ်ချပ်သည် ±0.001mm/m သို့မဟုတ် ပိုမိုတိကျမှုရှိနိုင်ပြီး ဖြောင့်ဖြောင့်မှုမှာလည်း ကောင်းမွန်ပါသည်။ wafer စစ်ဆေးခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်တွင်၊ တိကျမှုမြင့်မားသောလေယာဉ်သည် wafer အတွက် တည်ငြိမ်သောပံ့ပိုးမှုပေးကာ စစ်ဆေးရေးကိရိယာ၏ probe နှင့် wafer မျက်နှာပြင်ပေါ်ရှိ ဂဟေအဆစ်များကြား တိကျသောဆက်သွယ်မှုကို သေချာစေသည်။ ့
2. အပူချဲ့ထွင်ခြင်း၏ အလွန်နိမ့်ကျသော ကိန်းဂဏန်း- တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း ထုတ်လုပ်ခြင်းသည် အပူချိန်ပြောင်းလဲမှုများအတွက် အာရုံခံစားနိုင်သည်၊ ပုံမှန်အားဖြင့် 5×10⁻⁶/℃ ၏အပူဓာတ်ချဲ့ထွင်မှုကိန်းဂဏန်းသည် အလွန်နိမ့်ပါသည်။ ထောက်လှမ်းခြင်းပလပ်ဖောင်းကို လုပ်ဆောင်နေချိန်တွင်၊ ပတ်ဝန်းကျင် အပူချိန် အတက်အကျရှိလျှင်ပင်၊ ကျောက်စိမ်းတုံး၏ အရွယ်အစားသည် အနည်းငယ်သာ ပြောင်းလဲပါသည်။ ဥပမာအားဖြင့်၊ နွေရာသီတွင် အပူချိန်မြင့်သော အလုပ်ရုံတွင်၊ ဘုံသတ္တုအခြေခံရှာဖွေရေးပလပ်ဖောင်း၏ အပူချိန်သည် wafer နှင့် ထောက်လှမ်းသည့်ကိရိယာများ၏ ဆွေမျိုးအနေအထားကို ပြောင်းသွားစေနိုင်ပြီး ထောက်လှမ်းတိကျမှုကို ထိခိုက်စေပါသည်။ Granite Base ထောက်လှမ်းခြင်းပလပ်ဖောင်းသည် တည်ငြိမ်မှုကို ထိန်းသိမ်းနိုင်ပြီး ထောက်လှမ်းခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်အတွင်း wafer နှင့် ထောက်လှမ်းကိရိယာများ၏ ဆွေမျိုးတည်နေရာတိကျမှုကို သေချာစေကာ တိကျမှုမြင့်မားသောထောက်လှမ်းမှုအတွက် တည်ငြိမ်သောပတ်ဝန်းကျင်ကို ပေးစွမ်းနိုင်သည်။ ့
ဒုတိယ၊ တည်ငြိမ်မှုအတိုင်းအတာ
1. တည်ငြိမ်သောဖွဲ့စည်းပုံနှင့်တုန်ခါမှုကိုခံနိုင်ရည်- Granite သည်နှစ်သန်းပေါင်းများစွာဘူမိဗေဒဖြစ်စဉ်များပြီးနောက်, အတွင်းပိုင်းဖွဲ့စည်းပုံသည်သိပ်သည်းပြီးတူညီသည်။ ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ စက်ရုံ၏ ရှုပ်ထွေးသော ပတ်ဝန်းကျင်တွင်၊ အရံပစ္စည်းများနှင့် သွားလာနေသော ၀န်ထမ်းများ၏ လည်ပတ်မှုမှ ထုတ်ပေးသော တုန်ခါမှုသည် ကျောက်တုံးအခြေမှ ထိထိရောက်ရောက် လျော့ပါးသွားပါသည်။ ့
2. ရေရှည်အသုံးပြုမှု တိကျမှု- အခြားပစ္စည်းများနှင့် နှိုင်းယှဉ်ပါက ကျောက်တုံးသည် မြင့်မားသော မာကျောမှု၊ ခိုင်ခံ့သော ခံနိုင်ရည်ရှိပြီး Mohs မာကျောမှု 6-7 အထိ ရောက်ရှိနိုင်သည်။ မကြာခဏ wafer တင်ခြင်း၊ ဖြုတ်ချခြင်းနှင့် စစ်ဆေးခြင်း လုပ်ငန်းများ ဆောင်ရွက်ရာတွင် ခဲယမ်းအခြေခံ မျက်နှာပြင်သည် အလွယ်တကူ မဝတ်ဆင်နိုင်ပါ။ ဒေတာစာရင်းဇယားများ၏ အမှန်တကယ်အသုံးပြုမှုအရ၊ ကျောက်တုံးအခြေခံစမ်းသပ်ခြင်းစားပွဲကိုအသုံးပြုခြင်း၊ နာရီ 5000 ပြီးနောက် စဉ်ဆက်မပြတ်လည်ပတ်ခြင်း၊ ချောမွေ့ခြင်းနှင့် ဖြောင့်ဖြောင့်မှန်ကန်မှုကို 98% ထက်ပိုသော ကနဦးတိကျမှုကို ထိန်းသိမ်းထားနိုင်ပြီး ပုံမှန်ချိန်ညှိခြင်းနှင့် ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းမှုအချိန်များကြောင့် စက်ပစ္စည်းများကို လျှော့ချခြင်း၊ လုပ်ငန်းလည်ပတ်မှုကုန်ကျစရိတ်ကို လျှော့ချခြင်း၊ စမ်းသပ်ခြင်းလုပ်ငန်း၏ရေရှည်တည်ငြိမ်မှုကိုသေချာစေရန်။ ့
တတိယအချက်၊ သန့်ရှင်းပြီး စွက်ဖက်မှုဆန့်ကျင်ရေး အတိုင်းအတာ
1. ဖုန်မှုန့်ထုတ်လုပ်မှုနည်းခြင်း- တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်သည့်ပတ်ဝန်းကျင်သည် အလွန်သန့်ရှင်းရန်လိုအပ်ပြီး ကျောက်တုံးရုပ်ထုသည် တည်ငြိမ်ပြီး ဖုန်မှုန့်များထုတ်လုပ်ရန် မလွယ်ကူပါ။ စမ်းသပ်ပလပ်ဖောင်း၏လည်ပတ်မှုအတွင်း၊ အောက်ခံမှထုတ်ပေးသောဖုန်မှုန့်များသည် wafer ကိုညစ်ညမ်းစေရန်ရှောင်ရှားပြီး၊ ဖုန်မှုန့်အမှုန်များကြောင့်ဖြစ်ပွားသောပတ်လမ်းတိုနှင့်အဖွင့်ပတ်လမ်းများ၏အန္တရာယ်ကိုလျှော့ချသည်။ ဖုန်မှုန့်ကင်းစင်သော အလုပ်ရုံ၏ wafer စစ်ဆေးရေးဧရိယာတွင်၊ ကျောက်တုံးအခြေခံစစ်ဆေးရေးစားပွဲတစ်ဝိုက်ရှိ ဖုန်မှုန့်များ၏အာရုံစူးစိုက်မှုကို အလွန်နိမ့်သောအဆင့်သို့ အမြဲတမ်းထိန်းချုပ်ထားပြီး ဆီမီးကွန်ဒတ်တာစက်မှုလုပ်ငန်း၏ တင်းကြပ်သောသန့်ရှင်းမှုလိုအပ်ချက်များနှင့် ကိုက်ညီပါသည်။ ့
2. သံလိုက်ဝင်ရောက်စွက်ဖက်မှုမရှိခြင်း- ထောက်လှမ်းသည့်ကိရိယာသည် လျှပ်စစ်သံလိုက်ပတ်ဝန်းကျင်အတွက် အထိခိုက်မခံကြောင်း၊ ကျောက်တုံးသည် သံလိုက်မဟုတ်သောပစ္စည်းဖြစ်ပြီး၊ ထောက်လှမ်းကိရိယာ၏ အီလက်ထရွန်းနစ်အချက်ပြမှုကို အနှောင့်အယှက်ဖြစ်စေမည်မဟုတ်ပါ။ အလွန်မြင့်မားသောလျှပ်စစ်သံလိုက်ပတ်ဝန်းကျင်လိုအပ်သော အီလက်ထရွန်ရောင်ခြည်ထောက်လှမ်းခြင်းနှင့် အခြားသောစမ်းသပ်နည်းပညာများကိုအသုံးပြုရာတွင်၊ Granite Base သည် ထောက်လှမ်းကိရိယာများ၏ အီလက်ထရွန်နစ်အချက်ပြထုတ်လွှင့်မှုကို တည်ငြိမ်စေပြီး စစ်ဆေးမှုရလဒ်များကို တိကျသေချာစေပါသည်။ ဥပမာအားဖြင့်၊ wafer ကို တိကျသောလျှပ်စစ်စွမ်းဆောင်နိုင်မှုအတွက် စမ်းသပ်သောအခါ၊ သံလိုက်မဟုတ်သော ကျောက်တုံးအခြေခံသည် detection current နှင့် voltage signals များကို အနှောင့်အယှက်မဖြစ်စေရန်၊ ထို့ကြောင့် detection data သည် wafer လျှပ်စစ်ဝိသေသလက္ခဏာများကို အမှန်တကယ်ထင်ဟပ်စေပါသည်။
စာတိုက်အချိန်- မတ်လ ၃၁-၂၀၂၅