လိုင်းနာမော်တာ + ဂရနိုက်အောက်ခံ- ဝေဖာလွှဲပြောင်းစနစ်၏ မျိုးဆက်သစ်၏ အဓိကလျှို့ဝှက်ချက်။

တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်မှု၏ တိကျသောကွင်းဆက်တွင်၊ wafer transfer စနစ်သည် "ချစ်ပ်ထုတ်လုပ်မှုလိုင်း၏ အသက်ကယ်ကြိုး" နှင့်တူပြီး ၎င်း၏တည်ငြိမ်မှုနှင့် တိကျမှုသည် ချစ်ပ်များ၏ ထွက်နှုန်းကို တိုက်ရိုက်ဆုံးဖြတ်ပေးသည်။ wafer transfer စနစ်များ၏ မျိုးဆက်သစ်သည် linear မော်တာများနှင့် granite bases များကို တော်လှန်ပြောင်းလဲပြီး granite ပစ္စည်းများ၏ ထူးခြားသော အားသာချက်များသည် မြင့်မားသောစွမ်းဆောင်ရည် ဂီယာကို လော့ခ်ဖွင့်ရန် အဓိကကုဒ်ဖြစ်သည်။

​
ဂရနိုက်အခြေခံ- တည်ငြိမ်သောထုတ်လွှင့်မှုအတွက် "ကျောက်ကဲ့သို့ခိုင်မာသောအခြေခံ" တည်ဆောက်ခြင်း
ဂရန်နိုက်သည် ဘူမိဗေဒဆိုင်ရာ သန့်စင်မှု နှစ်ပေါင်း သန်းရာနှင့်ချီ၍ ဖြတ်သန်းခဲ့ပြီး အတွင်းပိုင်း သတ္တုပုံဆောင်ခဲများ သိပ်သည်းပြီး တစ်ပြေးညီဖြစ်သည်။ ဤသဘာဝဝိသေသလက္ခဏာသည် wafer transfer စနစ်များအတွက် အကောင်းဆုံးအခြေခံပစ္စည်းဖြစ်စေသည်။ semiconductor cleanrooms များ၏ ရှုပ်ထွေးသောပတ်ဝန်းကျင်တွင်၊ ၎င်း၏ အလွန်နိမ့်သော အပူချိန်ချဲ့ထွင်မှုကိန်း (5-7 ×10⁻⁶/℃ သာ) ရှိသော ဂရန်နိုက်သည် စက်ပစ္စည်းလည်ပတ်မှုအတွင်း ဖြစ်ပေါ်လာသော အပူနှင့် ပတ်ဝန်းကျင်အပူချိန်ပြောင်းလဲမှု၏ သြဇာလွှမ်းမိုးမှုကို ခံနိုင်ရည်ရှိပြီး၊ အခြေခံအရွယ်အစား၏ တည်ငြိမ်မှုကို သေချာစေပြီး အပူပုံပျက်ခြင်းကြောင့် ဖြစ်ပေါ်လာသော ထုတ်လွှင့်မှုလမ်းကြောင်း သွေဖည်မှုကို ရှောင်ရှားနိုင်သည်။ ၎င်း၏ ထူးချွန်သော တုန်ခါမှု damping စွမ်းဆောင်ရည်သည် linear မော်တာများ၏ စတင်ခြင်း၊ ပိတ်ခြင်းနှင့် အရှိန်မြှင့်ခြင်းအတွင်း ဖြစ်ပေါ်လာသော စက်ပိုင်းဆိုင်ရာတုန်ခါမှုများအပြင် အလုပ်ရုံတွင် အခြားစက်ပစ္စည်းများ၏ လည်ပတ်မှုကြောင့် ဖြစ်ပေါ်လာသော ပြင်ပအနှောင့်အယှက်များကို လျင်မြန်စွာ စုပ်ယူနိုင်ပြီး wafer transmission အတွက် "zero shake" ပါရှိသော တည်ငြိမ်သော platform တစ်ခုကို ပေးစွမ်းသည်။
တစ်ချိန်တည်းမှာပင်၊ ဂရနိုက်၏ ဓာတုဗေဒတည်ငြိမ်မှုသည် အက်ဆစ်နှင့် အယ်ကာလီ ဓါတ်ပစ္စည်းများ ပျံ့လွင့်လွယ်ပြီး သန့်ရှင်းမှုမြင့်မားရန် လိုအပ်သည့် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း အလုပ်ရုံများတွင် သံချေးတက်ခြင်း သို့မဟုတ် သံချေးတက်ခြင်းမရှိစေရန် သေချာစေပြီး ပစ္စည်းအိုမင်းခြင်း သို့မဟုတ် ညစ်ညမ်းစေသော စုပ်ယူမှုကြောင့် ထုတ်လွှင့်မှုတိကျမှုအပေါ် သက်ရောက်မှုကို ရှောင်ရှားပေးသည်။ ချောမွေ့ပြီး သိပ်သည်းသော မျက်နှာပြင်ဝိသေသလက္ခဏာများသည် ဖုန်မှုန့်ကပ်ငြိမှုကို ပိုမိုထိရောက်စွာ လျှော့ချပေးနိုင်ပြီး သန့်ရှင်းသောအခန်းများ၏ တင်းကျပ်သော ဖုန်မှုန့်ကင်းစင်မှုစံနှုန်းများနှင့် ကိုက်ညီစေပြီး အမြစ်မှ ဝေဖာညစ်ညမ်းမှုအန္တရာယ်ကို ဖယ်ရှားပေးပါသည်။
linear motor များနှင့် granite တို့၏ "ရွှေရောင်မိတ်ဖက်" အကျိုးသက်ရောက်မှု
စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ဂီယာပြောင်းခြင်း ကင်းစင်မှုမရှိခြင်း၊ မြင့်မားသော အရှိန်နှင့် မြင့်မားသော တုံ့ပြန်မှု အမြန်နှုန်းတို့ဖြင့် Linear မော်တာများသည် wafer ဂီယာပြောင်းခြင်းကို "မြန်ဆန်၊ တိကျပြီး တည်ငြိမ်" ဟူသော အားသာချက်များကို ပေးစွမ်းသည်။ ဂရန်းနစ်အခြေခံသည် ၎င်းအတွက် ခိုင်မာပြီး ယုံကြည်စိတ်ချရသော အထောက်အပံ့ပလက်ဖောင်းကို ပေးစွမ်းသည်။ စွမ်းဆောင်ရည်တွင် ခုန်ပျံကျော်လွှားမှုတစ်ခု ရရှိရန် နှစ်ခုစလုံး အတူတကွ လုပ်ဆောင်ကြသည်။ linear မော်တာသည် ဂရန်းနစ်အခြေခံလမ်းကြောင်းပေါ်တွင် လည်ပတ်ရန် wafer carrier ကို မောင်းနှင်သောအခါ၊ အခြေခံ၏ ခိုင်မာသော မာကျောမှုနှင့် တည်ငြိမ်မှုသည် မော်တာမောင်းနှင်အား၏ ထိရောက်သော ဂီယာပြောင်းခြင်းကို သေချာစေပြီး အခြေခံပုံပျက်ခြင်းကြောင့် ဖြစ်ပေါ်လာသော အားဆုံးရှုံးမှု သို့မဟုတ် ဂီယာနှောင့်နှေးမှုကို ရှောင်ရှားသည်။
နာနိုစကေးတိကျမှုအတွက် လိုအပ်ချက်ကြောင့် linear မော်တာများသည် sub-micron-level displacement control ကို ရရှိနိုင်ပါသည်။ granite base များ၏ မြင့်မားသောတိကျမှုရှိသော processing ဝိသေသလက္ခဏာများ (±1μm အတွင်း ထိန်းချုပ်ထားသော flatness error များပါရှိသည်) သည် linear မော်တာများ၏ တိကျသောထိန်းချုပ်မှုနှင့် လုံးဝကိုက်ညီပြီး wafer transmission အတွင်း positioning error သည် ±5μm ထက်နည်းကြောင်း ပူးတွဲသေချာစေသည်။ လုပ်ငန်းစဉ်ပစ္စည်းကိရိယာများအကြား မြန်နှုန်းမြင့် shuttle ပို့ဆောင်ခြင်းဖြစ်စေ၊ wafer handover အတွက် တိကျသော parking ဖြစ်စေ linear မော်တာများနှင့် granite base များပေါင်းစပ်ခြင်းသည် wafer transmission တွင် "သုည deviation နှင့် သုည jitter" ကို သေချာစေနိုင်သည်။
စက်မှုလုပ်ငန်းအလေ့အကျင့်အတည်ပြုခြင်း- ထိရောက်မှုနှင့် အထွက်နှုန်းတွင် နှစ်ဆတိုးတက်မှု
၎င်း၏ wafer transfer စနစ်ကို အဆင့်မြှင့်တင်ပြီးနောက်၊ ကမ္ဘာ့ထိပ်တန်း semiconductor လုပ်ငန်းတစ်ခုသည် linear motor + granite base solution ကို အသုံးပြုခဲ့ပြီး wafer transfer စွမ်းဆောင်ရည်ကို ၄၀% တိုးမြှင့်ပေးခဲ့ပြီး transfer လုပ်ငန်းစဉ်အတွင်း collision နှင့် offset ကဲ့သို့သော fault များဖြစ်ပွားနှုန်းကို ၈၅% လျှော့ချပေးခဲ့ပြီး chip များ၏ overall yield rate ကို ၆% တိုးတက်စေခဲ့သည်။ အချက်အလက်များ၏နောက်ကွယ်တွင် granite base မှ ပံ့ပိုးပေးသော transmission တည်ငြိမ်မှုနှင့် မြန်နှုန်းမြင့်ပြီး တိကျသော linear motor ၏ synergy effect ရှိပြီး wafer transmission လုပ်ငန်းစဉ်တွင် loss နှင့် error များကို သိသိသာသာ လျှော့ချပေးပါသည်။
ပစ္စည်းဂုဏ်သတ္တိများမှသည် တိကျသောထုတ်လုပ်မှု၊ စွမ်းဆောင်ရည်အားသာချက်များမှသည် လက်တွေ့အတည်ပြုခြင်းအထိ၊ linear motors နှင့် granite bases ပေါင်းစပ်မှုသည် wafer transfer systems ၏စံနှုန်းများကို ပြန်လည်သတ်မှတ်ပေးခဲ့သည်။ အနာဂတ်တွင် semiconductor နည်းပညာသည် 3nm နှင့် 2nm လုပ်ငန်းစဉ်များဆီသို့ တိုးတက်လာသောအခါ၊ granite ပစ္စည်းများသည် ၎င်းတို့၏ အစားထိုး၍မရသော အားသာချက်များဖြင့် စက်မှုလုပ်ငန်း၏ ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်မှုထဲသို့ ခိုင်မာသောတွန်းအားများ ဆက်လက်ထည့်သွင်းပေးမည်မှာ သေချာပါသည်။