Granite တိကျသောအစိတ်အပိုင်းများကိုစမ်းသပ်ခြင်းစံချိန်စံညွှန်းများ
အတိုင်းအတာ တိကျမှု စံနှုန်း
သက်ဆိုင်ရာစက်မှုလုပ်ငန်းစံနှုန်းများအရ၊ ကျောက်စိမ်းတုံး၏ တိကျသောအစိတ်အပိုင်းများ၏ အဓိကအတိုင်းအတာသည်းခံနိုင်မှုကို အလွန်သေးငယ်သောအကွာအဝေးအတွင်း ထိန်းချုပ်ထားရန်လိုအပ်သည်။ သာမာန်ကျောက်တုံးကြီးတိုင်းတာရေးပလပ်ဖောင်းကို နမူနာအဖြစ်ယူပြီး၊ ၎င်း၏အလျားနှင့်အနံခံနိုင်ရည်သည် ±0.05mm နှင့် ±0.2mm အကြားရှိပြီး တိကျသောတန်ဖိုးသည် အစိတ်အပိုင်း၏အရွယ်အစားနှင့် အပလီကေးရှင်းအခြေအနေ၏တိကျမှုလိုအပ်ချက်များအပေါ် မူတည်ပါသည်။ ဥပမာအားဖြင့်၊ တိကျမှုမြင့်မားသော optical မှန်ဘီလူးကြိတ်ခြင်းအတွက် ပလပ်ဖောင်းတွင်၊ အတိုင်းအတာခံနိုင်ရည်အား ±0.05mm တွင် ထိန်းချုပ်ထားနိုင်ပြီး ယေဘူယျစက်ပစ္စည်းစစ်ဆေးရေးပလပ်ဖောင်း၏ အတိုင်းအတာသည်းခံမှုကို ±0.2mm အထိ ဖြေလျှော့နိုင်ပါသည်။ အလင်းဝင်ပေါက်နှင့် အပေါက်အကျယ်ကဲ့သို့သော အတွင်းပိုင်းအတိုင်းအတာများအတွက်၊ တိကျသောအာရုံခံကိရိယာတပ်ဆင်ရန်အသုံးပြုသည့် Granite Base ပေါ်ရှိ တပ်ဆင်ခြင်းအပေါက်ကဲ့သို့ သည်းခံနိုင်မှု တိကျမှုမှာလည်း တင်းကျပ်ပါသည်။ ့
ချောမွေ့မှုစံ
Flatness သည် granite တိကျမှု အစိတ်အပိုင်းများ၏ အရေးကြီးသော အညွှန်းကိန်းတစ်ခုဖြစ်သည်။ အမျိုးသားစံ/ဂျာမနီစံအရ၊ မတူညီသော တိကျသောကျောက်တုံးပလပ်ဖောင်းများ၏ ချောမွေ့မှုဒဏ်ခံနိုင်မှုကို ရှင်းရှင်းလင်းလင်း ဖော်ပြထားပါသည်။ အတန်း 000 အတွက် ပလပ်ဖောင်း၏ ချောမွေ့မှုကို 1×(1 + d/1000)μm (d သည် ထောင့်ဖြတ်အလျား၊ ယူနစ်မီလီမီတာ)၊ အတန်း 00 အတွက် 2×(1 + d/1000)μm၊ 4×(1 + d/1000)μm အတန်း 0 အတွက်၊ အတန်း 0 အတွက် 8×10μ(10μ) ဥပမာ။ 00 1000mm ထောင့်ဖြတ်ရှိသော ကျောက်စိမ်းရောင် ပလပ်ဖောင်းသည် 2×(1 + 1000/1000)μm = 4μm ဖြစ်သည်။ အီလက်ထရွန်းနစ်ချစ်ပ်များထုတ်လုပ်သည့်လုပ်ငန်းစဉ်တွင် lithography ပလပ်ဖောင်းကဲ့သို့သောလက်တွေ့အသုံးချမှုများတွင်၊ chip lithography လုပ်ငန်းစဉ်ရှိ အလင်းပြန့်ပွားမှုလမ်းကြောင်း၏တိကျသေချာစေရန်အတွက် 000 သို့မဟုတ် 00 အဆင့် flatness စံသတ်မှတ်ချက်များနှင့် ပြည့်မီရန် လိုအပ်ပြီး platform flatness error ကြောင့်ဖြစ်ရသည့် ချစ်ပ်ပုံစံပုံပျက်ခြင်းကို ရှောင်ရှားရန် လိုအပ်ပါသည်။ ့
