wafer လွှဲပြောင်းမှုစနစ်၏ မည်သည့်အစိတ်အပိုင်းများတွင် ကျောက်တုံးပစ္စည်းများကို အသုံးပြုသနည်း။

မြင့်မားသောတည်ငြိမ်မှု၊ အပူပိုင်းချဲ့ထွင်မှုနည်းပါးခြင်းနှင့် သံချေးတက်ခြင်းကို ခံနိုင်ရည်မြင့်မားခြင်းစသည့် ၎င်းတို့၏ထူးခြားကောင်းမွန်သောလက္ခဏာများကြောင့် ဂရန်းနိုက်ပစ္စည်းများကို တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးစက်လုပ်ငန်းတွင် တွင်ကျယ်စွာအသုံးပြုကြသည်။ဤဂုဏ်သတ္တိများသည် ကျောက်တုံးများကို wafer လွှဲပြောင်းစနစ်တွင် တိကျမှုမြင့်မားသော အစိတ်အပိုင်းများတည်ဆောက်ရန်အတွက် စံပြပစ္စည်းတစ်ခုဖြစ်စေသည်။

တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်သည့်လုပ်ငန်းစဉ်တွင်၊ wafer လွှဲပြောင်းမှုစနစ်သည် ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်၏မတူညီသောအဆင့်များတစ်လျှောက် wafer များကို သယ်ယူပို့ဆောင်ရာတွင် အရေးပါသောအခန်းကဏ္ဍမှပါဝင်ပါသည်။အနည်းငယ်သွေဖည်မှုများသည် လုပ်ငန်းစဉ်တစ်ခုလုံးကို အန္တရာယ်ဖြစ်စေနိုင်သောကြောင့် တိကျမှုနှင့် တိကျမှုသည် ဤစနစ်များအတွက် မရှိမဖြစ်လိုအပ်ချက်ဖြစ်သည်။ထို့ကြောင့် wafer လွှဲပြောင်းမှုစနစ်ရှိ အစိတ်အပိုင်းများကို အရည်အသွေးမြင့်ပစ္စည်းများဖြင့် ပြုလုပ်ရမည်ဖြစ်ပြီး ကျောက်တုံးများသည် အဆိုပါစံနှုန်းများနှင့် ကိုက်ညီပါသည်။

Granite ပစ္စည်းများဖြင့် ပြုလုပ်ထားသော wafer လွှဲပြောင်းမှုစနစ်၏ အစိတ်အပိုင်းအချို့ ပါဝင်သည်။

1. Vacuum Chuck Table

ဖုန်စုပ်စက်ကို လုပ်ငန်းစဉ်အတွင်း wafer ကိုင်ဆောင်ရန်အတွက် အသုံးပြုထားပြီး wafer မပျက်စီးကြောင်းသေချာစေရန် တည်ငြိမ်သောမျက်နှာပြင်ရှိရပါမည်။Granite သည် မြင့်မားသော တည်ငြိမ်မှုနှင့် တိကျမှုတို့ကို ပေးစွမ်းနိုင်သော ပြားချပ်ချပ်၊ အပေါက်မရှိသော မျက်နှာပြင် ပါရှိသောကြောင့် ဤစားပွဲပြုလုပ်ရန် စံပြပစ္စည်းတစ်ခုဖြစ်သည်။ထို့အပြင်၊ granite သည် wafer တွင် အတိုင်းအတာပြောင်းလဲမှုများဖြစ်ပေါ်စေနိုင်သည့် အပူချိန်ပြောင်းလဲမှုများကို ခံနိုင်ရည်ရှိ၍ အပူချဲ့ခြင်း၏နိမ့်ကျသောကိန်းရှိသည်။

2. Air-Bearing အဆင့်

ဝေဖာကို ထုတ်လုပ်မှု လုပ်ငန်းစဉ်၏ အမျိုးမျိုးသော အဆင့်များမှတဆင့် သယ်ဆောင်ရန် လေ-ထမ်းစင် အဆင့်ကို အသုံးပြုသည်။မြင့်မားသော တိကျမှုနှင့် တည်ငြိမ်မှု လိုအပ်သည့် ပွတ်တိုက်မှုကင်းသော လှုပ်ရှားမှုကို ပေးစွမ်းရန် စင်အား တီထွင်ဖန်တီးထားသည်။Granite သည် တောင့်တင်းပြီး မာကျောသော ကျောက်ဖြစ်သောကြောင့် ၎င်းသည် ပုံပျက်ခြင်းနှင့် အချိန်ကြာလာသည်နှင့်အမျှ စိုစွတ်မှုကို ခံနိုင်ရည်ရှိသည်။

3. Linear Motion လမ်းညွှန်များ

linear motion guides များကို air-bearing stage ကို လမ်းညွှန်ရန် အသုံးပြုပြီး အမှားအယွင်းများ အနည်းဆုံးဖြစ်အောင် တိကျစွာ နေရာချထားရပါမည်။အလွန်ကောင်းမွန်သော စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ တည်ငြိမ်မှုနှင့် ခိုင်ခံ့မှုတို့ကြောင့် ဤလမ်းညွှန်ကို တည်ဆောက်ရန်အတွက် Granite ကို အသုံးပြုပါသည်။ပစ္စည်းသည် သံချေးတက်ခြင်းကိုလည်း ခံနိုင်ရည်ရှိပြီး လမ်းညွှန်စနစ်၏ တာရှည်ခံမှုကို သေချာစေသည်။

4. Metrology စက်ပစ္စည်း

ထုတ်လုပ်သည့်လုပ်ငန်းစဉ်အတွင်း wafer ၏အတိုင်းအတာနှင့် ဂုဏ်သတ္တိများကို တိုင်းတာရန်အတွက် Metrology ကိရိယာကို အသုံးပြုသည်။Granite သည် မြင့်မားသော တောင့်တင်းမှု၊ ချဲ့ထွင်မှု နည်းပါးပြီး ဝန်အောက် ပုံပျက်ခြင်း အနည်းဆုံး ဖြစ်သောကြောင့် ဤစက်ပစ္စည်းကို တည်ဆောက်ရန်အတွက် စံပြပစ္စည်းတစ်ခုဖြစ်သည်။ထို့အပြင်၊ Granite ၏အပူတည်ငြိမ်မှုသည် တိုင်းတာမှုဆိုင်ရာကိရိယာများသည် အချိန်ကြာလာသည်နှင့်အမျှ တည်ငြိမ်ပြီး တိကျကြောင်း သေချာစေသည်။

နိဂုံးချုပ်အားဖြင့်၊ ဆီမီးကွန်ဒတ်တာစက်မှုလုပ်ငန်းသည် တိကျမှုနှင့် တိကျမှုအပေါ် မူတည်ပြီး ကျောက်တုံးပစ္စည်းများသည် ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်တွင် အလွန်ယုံကြည်စိတ်ချရပြီး တည်ငြိမ်ကြောင်း သက်သေပြခဲ့သည်။မြင့်မားသောတည်ငြိမ်မှု၊ တိကျမှု၊ နှင့်အပူချဲ့ထွင်မှုနည်းပါးသော wafer လွှဲပြောင်းမှုစနစ်တွင် အရေးကြီးသောအစိတ်အပိုင်းများစွာဖြင့်၊ အင်ဂျင်နီယာများသည် ဤအရေးကြီးသောလိုအပ်ချက်များကိုဖြည့်ဆည်းရန် ကျောက်တုံးပစ္စည်းများကို ပြောင်းလဲအသုံးပြုခဲ့ကြသည်။