့
ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ ထုတ်လုပ်မှုနယ်ပယ်တွင် တိကျမှုသည် ထုတ်ကုန်အရည်အသွေးနှင့် စွမ်းဆောင်ရည်၏ အသက်သွေးကြောဖြစ်သည်။ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း တိုင်းတာခြင်းကိရိယာသည် ထုတ်လုပ်မှုတိကျသေချာစေရန် အဓိကချိတ်ဆက်မှုတစ်ခုအနေဖြင့် ၎င်း၏ ပင်မအစိတ်အပိုင်းများ၏ တည်ငြိမ်မှုအပေါ် တင်းကျပ်သောလိုအပ်ချက်များနီးပါးကို ပြဌာန်းထားသည်။ ၎င်းတို့အနက်၊ ကျောက်တုံးပလပ်ဖောင်းသည် ၎င်း၏ထူးခြားသောအပူတည်ငြိမ်မှုနှင့်အတူ၊ ဆီမီးကွန်ဒတ်တာတိုင်းတာခြင်းကိရိယာများတွင် မရှိမဖြစ်အခန်းကဏ္ဍမှပါဝင်ပါသည်။ ဤဆောင်းပါးသည် အစစ်အမှန်စမ်းသပ်ဒေတာမှတဆင့် semiconductor metering စက်ပစ္စည်းရှိ granite ပလပ်ဖောင်းများ၏ အပူတည်ငြိမ်မှုစွမ်းဆောင်ရည်ကို နက်နဲစွာ ခွဲခြမ်းစိတ်ဖြာပါမည်။ ့
ဆီမီးကွန်ဒတ်တာထုတ်လုပ်ခြင်းတွင် တိုင်းတာသည့်ကိရိယာများ၏ အပူတည်ငြိမ်မှုအတွက် တင်းကျပ်သောလိုအပ်ချက်များ
ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ ထုတ်လုပ်မှု လုပ်ငန်းစဉ်သည် အလွန်ရှုပ်ထွေးပြီး တိကျပြီး ချစ်ပ်ပေါ်ရှိ ဆားကစ်လိုင်းများ၏ အကျယ်သည် နာနိုမီတာအဆင့်သို့ ရောက်ရှိသွားပါသည်။ ထိုသို့သော တိကျသော မြင့်မားသော ထုတ်လုပ်မှု လုပ်ငန်းစဉ်တွင်၊ အနည်းငယ်သော အပူချိန်ပြောင်းလဲမှုသည် စက်ပစ္စည်းအစိတ်အပိုင်းများ၏ အပူကို ချဲ့ထွင်ခြင်းနှင့် ကျုံ့ခြင်းတို့ကို ဖြစ်စေနိုင်ပြီး တိုင်းတာခြင်းဆိုင်ရာ အမှားအယွင်းများကို ဖြစ်ပေါ်စေပါသည်။ ဥပမာအားဖြင့်၊ photolithography လုပ်ငန်းစဉ်တွင်၊ တိုင်းတာခြင်းကိရိယာ၏ တိုင်းတာမှုတိကျမှုသည် 1 nanometer ဖြင့် သွေဖည်သွားပါက၊ ၎င်းသည် ချစ်ပ်ပေါ်ရှိ ဆားကစ်များရှိ ဆားကစ်များပြတ်တောက်ခြင်း သို့မဟုတ် အဖွင့်ဆားကစ်များကဲ့သို့သော ဆိုးရွားသောပြဿနာများကို ဖြစ်စေနိုင်ပြီး ချစ်ပ်ကို ဖြတ်တောက်ပစ်နိုင်သည်။ စက်မှုလုပ်ငန်းဒေတာစာရင်းဇယားများအရ၊ အပူချိန် 1 ℃ အတက်အကျတိုင်းအတွက်၊ ရိုးရာသတ္တုပစ္စည်းတိုင်းကိရိယာပလပ်ဖောင်းသည် နာနိုမီတာများစွာ၏ အတိုင်းအတာပြောင်းလဲမှုများကို ကြုံတွေ့ရနိုင်သည်။ သို့သော်၊ ဆီမီးကွန်ဒတ်တာထုတ်လုပ်မှုသည် ± 0.1 nanometers အတွင်း ထိန်းချုပ်ရန် တိကျမှုရှိရန် လိုအပ်ပြီး ယင်းသည် မီတာချိန်စက်သည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာထုတ်လုပ်မှု၏လိုအပ်ချက်များကို ဖြည့်ဆည်းပေးနိုင်ခြင်းရှိမရှိ ဆုံးဖြတ်ရာတွင် အပူတည်ငြိမ်မှုဖြစ်စေသည့် အဓိကအချက်ဖြစ်သည်။ ့