မျက်နှာပြင်ကြမ်းတမ်းမှုစံ
Granite တိကျသောအစိတ်အပိုင်းများ၏ မျက်နှာပြင်ကြမ်းတမ်းမှုသည် အခြားအစိတ်အပိုင်းများနှင့် ကိုက်ညီသောတိကျမှုနှင့် စွမ်းဆောင်ရည်ကို တိုက်ရိုက်သက်ရောက်သည်။ ပုံမှန်အခြေအနေများတွင် optical အစိတ်အပိုင်းများအတွက်အသုံးပြုသော granite platform ၏မျက်နှာပြင်ကြမ်းတမ်း Ra သည် 0.1μm-0.4μm သို့ရောက်ရှိသင့်ပြီး optical components များသည် တပ်ဆင်ပြီးနောက်တွင် optical စွမ်းဆောင်ရည်ကို ထိန်းသိမ်းနိုင်ပြီး မညီညာသောမျက်နှာပြင်များကြောင့်ဖြစ်ရသည့် အလင်းကွဲအက်ခြင်းကို လျှော့ချနိုင်မည်ဖြစ်သည်။ စက်ပစ္စည်းစမ်းသပ်ရာတွင်အသုံးပြုသော သာမန်ကျောက်တုံးပလပ်ဖောင်းအတွက်၊ မျက်နှာပြင်ကြမ်းတမ်း Ra သည် 0.8μm-1.6μm သို့ ဖြေလျှော့နိုင်သည်။ မျက်နှာပြင် မိုက်ခရိုစကုပ် ပရိုဖိုင်း၏ ဂဏန်းသွေဖည်မှုကို တိုင်းတာခြင်းဖြင့် မျက်နှာပြင် ကြမ်းတမ်းမှုတန်ဖိုးသည် စံနှုန်းနှင့် ကိုက်ညီမှုရှိမရှိ ဆုံးဖြတ်ပေးသည့် ပရိုဖိုင်းကဲ့သို့သော ပရော်ဖက်ရှင်နယ် ကိရိယာကို အသုံးပြုခြင်းဖြင့် မျက်နှာပြင် ကြမ်းတမ်းမှုကို ပုံမှန်အားဖြင့် သိရှိနိုင်သည်။ ့
အတွင်းပိုင်းချို့ယွင်းချက်ရှာဖွေရေးစံနှုန်း
Granite အစိတ်အပိုင်းများ၏ အတွင်းပိုင်း အရည်အသွေးကို သေချာစေရန်အတွက်၊ ၎င်းတို့၏ အတွင်းပိုင်း ချို့ယွင်းချက်များကို တင်းကြပ်စွာ သိရှိရန် လိုအပ်ပါသည်။ ultrasonic စစ်ဆေးခြင်းကို အသုံးပြုသည့်အခါ သက်ဆိုင်ရာစံနှုန်းများအတိုင်း၊ အချို့သောအရွယ်အစား (အချင်း 2mm ထက်ကြီးသော) ထက်ကြီးသော အပေါက်များ၊ အက်ကြောင်းများနှင့် အခြားချို့ယွင်းချက်များရှိကြောင်း တွေ့ရှိသောအခါ၊ အစိတ်အပိုင်းအား အရည်အချင်းမပြည့်မီဟု ဆုံးဖြတ်သည်။ ဓာတ်မှန်စစ်ဆေးခြင်းတွင်၊ အရှည် 10 မီလီမီတာထက်ပိုသော လိုင်းရိုးချို့ယွင်းချက်များ သို့မဟုတ် ဧရိယာ 50 မီလီမီတာထက်ပိုသော ပြင်းထန်သောချို့ယွင်းချက်များကဲ့သို့သော အစိတ်အပိုင်း၏ဖွဲ့စည်းပုံဆိုင်ရာခိုင်ခံ့မှုကို ထိခိုက်စေသည့် စဉ်ဆက်မပြတ်အတွင်းပိုင်းချို့ယွင်းချက်များကို X-ray ပုံတွင်ပြသပါက၊ အစိတ်အပိုင်းသည် အရည်အသွေးစံနှုန်းနှင့်မကိုက်ညီပါ။ ဤစံနှုန်းများကို တင်းတင်းကျပ်ကျပ် အကောင်အထည်ဖော်ခြင်းဖြင့် အသုံးပြုနေစဉ်အတွင်း အတွင်းပိုင်းချို့ယွင်းချက်များကြောင့် ဖြစ်ပေါ်လာသော အစိတ်အပိုင်းများ ကျိုးကြေခြင်းကဲ့သို့သော ပြင်းထန်သောပြဿနာများကို ထိရောက်စွာ ရှောင်ရှားနိုင်ပြီး စက်လည်ပတ်မှု၏ ဘေးကင်းမှုနှင့် ထုတ်ကုန်အရည်အသွေး တည်ငြိမ်မှုကို သေချာစေသည်။ ့
စက်မှုစစ်ဆေးရေးဖြေရှင်းချက်ဗိသုကာ
မြင့်မားသောတိကျသောတိုင်းတာမှုကိရိယာများပေါင်းစပ်ခြင်း။
Granite ၏တိကျသောအစိတ်အပိုင်းထောက်လှမ်းခြင်းပြဿနာကိုကျော်လွှားရန်အတွက်အဆင့်မြင့်တိုင်းတာရေးကိရိယာများကိုမိတ်ဆက်ပေးရန်လိုအပ်သည်။ လေဆာ interferometer သည် အရှည်နှင့် Angle တိုင်းတာမှုတွင် အလွန်မြင့်မားသောတိကျမှုရှိပြီး granite အစိတ်အပိုင်းများ၏ အဓိကကျသောအတိုင်းအတာများကို တိကျစွာတိုင်းတာနိုင်ပြီး ၎င်း၏တိုင်းတာမှုတိကျမှုသည် nanometers အထိရှိနိုင်ပြီး၊ တိကျမှုမြင့်မားသောအတိုင်းအတာသည်းခံမှုများ၏ ထောက်လှမ်းမှုလိုအပ်ချက်များကို ထိရောက်စွာဖြည့်ဆည်းပေးနိုင်သည်။ တစ်ချိန်တည်းမှာပင်၊ အချက်ပေါင်းများစွာ တိုင်းတာခြင်းနှင့် ပရော်ဖက်ရှင်နယ် အယ်လဂိုရီသမ်များဖြင့် ပေါင်းစပ်ခြင်းဖြင့် ပလက်ဖောင်းကျောက်ပြား၏ ပြားချပ်မှုကို လျင်မြန်တိကျစွာ တိုင်းတာရန်အတွက် အီလက်ထရွန်းနစ်အဆင့်ကို အသုံးပြုနိုင်ပြီး၊ တိကျသော flatness ပရိုဖိုင်ကို 0.001mm/m အထိ တိုင်းတာနိုင်သည်။ ထို့အပြင်၊ 3D optical scanner သည် ပြီးပြည့်စုံသော သုံးဖက်မြင် မော်ဒယ်ကို ထုတ်လုပ်ရန် Granite အစိတ်အပိုင်း၏ ရှုပ်ထွေးသော မျက်နှာပြင်ကို လျင်မြန်စွာ စကင်န်ဖတ်နိုင်ပြီး၊ ဒီဇိုင်းပုံစံနှင့် နှိုင်းယှဉ်ခြင်းဖြင့် ပုံသဏ္ဍာန်သွေဖည်မှုကို တိကျစွာ သိရှိနိုင်ပြီး၊ ထုတ်ကုန်အရည်အသွေး အကဲဖြတ်မှုအတွက် ပြည့်စုံသော ဒေတာပံ့ပိုးမှု ပံ့ပိုးပေးပါသည်။ ့
