ခေတ်မီကုန်ထုတ်လုပ်မှုနှင့် ခေတ်မီသိပ္ပံနည်းကျ သုတေသနနယ်ပယ်တွင်၊ တိကျမှုမြင့်မားသော ရွေ့လျားမှုကို ထိန်းချုပ်ရန် လိုအပ်ချက်သည် တိုးလာနေသည်။ အလွန်တိကျသော လှုပ်ရှားမှုထိန်းချုပ်မှု၏ အဓိကကိရိယာအဖြစ် တိကျတည်ငြိမ်သောဖိအားလေမျှော့ပလပ်ဖောင်းသည် ၎င်း၏ကောင်းမွန်သောစွမ်းဆောင်ရည်ဖြင့် အောင်မြင်မှုများရရှိရန် စက်မှုလုပ်ငန်းများစွာအတွက် အဓိကအကူအညီဖြစ်လာသည်။
ပထမအချက်၊ အဓိကနည်းပညာ- လေပေါ်ရေပေါ်ပံ့ပိုးမှု၊ တိကျတည်ငြိမ်သောဖိအားမောင်းနှင်မှု
တိကျသောတည်ငြိမ်သောဖိအားလေပျံပျံပလပ်ဖောင်းသည် အဆင့်မြင့်လေပျံပျံနည်းပညာကိုအသုံးပြုသည်၊၊ ပလပ်ဖောင်းနှင့်အောက်ခြေကြားရှိ တည်ငြိမ်သောဖိအားမြင့်မားသောဓာတ်ငွေ့ဖလင်တစ်ခုဖွဲ့စည်းခြင်းဖြင့်၊ ပလပ်ဖောင်းကို ဆိုင်းငံ့ထားသည်။ ဤဓာတ်ငွေ့ဖလင်အလွှာသည် လှုပ်ရှားနေစဉ်အတွင်း အခြေစိုက်စခန်းနှင့် တိုက်ရိုက်ထိတွေ့မှုမရှိစေရန်၊ ပလပ်ဖောင်းသည် မှော်ဆန်သော "လေကူရှင်" နှင့်တူသောကြောင့်၊ ပွတ်တိုက်မှု၏ကိန်းဂဏန်းကို များစွာလျှော့ချပေးပြီး ရိုးရာစက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ထိတွေ့မှုကြောင့် ဖြစ်ရသည့် တွားသွားမှုဖြစ်စဉ်များကို ဖယ်ရှားလုနီးပါးဖြစ်သည်။ တစ်ချိန်တည်းမှာပင်၊ တိကျသောတည်ငြိမ်သောဒရိုက်ဗ်စနစ်သည် ပလပ်ဖောင်းသည် ကြိုတင်သတ်မှတ်လမ်းကြောင်းအတိုင်း မြင့်မားသောတိကျမှုနှင့် တည်ငြိမ်မှုမြင့်မားသောမျဉ်းကြောင်း သို့မဟုတ် လှည့်ပတ်ရွေ့လျားမှုကိုရရှိနိုင်ကြောင်း သေချာစေပြီး နေရာချထားမှုတိကျမှုသည် နာနိုမီတာအထိရှိနိုင်ပြီး အမျိုးမျိုးသောတိကျသောလုပ်ဆောင်မှုများအတွက် ခိုင်မာသောရွေ့လျားမှုအခြေခံအုတ်မြစ်ကိုထောက်ပံ့ပေးသည်။
ဒုတိယ၊ အလွန်မြင့်မားသောတိကျမှု- micron သို့မဟုတ် nanometer အဆင့်နေရာချထားခြင်း
ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ ချစ်ပ်များ ထုတ်လုပ်ရာတွင်၊ lithography လုပ်ငန်းစဉ်သည် မြင့်မားသော နေရာချထားမှု တိကျမှု လိုအပ်သည်။ ၎င်း၏အလွန်ကောင်းမွန်သောတိကျစွာထိန်းချုပ်နိုင်မှုနှင့်အတူ၊ တိကျသောတည်ငြိမ်သောဖိအားလေပျံပျံပလပ်ဖောင်းသည် နာနိုမီတာအစီအစဥ်တွင် ချစ်ပ် lithography ပစ္စည်းများ၏နေရာချထားမှုအမှားကိုထိန်းချုပ်နိုင်ပြီး ဆားကစ်ပုံစံကို wafer