granite ပလပ်ဖောင်းများ၏ အပူပိုင်းတည်ငြိမ်မှု၏ သီအိုရီဆိုင်ရာ အားသာချက်များ
သဘာဝကျောက်တစ်မျိုးအနေဖြင့် Granite သည် ကျစ်လစ်သိပ်သည်းသော အတွင်းတွင်းထွက်ပုံဆောင်ခဲများ၊ သိပ်သည်းပြီး တစ်ပုံစံတည်းဖွဲ့စည်းပုံရှိပြီး အပူတည်ငြိမ်မှု၏ သဘာဝအားသာချက်ကို ပိုင်ဆိုင်ထားသည်။ အပူချဲ့ထွင်ခြင်း၏ကိန်းဂဏန်းအရ၊ ယေဘုယျအားဖြင့် 4.5 မှ 6.5 × 10⁻⁶/K တွင်ရှိသော granite ၏အပူချဲ့ခြင်း၏ကိန်းဂဏန်းသည် အလွန်နည်းပါးပါသည်။ ဆန့်ကျင်ဘက်အားဖြင့်၊ အလူမီနီယမ်သတ္တုစပ်ကဲ့သို့သော သာမာန်သတ္တုစပ်ပစ္စည်းများ၏အပူချဲ့ခြင်း၏ကိန်းဂဏန်းသည် 23.8 × 10⁻⁶/K ထက် များစွာမြင့်မားသည်၊၊ ၎င်းသည် ကျောက်တုံးများထက်အဆများစွာမြင့်မားသည်။ ဆိုလိုသည်မှာ တူညီသော အပူချိန်ကွဲလွဲမှုအခြေအနေများအောက်တွင်၊ သတ္တုပလပ်ဖောင်း၏ အတိုင်းအတာပြောင်းလဲမှုသည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာတိုင်းတာခြင်းဆိုင်ရာကိရိယာများအတွက် ပိုမိုတည်ငြိမ်သော တိုင်းတာခြင်းရည်ညွှန်းချက်ကို ပေးနိုင်သည့် သတ္တုပလပ်ဖောင်းထက် များစွာသေးငယ်ပါသည်။ ့
ထို့အပြင်၊ ကျောက်တုံးကျောက်တုံးများ၏ ပုံသဏ္ဍာန်ဖွဲ့စည်းပုံသည် ၎င်းအား အပူကူးယူခြင်း၏ အကောင်းဆုံးတူညီမှုဖြင့် ထောက်ပံ့ပေးသည်။ စက်ပစ္စည်းလည်ပတ်မှုမှ အပူထုတ်ပေးခြင်း သို့မဟုတ် ပတ်ဝန်းကျင်အပူချိန် ပြောင်းလဲသောအခါ ကျောက်တုံးပလပ်ဖောင်းသည် အပူကို လျင်မြန်စွာနှင့် အညီအမျှ ဖယ်ထုတ်နိုင်ပြီး၊ ဒေသတွင်း အပူလွန်ကဲခြင်း သို့မဟုတ် အအေးလွန်ကဲခြင်းဖြစ်စဉ်များကို ရှောင်ရှားနိုင်ကာ ပလပ်ဖောင်း၏ အလုံးစုံသောအပူချိန်ကို ထိရောက်စွာ ထိန်းသိမ်းနိုင်ပြီး တိုင်းတာမှုတိကျမှုကို ပိုမိုသေချာစေပါသည်။ ့
အပူတည်ငြိမ်မှုတိုင်းတာခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်နှင့်နည်းလမ်း
semiconductor metering equipment တွင် granite ပလပ်ဖောင်း၏ အပူတည်ငြိမ်မှုကို တိကျစွာ အကဲဖြတ်ရန်အတွက်၊ ကျွန်ုပ်တို့သည် တင်းကျပ်သော တိုင်းတာမှု အစီအစဉ်ကို ရေးဆွဲထားပါသည်။ အထူးတိကျသော စီမံဆောင်ရွက်ထားသော ဂရန်းနိုက်ပလပ်ဖောင်းဖြင့် တပ်ဆင်ထားသည့် တိကျသော တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း wafer တိုင်းကိရိယာကို ရွေးချယ်ပါ။ စမ်းသပ်ပတ်ဝန်းကျင်တွင်၊ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်သည့်အလုပ်ရုံရှိ ဘုံအပူချိန်ကွဲပြားမှုအတိုင်းအတာကို 20 ℃မှ 35 ℃မှတဖြည်းဖြည်းအပူပေးပြီး 20 ℃သို့ပြန်အေးစေပါသည်။ လုပ်ငန်းစဉ်တစ်ခုလုံးသည် ၈ နာရီကြာသည်။ ့