အဖျက်အဆီးကင်းသော စမ်းသပ်နည်းပညာကို အသုံးချခြင်း။
အစိတ်အပိုင်းစွမ်းဆောင်ရည်အတွက် အတွင်းပိုင်းကျောက်တုံးချို့ယွင်းချက်များ၏ ခြိမ်းခြောက်မှုဖြစ်လာနိုင်သောကြောင့် အဖျက်အဆီးမရှိစမ်းသပ်ခြင်းမှာ မရှိမဖြစ်လိုအပ်ပါသည်။ Ultrasonic flaw detector သည် ကြိမ်နှုန်းမြင့် အာထရာဆောင်းကို ထုတ်လွှတ်နိုင်ပြီး၊ အသံလှိုင်းသည် granite အတွင်းရှိ အက်ကွဲများ၊ အပေါက်များနှင့် အခြားချို့ယွင်းချက်များနှင့် ထိတွေ့သောအခါ၊ ရောင်ပြန်ဟပ်သည့်လှိုင်းအချက်ပြမှုကို ပိုင်းခြားစိတ်ဖြာခြင်းဖြင့် ၎င်းသည် ရောင်ပြန်ဟပ်ကာ ကွဲလွင့်သွားမည်ဖြစ်ပြီး၊ ၎င်းသည် ချွတ်ယွင်းချက်၏ တည်နေရာ၊ အရွယ်အစားနှင့် ပုံသဏ္ဍာန်တို့ကို တိကျစွာ ဆုံးဖြတ်နိုင်သည်။ သေးငယ်သောချို့ယွင်းချက်များအား ထောက်လှမ်းရန်အတွက် X-ray ချို့ယွင်းချက်ရှာဖွေရေးနည်းပညာသည် ပိုမိုအားသာချက်ရှိပြီး အတွင်းပိုင်းဖွဲ့စည်းပုံ၏ပုံသဏ္ဌာန်တစ်ခုအဖြစ် ကျောက်တုံးရုပ်ထုကို ထိုးဖောက်ဝင်ရောက်နိုင်ပြီး ပကတိမျက်စိဖြင့်ရှာဖွေရခက်ခဲသော သိမ်မွေ့သောချို့ယွင်းချက်များကို ရှင်းရှင်းလင်းလင်းပြသကာ အစိတ်အပိုင်း၏အတွင်းပိုင်းအရည်အသွေးကို ယုံကြည်စိတ်ချရကြောင်း သေချာစေရန်။ ့
Intelligent detection software စနစ်
အားကောင်းသည့် အသိဉာဏ်ထောက်လှမ်းသည့်ဆော့ဖ်ဝဲစနစ်သည် ဖြေရှင်းချက်တစ်ခုလုံး၏ အဓိကအချက်အချာဖြစ်သည်။ စနစ်သည် စမ်းသပ်ကိရိယာအမျိုးမျိုးမှ စုဆောင်းရရှိသော အချက်အလက်များကို အချိန်နှင့်တပြေးညီ အကျဉ်းချုံ့နိုင်၊ ခွဲခြမ်းစိတ်ဖြာပြီး လုပ်ဆောင်နိုင်ပါသည်။ ဥာဏ်ရည်တု အယ်လဂိုရီသမ်များကို အသုံးပြု၍ ဆော့ဖ်ဝဲသည် ဒေတာအင်္ဂါရပ်များကို အလိုအလျောက် ခွဲခြားသတ်မှတ်နိုင်ပြီး ကျောက်တုံးအစိတ်အပိုင်းများသည် အရည်အသွေးစံနှုန်းများနှင့် ကိုက်ညီမှုရှိမရှိ ဆုံးဖြတ်နိုင်ကာ ထောက်လှမ်းမှု ထိရောက်မှုနှင့် တိကျမှုကို အလွန်တိုးတက်စေသည်။ ဥပမာအားဖြင့်၊ နက်နဲသောသင်ယူမှုပုံစံများဖြင့် စစ်ဆေးခြင်းဒေတာအမြောက်အမြားကို လေ့ကျင့်ပေးခြင်းဖြင့်၊ ဆော့ဖ်ဝဲသည် မျက်နှာပြင်ချို့ယွင်းချက်များ၏ အမျိုးအစားနှင့် ပြင်းထန်မှုကို လျင်မြန်စွာ တိတိကျကျခွဲခြားသိရှိနိုင်ပြီး၊ လက်ဖြင့်ဘာသာပြန်ခြင်းကြောင့်ဖြစ်နိုင်သော လွဲမှားသောအစီရင်ခံမှုများကို ရှောင်ရှားနိုင်သည်။ တစ်ချိန်တည်းမှာပင်၊ ဆော့ဖ်ဝဲလ်စနစ်သည် အရည်အသွေးပြည့်မီသော ခြေရာခံနိုင်မှုနှင့် စီမံခန့်ခွဲမှုများကို လုပ်ဆောင်ရန် လုပ်ငန်းများအတွက် အဆင်ပြေစေသည့် အစိတ်အပိုင်းတစ်ခုစီ၏ စမ်းသပ်မှုဒေတာနှင့် ရလဒ်များကို မှတ်တမ်းတင်ကာ အသေးစိတ်စမ်းသပ်အစီရင်ခံစာကို ထုတ်ပေးနိုင်သည်။ ့
စစ်ဆေးခြင်းဖြေရှင်းချက်များတွင် ZHHIMG ၏အကျိုးကျေးဇူးများ
စက်မှုလုပ်ငန်းခေါင်းဆောင်တစ်ဦးအနေဖြင့် ZHHIMG သည် granite တိကျသောအစိတ်အပိုင်းစစ်ဆေးခြင်းနယ်ပယ်တွင်ကြွယ်ဝသောအတွေ့အကြုံကိုစုဆောင်းထားသည်။ ကုမ္ပဏီတွင် ဖောက်သည်များ၏ အထူးလိုအပ်ချက်များအတိုင်း စိတ်ကြိုက်စမ်းသပ်မှုဖြေရှင်းနည်းများနှင့်အညီ ဆန်းသစ်တီထွင်မှုနှင့် ပိုမိုကောင်းမွန်အောင်လုပ်ဆောင်ရန် ကုမ္ပဏီတွင် ပရော်ဖက်ရှင်နယ် R&D အဖွဲ့တစ်ဖွဲ့ရှိသည်။ ZHHIMG သည် နိုင်ငံတကာအဆင့်မီ စမ်းသပ်ကိရိယာများကို မိတ်ဆက်ခဲ့ပြီး စမ်းသပ်မှုတိုင်းသည် စက်မှုလုပ်ငန်း၏ ထိပ်တန်းအဆင့်သို့ ရောက်ရှိနိုင်စေရန် သေချာစေရန် တင်းကျပ်သော အရည်အသွေးထိန်းချုပ်မှုစနစ်ကို ထူထောင်ခဲ့သည်။ ဝန်ဆောင်မှုများနှင့်ပတ်သက်၍ ကုမ္ပဏီသည် ဖောက်သည်များသည် စမ်းသပ်မှုဖြေရှင်းချက်များကို ချောမွေ့စွာအသုံးချနိုင်ပြီး ထုတ်ကုန်အရည်အသွေးထိန်းချုပ်မှုစွမ်းရည်များ တိုးတက်ကောင်းမွန်လာစေရန် သေချာစေရန် စမ်းသပ်မှုပုံစံဒီဇိုင်း၊ စက်ကိရိယာတပ်ဆင်ခြင်းနှင့် ဝန်ထမ်းလေ့ကျင့်ရေးများအထိ တစ်ခုတည်းသော ဝန်ဆောင်မှုများကို ဆောင်ရွက်ပေးပါသည်။
စာတိုက်အချိန်- မတ် ၂၄-၂၀၂၅