သို့တိကျစွာလွှဲပြောင်းပေးကာ သေးငယ်ပြီး ပိုမိုပေါင်းစပ်ထားသောချစ်ပ်များထုတ်လုပ်နိုင်စေရန်နှင့် ပိုမိုမြင့်မားသောလုပ်ငန်းစဉ်အဆင့်သို့ဆက်လက်ရောက်ရှိစေရန် semiconductor လုပ်ငန်းကို မြှင့်တင်နိုင်သည်။ အလင်းကြည့်မှန်ဘီလူးကြိတ်ခြင်းနယ်ပယ်တွင်၊ ပလပ်ဖောင်းသည် ကြိတ်ခွဲကိရိယာ၏ ရွေ့လျားမှုလမ်းကြောင်းကို တိကျစွာထိန်းချုပ်နိုင်ပြီး မှန်ဘီလူးမျက်နှာပြင်၏လုပ်ဆောင်မှုတိကျမှုသည် မိုက်ခရိုန သို့မဟုတ် မိုက်ခရိုခွဲအဆင့်အထိ ရောက်ရှိနိုင်ပြီး အဆင့်မြင့်ကင်မရာများ၊ တယ်လီစကုပ်များ၊ အဏုကြည့်မှန်ဘီလူးများနှင့် အခြား optical တူရိယာများ၏ တင်းကြပ်သောလိုအပ်ချက်များကို ပြည့်မီစေရန် မြင့်မားသောအဓိပ္ပါယ်နှင့် အနှိုင်းမဲ့အလင်းမှန်ဘီလူးများကို ထုတ်လုပ်ပါသည်။
အကောင်းဆုံးတည်ငြိမ်မှု- သီးခြားဝင်ရောက်စွက်ဖက်မှု၊ စဉ်ဆက်မပြတ်လုပ်ဆောင်မှု
ပြင်ပတုန်ခါမှုနှင့် အပူချိန်ပြောင်းလဲမှုတို့သည် တိကျသောကိရိယာများ၏ တိကျမှုကို ထိခိုက်စေသော အဓိကတရားခံနှစ်ခုဖြစ်သည်။ ပလပ်ဖောင်းသည် စက်ရုံအလုပ်ရုံရှိ စက်ကြီးများ၊ ယာဉ်ကြော တုန်ခါမှုစသည်ဖြင့် စက်ရုံအလုပ်ရုံရှိ စက်ကိရိယာကြီးများ လည်ပတ်ခြင်းကဲ့သို့သော ပတ်ဝန်းကျင်မှ တုန်ခါမှုနှောင့်ယှက်မှုကို ထိရောက်စွာ ဟန့်တားနိုင်သည့် စွမ်းဆောင်ရည်မြင့် လေပေါ်ပေါ်ပလပ်ဖောင်းတွင် တပ်ဆင်ထားသည်။ တစ်ချိန်တည်းမှာပင်၊ ပလပ်ဖောင်းသည် အပူချိန်ပြောင်းလဲမှုများအတွက် အထိခိုက်မခံသော အထူးကောင်းမွန်သော အပူတည်ငြိမ်မှုရှိသော ပစ္စည်းနှင့် ဖွဲ့စည်းတည်ဆောက်ပုံဒီဇိုင်းကို လက်ခံရရှိပြီး အပူချိန်အတက်အကျများ၏ ပတ်ဝန်းကျင်တွင် အတိုင်းအတာတည်ငြိမ်မှုနှင့် တိကျမှုမြင့်မားသောလှုပ်ရှားမှုကို ဆက်လက်ထိန်းသိမ်းထားနိုင်ပြီး တိကျသောစက်နှင့်စမ်းသပ်ခြင်းအတွက် ယုံကြည်စိတ်ချရသောအာမခံချက်ပေးပါသည်။
စတုတ္ထ၊ ကျယ်ပြန့်သောအသုံးချပရိုဂရမ်များ- နယ်ပယ်ပေါင်းစုံ တိကျစွာကစားခြင်း။