တိုင်းတာရေးကိရိယာ၏ ကျောက်တုံးပလပ်ဖောင်းပေါ်တွင်၊ တိကျသောစံနှုန်းမြင့် ဆီလီကွန်ဝေဖာများကို ထားရှိထားပြီး၊ ဆီလီကွန် wafers များနှင့် ပလပ်ဖောင်းကြားရှိ ဆက်စပ်အနေအထားပြောင်းလဲမှုများကို အချိန်နှင့်တပြေးညီ စောင့်ကြည့်ရန် နာနိုစကေးတိကျမှုရှိသော ရွှေ့ပြောင်းအာရုံခံကိရိယာများကို အသုံးပြုထားသည်။ ဤအတောအတွင်း၊ ပလပ်ဖောင်းမျက်နှာပြင်ပေါ်ရှိ အပူချိန်ဖြန့်ဖြူးမှုကို စောင့်ကြည့်ရန် ပလပ်ဖောင်းပေါ်ရှိ မတူညီသော ရာထူးများတွင် တိကျမှုမြင့်မားသော အပူချိန်အာရုံခံကိရိယာများစွာကို စီစဉ်ပေးထားသည်။ စမ်းသပ်မှုအတွင်း ဒေတာ၏ ပြည့်စုံမှုနှင့် တိကျမှုကို သေချာစေရန် 15 မိနစ်တိုင်း ရွှေ့ပြောင်းမှုဒေတာနှင့် အပူချိန်ဒေတာကို မှတ်တမ်းတင်ခဲ့သည်။ ့
တိုင်းတာဒေတာနှင့်ရလဒ်ခွဲခြမ်းစိတ်ဖြာ
အပူချိန်ပြောင်းလဲမှုနှင့် ပလက်ဖောင်းအရွယ်အစားပြောင်းလဲမှုကြား ဆက်နွယ်မှု
အပူချိန် 20 ℃ မှ 35 ℃ မြင့်တက်လာသောအခါတွင်၊ ယမ်းစိမ်းပလပ်ဖောင်း၏ မျဉ်းဖြောင့်အရွယ်အစား ပြောင်းလဲမှုသည် အလွန်သေးငယ်ကြောင်း စမ်းသပ်အချက်အလက်များက ဖော်ပြသည်။ တွက်ချက်ပြီးနောက်၊ အပူပေးသည့်လုပ်ငန်းစဉ်တစ်ခုလုံးတွင်၊ ပလပ်ဖောင်း၏အမြင့်ဆုံးတစ်ပြေးညီချဲ့ထွင်မှုသည် 0.3 nanometers သာရှိပြီး၊ ၎င်းသည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်များတွင် တိုင်းတာမှုတိကျမှုအတွက် error tolerance range ထက်များစွာနိမ့်သည်။ အအေးခံသည့်အဆင့်တွင်၊ ပလပ်ဖောင်းအရွယ်အစားသည် မူလအခြေအနေသို့ လုံးဝနီးပါးပြန်သွားနိုင်ပြီး အရွယ်အစားပြောင်းလဲမှု၏ နောက်ကျခြင်းဖြစ်စဉ်ကို လျစ်လျူရှုနိုင်သည်။ သိသာထင်ရှားသော အပူချိန်အတက်အကျများအောက်တွင်ပင် အလွန်နိမ့်သော အတိုင်းအတာပြောင်းလဲမှုများကို ထိန်းသိမ်းခြင်း၏ ဤလက္ခဏာရပ်သည် granite ပလပ်ဖောင်း၏ ထူးခြားသောအပူတည်ငြိမ်မှုကို အပြည့်အဝအတည်ပြုသည်။ ့
ပလပ်ဖောင်းမျက်နှာပြင်ပေါ်ရှိ အပူချိန်တူညီမှုကို လေ့လာခြင်း။
