ဂရနိုက်ပစ္စည်းများကို မြင့်မားသောတည်ငြိမ်မှု၊ အပူချိန်ချဲ့ထွင်မှုနည်းခြင်းနှင့် ချေးခံနိုင်ရည်မြင့်မားခြင်းကဲ့သို့သော ၎င်းတို့၏အလွန်ကောင်းမွန်သောဝိသေသလက္ခဏာများကြောင့် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းလုပ်ငန်းတွင် တွင်ကျယ်စွာအသုံးပြုကြသည်။ ဤဂုဏ်သတ္တိများသည် ဂရနိုက်ကို wafer transfer system တွင် မြင့်မားသောတိကျမှုရှိသော အစိတ်အပိုင်းများတည်ဆောက်ရန်အတွက် စံပြပစ္စည်းတစ်ခုဖြစ်စေသည်။
တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်တွင်၊ wafer transfer စနစ်သည် ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်၏ မတူညီသောအဆင့်များတစ်လျှောက် wafer များကို သယ်ယူပို့ဆောင်ရာတွင် အရေးပါသောအခန်းကဏ္ဍမှ ပါဝင်သည်။ တိကျမှုနှင့် တိကျမှုသည် ဤစနစ်များအတွက် မရှိမဖြစ်လိုအပ်ချက်များဖြစ်သည်၊ အဘယ်ကြောင့်ဆိုသော် အနည်းငယ်သော သွေဖည်မှုများပင် လုပ်ငန်းစဉ်တစ်ခုလုံးကို အန္တရာယ်ဖြစ်စေနိုင်သောကြောင့်ဖြစ်သည်။ ထို့ကြောင့်၊ wafer transfer စနစ်ရှိ အစိတ်အပိုင်းများကို အရည်အသွေးမြင့်ပစ္စည်းများဖြင့် ပြုလုပ်ရမည်ဖြစ်ပြီး ဂရနိုက်သည် ထိုစံနှုန်းများနှင့် ကိုက်ညီပါသည်။
ဂရနိုက်ပစ္စည်းများဖြင့် ပြုလုပ်ထားသော wafer transfer စနစ်၏ အစိတ်အပိုင်းအချို့တွင် အောက်ပါတို့ ပါဝင်သည်-
၁။ ဖုန်စုပ်ချက်စားပွဲ
vacuum chuck table ကို လုပ်ငန်းစဉ်အတွင်း wafer ကိုထိန်းထားရန်အတွက် အသုံးပြုပြီး wafer မပျက်စီးစေရန်အတွက် တည်ငြိမ်သောမျက်နှာပြင်ရှိရမည်။ ဂရနိုက်သည် ဤစားပွဲပြုလုပ်ရန်အတွက် အကောင်းဆုံးပစ္စည်းဖြစ်ပြီး ၎င်းတွင် ပြားချပ်ပြီး အပေါက်မရှိသော မျက်နှာပြင်ရှိသောကြောင့် တည်ငြိမ်မှုနှင့် တိကျမှုမြင့်မားစွာပေးစွမ်းသည်။ ထို့အပြင် ဂရနိုက်တွင် အပူချဲ့ထွင်မှုကိန်းဂဏန်းနည်းပါးသောကြောင့် wafer တွင် အတိုင်းအတာပြောင်းလဲမှုများဖြစ်စေနိုင်သည့် အပူချိန်ပြောင်းလဲမှုများကို ခံနိုင်ရည်ရှိသည်။
၂။ လေသယ်ဆောင်သည့် အဆင့်