အာကာသယာဉ်ထုတ်လုပ်ရေးနယ်ပယ်တွင် တိကျသောအငြိမ်ဖိအားလေပျံဖော့ပလပ်ဖောင်းကို လေယာဉ်အင်ဂျင်ဓါးသွားများကို ကြိတ်ခွဲခြင်း၊ လေယာဉ်ဖွဲ့စည်းပုံဆိုင်ရာ အစိတ်အပိုင်းများ တူးဖော်ခြင်းစသည်ဖြင့် လေယာဉ်အစိတ်အပိုင်းများကို တိကျသေချာစွာ ပြုပြင်ဖန်တီးရာတွင် အသုံးပြုပါသည်။ ဇီဝဆေးပညာ သုတေသနတွင်၊ ပလပ်ဖောင်းသည် မျိုးရိုးဗီဇဆိုင်ရာ အချက်အလက်များကို တိကျမှန်ကန်စွာဖတ်ရှုနိုင်စေရန် နမူနာဆလိုက်များကို တိကျစွာရွှေ့ရန် ကူညီပေးပါသည်။ ဆဲလ်မိုက်ခရိုခြယ်လှယ်မှုတွင်၊ မိုက်ခရိုနိုက်ဒ်များနှင့် မိုက်ခရိုပိုက်ပက်များကဲ့သို့သော ကိရိယာများကို ဆဲလ်တစ်ခုချင်းစီတွင် ကောင်းမွန်သောလုပ်ဆောင်မှုများကို လုပ်ဆောင်ရန်နှင့် ဇီဝဆေးပညာဆိုင်ရာသုတေသနကို နက်ရှိုင်းအောင်မြှင့်တင်ရန် တိကျစွာထိန်းချုပ်ထားသည်။ ထို့အပြင်၊ အီလက်ထရွန်းနစ်ပစ္စည်းများထုတ်လုပ်ခြင်း၊ အဆင့်မြင့်စက်ပစ္စည်းများထုတ်လုပ်ခြင်းနှင့် အခြားစက်မှုလုပ်ငန်းများတွင်၊ တိကျသောတည်ငြိမ်သောဖိအားလေမျှောတ်ပလပ်ဖောင်းသည် အစားထိုးမရနိုင်သောအရေးကြီးသောအခန်းကဏ္ဍမှပါဝင်ပါသည်။
ပဉ္စမ၊ စိတ်ကြိုက်ဝန်ဆောင်မှုများ- တစ်ဦးချင်းလိုအပ်ချက်များကိုဖြည့်ဆည်းရန်
မတူညီသောစက်မှုလုပ်ငန်းနှင့် မတူညီသောဖောက်သည်များသည် တိကျတည်ငြိမ်သောဖိအားလေပျံပျံပလပ်ဖောင်းများအတွက် မတူညီသောလိုအပ်ချက်များရှိသည်ကို သိရှိသဖြင့် ကျွန်ုပ်တို့သည် စိတ်ကြိုက်ဝန်ဆောင်မှုများစွာကို ပေးဆောင်ပါသည်။ ပလပ်ဖောင်း၏အရွယ်အစားနှင့် ဝန်ပမာဏမှရွေ့လျားမှုလေဖြတ်ခြင်းနှင့် တိကျမှုအဆင့်အထိ၊ သုံးစွဲသူများ၏ အမှန်တကယ်လျှောက်လွှာအခြေအနေများနှင့် လုပ်ငန်းစဉ်လိုအပ်ချက်များနှင့်အညီ စိတ်ကြိုက်ဒီဇိုင်းနှင့် ထုတ်လုပ်မှုကို ဆောင်ရွက်နိုင်သည်။ ပရော်ဖက်ရှင်နယ် R&D အဖွဲ့သည် တိကျသောတည်ငြိမ်သောဖိအားလေပျံလွှင့်ပလပ်ဖောင်းတစ်ခုစီသည် ဖောက်သည်များ၏လိုအပ်ချက်များကို အပြည့်အဝဖြည့်ဆည်းပေးနိုင်ပြီး ဖောက်သည်များအတွက် အမြင့်ဆုံးတန်ဖိုးကို ဖန်တီးနိုင်စေရန် သေချာစေရန် ပရော်ဖက်ရှင်နယ် R&D အဖွဲ့သည် သုံးစွဲသူများနှင့် နီးကပ်စွာလုပ်ဆောင်မည်ဖြစ်ပါသည်။
တိကျသော static pressure air float platform ကို ရွေးချယ်ခြင်းသည် အလွန်တိကျသော လှုပ်ရှားမှုထိန်းချုပ်မှု၏ အကောင်းဆုံးအဖြေကို ရွေးချယ်ခြင်း၊ တိကျမှုမြင့်မားသောထုတ်လုပ်မှုနှင့် သိပ္ပံနည်းကျ သုတေသနပြုခြင်း၏ အခန်းသစ်ကိုဖွင့်ရန်၊ ပြိုင်ဆိုင်မှုဆိုင်ရာစျေးကွက်တွင် သင့်အား ပေါ်လွင်လာစေရန်နှင့် နည်းပညာနှင့်စက်မှုလုပ်ငန်း၏ နှစ်ဆခုန်မှုကို သိရှိနားလည်ရန်ဖြစ်သည်။
ပို့စ်အချိန်- ဧပြီလ ၁၀-၂၀၂၅