Granite bed သည် semiconductor စက်အမျိုးမျိုးတွင် အရေးကြီးသော အစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်သည်။အလွန်တည်ငြိမ်ပြီး တောင့်တင်းသောပစ္စည်းတစ်ခုအနေဖြင့်၊ ကျောက်တုံးကို semiconductor processing equipment များအတွက် အခြေခံအဖြစ် တွင်ကျယ်စွာအသုံးပြုပါသည်။၎င်းကို ၎င်း၏နိမ့်သော အပူတိုးချဲ့ဖော်ကိန်း၊ မြင့်မားသော အတိုင်းအတာ တည်ငြိမ်မှုနှင့် အလွန်ကောင်းမွန်သော စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ဂုဏ်သတ္တိများဖြင့် ထင်ရှားသည်။ဤဂုဏ်သတ္တိများကြောင့် ကျောက်တုံးအိပ်ရာကို တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးကိရိယာ အမျိုးအစားသုံးမျိုးတွင် အများဆုံးအသုံးပြုသည် - မက်ထရိုဗေဒပစ္စည်း၊ ဓါတ်ပုံရိုက်ကိရိယာနှင့် စစ်ဆေးရေးကိရိယာများ။
တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးကိရိယာ ကိရိယာများ၏ အရေးကြီးသော အတိုင်းအတာကို တိုင်းတာရန် မက်ထရိုဗေဒ ကိရိယာကို အသုံးပြုသည်။ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ ထုတ်လုပ်မှု လုပ်ငန်းစဉ်၏ အရည်အသွေးနှင့် ညီညွတ်မှုကို ထိန်းသိမ်းရာတွင် အရေးကြီးသော အခန်းကဏ္ဍမှ ပါဝင်ပါသည်။တိုင်းတာရေးကိရိယာများတွင် အလင်းအဏုကြည့်မှန်ဘီလူးများ၊ အီလက်ထရွန်အဏုကြည့်ကိရိယာများနှင့် အနုမြူစွမ်းအင်သုံး အဏုစကုပ်များ (AFM) ကဲ့သို့သော တူရိယာများ ပါဝင်သည်။ဤတိုင်းတာမှုကိရိယာများ၏ စွမ်းဆောင်ရည်သည် ၎င်းတို့၏ တည်ငြိမ်မှု၊ တိကျမှုနှင့် တုန်ခါမှုခံနိုင်ရည်တို့အပေါ် မူတည်သောကြောင့်၊ ကျောက်တုံးသည် ၎င်းတို့၏ အိပ်ရာပစ္စည်းများအတွက် အကောင်းဆုံးရွေးချယ်မှုဖြစ်သည်။Granite ကုတင်၏ တူညီမှုနှင့် တည်ငြိမ်မှုသည် တူရိယာများအတွက် တည်ငြိမ်သော ပလပ်ဖောင်းကို ပေးစွမ်းနိုင်ပြီး ၎င်းတို့၏ တိကျမှုနှင့် ယုံကြည်စိတ်ချရမှုကို တိုးမြှင့်ပေးသည်။
wafer ပေါ်ရှိ microchip ပုံစံများကို ပြုလုပ်ရန်အတွက် Lithography ကိရိယာကို အသုံးပြုသည်။lithography လုပ်ငန်းစဉ်သည် ရှုပ်ထွေးသောဆားကစ်များဖန်တီးရန်နှင့် ချစ်ပ်စွမ်းဆောင်ရည်ကို မြှင့်တင်ရန်အတွက် မြင့်မားသောတိကျမှုနှင့် တိကျမှုလိုအပ်သည်။ပုံသဏ္ဍာန် ကိရိယာတွင် ပုံများကို wafer ပေါ်သို့ လွှဲပြောင်းရန် အလင်းကို အသုံးပြုသည့် stepper နှင့် scanner စနစ်များ ပါဝင်သည်။lithography လုပ်ငန်းစဉ်သည် တုန်ခါမှုနှင့် အပူပြောင်းလဲမှုများအတွက် အလွန်အထိခိုက်မခံသောကြောင့်၊ lithography လုပ်ငန်းစဉ်၏ တည်ငြိမ်မှုနှင့် ထပ်တလဲလဲဖြစ်နိုင်မှုကို သေချာစေရန် အရည်အသွေးမြင့် အိပ်ရာတစ်ခုသည် မရှိမဖြစ်လိုအပ်ပါသည်။Granite beds များသည် lithography စနစ်များအတွက် လိုအပ်သော တည်ငြိမ်မှုနှင့် တင်းကြပ်သောတုန်ခါမှု စိုစွတ်မှုစွမ်းဆောင်ရည်ကို ပေးစွမ်းသည်။Granite bed သည် stepper သို့မဟုတ် scanner စနစ်အား မြင့်မားသောတိကျမှုနှင့် နောက်ဆုံးထုတ်ကုန်အရည်အသွေးကို သေချာစေရန် တိကျသော spatial ဆက်ဆံရေးများကို ထိန်းသိမ်းထားနိုင်စေပါသည်။
ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ စက်ပစ္စည်းများတွင် ချို့ယွင်းချက်တစ်စုံတစ်ရာကို သိရှိရန် စစ်ဆေးရေးကိရိယာကို အသုံးပြုသည်။စစ်ဆေးရေးကိရိယာများတွင် လေဆာစကင်န်အဏုကြည့်ကိရိယာများ၊ အီလက်ထရွန်အဏုစကုပ်များနှင့် အလင်းအဏုကြည့်စနစ်များ ပါဝင်သည်။ဤစက်ပစ္စည်းများသည် အလွန်တိကျသော၊ တည်ငြိမ်ပြီး တုန်ခါမှုကိုခံနိုင်ရည်ရှိရန် လိုအပ်သောကြောင့်၊ ကျောက်တုံးကုတင်များသည် ပြီးပြည့်စုံသောပစ္စည်းဖြစ်သည်။Granite ၏ စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ဂုဏ်သတ္တိများနှင့် အတိုင်းအတာ တည်ငြိမ်မှုသည် စစ်ဆေးရေးကိရိယာများ၏ အထွက်အား တိကျမှုကို မြှင့်တင်ပေးသည့် တုန်ခါမှုအထီးကျန်မှုကို ကူညီပေးသည်။
နိဂုံးချုပ်အားဖြင့်၊ ကျောက်တုံးအိပ်ရာသည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာစက်မှုလုပ်ငန်းအတွက် အရေးပါပြီး စက်ပစ္စည်းအမျိုးအစားအမျိုးမျိုးတွင် တွင်ကျယ်စွာအသုံးပြုသည်။၎င်း၏ထူးခြားသောဂုဏ်သတ္တိများဖြစ်သည့် အတိုင်းအတာတည်ငြိမ်မှု၊ နိမ့်သောအပူချဲ့ထွင်မှုကိန်းဂဏန်းနှင့် အလွန်ကောင်းမွန်သော စက်ပိုင်းဆိုင်ရာတည်ငြိမ်မှုတို့သည် ကျောက်တုံးကျောက်တုံးတစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းကိရိယာများ၏ အိပ်ရာပစ္စည်းအတွက် အကောင်းဆုံးရွေးချယ်မှုဖြစ်သည်။အရည်အသွေးမြင့် ကျောက်တုံးကုတင်သည် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းကိရိယာများအတွက် လိုအပ်သော တည်ငြိမ်မှု၊ တိကျမှုနှင့် တုန်ခါမှုကို ခံနိုင်ရည်ရှိစေသောကြောင့် နောက်ဆုံးတွင် ၎င်းသည် နောက်ဆုံးထုတ်ကုန်၏ အရည်အသွေးကို မြှင့်တင်ပေးပါသည်။ထို့ကြောင့်၊ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းကိရိယာများတွင် Granite Bed ကိုအသုံးပြုခြင်းသည် လာမည့်နှစ်များအထိ ဆက်လက်တည်ရှိနေမည်မှာ သေချာပါသည်။
စာတင်ချိန်- ဧပြီလ 03-2024