လေဝင်လေထွက်ကောင်းသော အဆင့်ကို ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်၏ အဆင့်အမျိုးမျိုးမှတစ်ဆင့် ဝေဖာကို သယ်ယူပို့ဆောင်ရန်အတွက် အသုံးပြုသည်။ အဆင့်ကို ပွတ်တိုက်မှုမရှိသော ရွေ့လျားမှုကို ပေးစွမ်းရန် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားပြီး မြင့်မားသော တိကျမှုနှင့် တည်ငြိမ်မှု လိုအပ်ပါသည်။ ဂရန်နိုက်သည် မာကျောပြီး မာကျောသော ကျောက်တစ်မျိုးဖြစ်ပြီး အချိန်ကြာလာသည်နှင့်အမျှ ပုံပျက်ခြင်းနှင့် ယိုယွင်းခြင်းကို ခံနိုင်ရည်ရှိသောကြောင့် ဤအသုံးချမှုတွင် အသုံးပြုသည်။
၃။ လိုင်းယာနိုက် ရွေ့လျားမှု လမ်းညွှန်များ
linear motion guides များကို air-bearing stage ကို လမ်းညွှန်ရန်အသုံးပြုပြီး အမှားအယွင်းများကို အနည်းဆုံးဖြစ်စေရန် တိကျစွာနေရာချထားရမည်။ Granite ကို ဤလမ်းညွှန်ကိုတည်ဆောက်ရန်အသုံးပြုသည်၊ အဘယ်ကြောင့်ဆိုသော် ၎င်းသည် စက်ပိုင်းဆိုင်ရာတည်ငြိမ်မှုနှင့် ခိုင်ခံ့မှုအလွန်ကောင်းမွန်သောကြောင့်ဖြစ်သည်။ ဤပစ္စည်းသည် ချေးခံနိုင်ရည်လည်းရှိသောကြောင့် လမ်းညွှန်စနစ်၏ တာရှည်ခံမှုကိုသေချာစေသည်။
၄။ တိုင်းတာရေးပစ္စည်းကိရိယာများ
မက်ထရိုလိုဂျီပစ္စည်းကိရိယာများကို ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်အတွင်း ဝေဖာ၏ အတိုင်းအတာနှင့် ဂုဏ်သတ္တိများကို တိုင်းတာရန် အသုံးပြုသည်။ ဂရနိုက်သည် ဤပစ္စည်းကိရိယာများကို တည်ဆောက်ရန်အတွက် အကောင်းဆုံးပစ္စည်းဖြစ်သည်၊ အဘယ်ကြောင့်ဆိုသော် ၎င်းတွင် မာကျောမှုမြင့်မားခြင်း၊ ချဲ့ထွင်မှုနည်းပါးခြင်းနှင့် ဝန်ထုပ်ဝန်ပိုးအောက်တွင် ပုံပျက်ခြင်းအနည်းဆုံးဖြစ်သောကြောင့်ဖြစ်သည်။ ထို့အပြင်၊ ဂရနိုက်၏ အပူချိန်တည်ငြိမ်မှုသည် မက်ထရိုလိုဂျီပစ္စည်းကိရိယာများသည် အချိန်ကြာလာသည်နှင့်အမျှ တည်ငြိမ်ပြီး တိကျမှန်ကန်နေစေရန် သေချာစေသည်။
အဆုံးသတ်အနေနဲ့၊ semiconductor လုပ်ငန်းဟာ တိကျမှုနဲ့ တိကျမှုကို အားကိုးနေရပြီး ဂရန်နိုက်ပစ္စည်းတွေဟာ ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်မှာ အလွန်ယုံကြည်စိတ်ချရပြီး တည်ငြိမ်မှုရှိကြောင်း သက်သေပြခဲ့ပါတယ်။ wafer transfer စနစ်မှာ အရေးကြီးတဲ့ အစိတ်အပိုင်းများစွာဟာ မြင့်မားတဲ့ တည်ငြိမ်မှု၊ တိကျမှုနဲ့ အပူချိန်ချဲ့ထွင်မှု နည်းပါးမှုတွေ လိုအပ်တာကြောင့် အင်ဂျင်နီယာတွေဟာ ဒီအရေးကြီးတဲ့ လိုအပ်ချက်တွေကို ဖြည့်ဆည်းဖို့ ဂရန်နိုက်ပစ္စည်းတွေကို အသုံးပြုလာကြပါတယ်။
ပို့စ်တင်ချိန်: ၂၀၂၄ ခုနှစ်၊ မတ်လ ၁၉ ရက်