အပူချိန်အာရုံခံကိရိယာမှ စုဆောင်းရရှိသော ဒေတာသည် စက်ကိရိယာများ၏ လည်ပတ်မှုနှင့် အပူချိန်ပြောင်းလဲမှု လုပ်ငန်းစဉ်အတွင်း၊ ဂရန်စတုံးပလပ်ဖောင်း၏ မျက်နှာပြင်ပေါ်ရှိ အပူချိန်ဖြန့်ဖြူးမှုသည် အလွန်တူညီကြောင်း ပြသသည်။ အပူချိန် အပြင်းအထန်ပြောင်းလဲနေသည့် စင်မြင့်အတွင်း၌ပင် ပလပ်ဖောင်းမျက်နှာပြင်ပေါ်ရှိ တိုင်းတာမှုအမှတ်တစ်ခုစီ၏ အပူချိန်ကွာခြားချက်ကို ±0.1 ℃အတွင်း အမြဲထိန်းချုပ်ထားသည်။ တူညီသောအပူချိန်ဖြန့်ဝေမှုသည် မညီညာသောအပူဖိအားကြောင့်ဖြစ်ရသည့် ပလပ်ဖောင်းပုံပျက်ခြင်းကို ထိရောက်စွာကာကွယ်ပေးသည်၊ တိုင်းတာခြင်းရည်ညွှန်းမျက်နှာပြင်၏ ချောမွေ့မှုနှင့် တည်ငြိမ်မှုကိုသေချာစေပြီး ဆီမီးကွန်ဒတ်တာမက်ထရိုဗေဒပစ္စည်းကိရိယာများအတွက် ယုံကြည်စိတ်ချရသော တိုင်းတာမှုပတ်ဝန်းကျင်ကို ပံ့ပိုးပေးပါသည်။ ့
ရိုးရာပစ္စည်းပလက်ဖောင်းများနှင့်နှိုင်းယှဉ်
Granite Platform ၏ တိုင်းတာမှုဒေတာကို အလူမီနီယမ်အလွိုင်းပလပ်ဖောင်းကို အသုံးပြုထားသော အမျိုးအစားတူ semiconductor metering equipment များနှင့် နှိုင်းယှဉ်ပြီး ကွာခြားချက်များမှာ သိသာထင်ရှားပါသည်။ တူညီသောအပူချိန်ပြောင်းလဲမှုအခြေအနေများအောက်တွင်၊ အလူမီနီယံအလွိုင်းပလပ်ဖောင်း၏ မျဉ်းဖြောင့်ချဲ့ထွင်မှုသည် 2.5 nanometers အထိမြင့်မားသည်၊၊ ၎င်းသည် granite ပလပ်ဖောင်းထက် ရှစ်ဆပိုများသည်။ တစ်ချိန်တည်းတွင်၊ အလူမီနီယံအလွိုင်းပလပ်ဖောင်း၏မျက်နှာပြင်ပေါ်ရှိ အပူချိန်ဖြန့်ဝေမှုသည် မညီမညာဖြစ်ပြီး အမြင့်ဆုံးအပူချိန်ကွာခြားချက် 0.8 ဒီဂရီစင်တီဂရိတ်သို့ရောက်ရှိသောကြောင့် ပလပ်ဖောင်း၏ပုံသဏ္ဍာန်ကို သိသာထင်ရှားစွာပြောင်းလဲစေပြီး တိုင်းတာမှုတိကျမှုကို ပြင်းထန်စွာထိခိုက်စေပါသည်။ ့
ဆီမီးကွန်ဒတ်တာမက်ထရိုဗေဒပစ္စည်းကိရိယာများ၏တိကျသောကမ္ဘာတွင်၊ ၎င်းတို့၏ထူးခြားသောအပူတည်ငြိမ်မှုနှင့်အတူ ကျောက်တုံးပလပ်ဖောင်းများသည် တိုင်းတာမှုတိကျမှုကိုသေချာစေရန်အတွက် အဓိကကျသောအချက်ဖြစ်လာသည်။ တိုင်းတာသည့်ဒေတာသည် အပူချိန်ပြောင်းလဲမှုများကို တုံ့ပြန်ရာတွင် ဂရန်နီပလပ်ဖောင်း၏ ပြောင်မြောက်သောစွမ်းဆောင်ရည်ကို သက်သေထူပြီး ဆီမီးကွန်ဒတ်တာကုန်ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းအတွက် ယုံကြည်စိတ်ချရသောနည်းပညာပိုင်းဆိုင်ရာပံ့ပိုးမှုပေးပါသည်။ ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ ထုတ်လုပ်မှု လုပ်ငန်းစဉ်များသည် ပိုမိုတိကျမှုဆီသို့ ရွေ့လျားလာသည်နှင့်အမျှ ကျောက်တုံးပလပ်ဖောင်းများ၏ အပူပိုင်းတည်ငြိမ်မှု အားသာချက်သည် ပိုမိုထင်ရှားလာပြီး စက်မှုလုပ်ငန်းတွင် နည်းပညာဆန်းသစ်တီထွင်မှုနှင့် ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်မှုကို စဉ်ဆက်မပြတ် မောင်းနှင်လာမည်ဖြစ်သည်။
စာတိုက်အချိန်- မေ ၁၃-၂၀၂၅