၎င်းတို့၏ မြင့်မားသော တောင့်တင်းမှု၊ ချဲ့ထွင်မှု နည်းပါးသော၊ အလွန်ကောင်းမွန်သော စိုစွတ်သော စွမ်းဆောင်ရည်နှင့် သဘာဝ သံလိုက်ဓာတ် ဆန့်ကျင်ဂုဏ်သတ္တိများဖြင့် တိကျမှုနှင့် တည်ငြိမ်မှု အလွန်လိုအပ်သည့် သိပ္ပံနည်းကျ သုတေသနနယ်ပယ်များတွင် အစားထိုး၍မရသော အသုံးချပရိုဂရမ်တန်ဖိုးများ ရှိသည်။ အောက်ပါတို့သည် ၎င်း၏ အဓိက အသုံးချမှု အခြေအနေများနှင့် နည်းပညာဆိုင်ရာ အားသာချက်များ ဖြစ်သည်-
I. Ultra-တိကျမှု စီမံဆောင်ရွက်ပေးသည့် စက်ကိရိယာ၏ နယ်ပယ်
တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း ထုတ်လုပ်သည့် ကိရိယာများ
လျှောက်လွှာတင်သည့်အခြေအနေများ- Lithography စက် workpiece table၊ wafer dicing machine base၊ packaging equipment positioning platform.
နည်းပညာတန်ဖိုး-
Granite ၏အပူချဲ့ခြင်း၏ကိန်းဂဏန်းသည် (0.5-1.0) ×10⁻⁶/℃ သာဖြစ်ပြီး၊ ၎င်းသည် lithography စက်၏ နာနိုစကေးထိတွေ့မှုအတွင်း အပူချိန်အတက်အကျကို ခုခံနိုင်သည် (±0.1 ℃) ပတ်ဝန်းကျင်တွင် နေရာရွှေ့ပြောင်းမှုအမှားအယွင်း < 0.1nm ။
အတွင်းပိုင်း သေးငယ်သော ချွေးပေါက်ဖွဲ့စည်းပုံသည် သဘာဝ စိုစွတ်မှု (damping ratio 0.05 မှ 0.1) ကို အန်စာစက်ဖြင့် အရှိန်မြင့်ဖြတ်တောက်စဉ်အတွင်း တုန်ခါမှု (amplitude < 2μm) ကို ဖိနှိပ်ကာ wafer ဖြတ်တောက်ခြင်း၏ အနားသတ် Ra ၏ ကြမ်းတမ်းမှုသည် 1μm ထက်နည်းကြောင်း သေချာစေသည်။
2. တိကျသောကြိတ်စက်များနှင့် ညှိနှိုင်းတိုင်းတာရေးစက်များ (CMM)
လျှောက်လွှာကိစ္စ-
3-coordinate တိုင်းတာရေးစက်၏ အောက်ခြေသည် ±0.5μm/m ရှိသော ပြားချပ်ချပ်ချပ်ရပ်ရပ်ဖြင့် ပေါင်းစပ်ထားသော ကျောက်တုံးဖွဲ့စည်းပုံကို လက်ခံပါသည်။ ဝေဟင်-ရေပေါ်လမ်းညွှန်ရထားလမ်းနှင့် ပေါင်းစပ်ထားသောကြောင့် နာနိုအဆင့် လှုပ်ရှားမှုတိကျမှု (ထပ်တလဲလဲ နေရာချထားမှု တိကျမှု ±0.1μm) ကို ရရှိသည်။
အလင်းကြိတ်စက်၏ အလုပ်စားပွဲသည် ကျောက်တုံးနှင့် ငွေသံမဏိတို့၏ ပေါင်းစပ်ဖွဲ့စည်းပုံကို လက်ခံသည်။ K9 ဖန်ကို ကြိတ်သောအခါ၊ မျက်နှာပြင်လှိုင်းဝေဆမှုသည် λ/20 (λ=632.8nm) ထက်နည်းသည်၊၊ လေဆာမှန်ဘီလူးများ၏ အလွန်ချောမွေ့သော လုပ်ဆောင်မှုလိုအပ်ချက်များနှင့် ကိုက်ညီသည်။
ii. Optics နှင့် Photonics နယ်ပယ်
နက္ခတ္တဗေဒ တယ်လီစကုပ်များနှင့် လေဆာစနစ်များ
ပုံမှန်အပလီကေးရှင်းများ-
ကြီးမားသော ရေဒီယိုတယ်လီစကုပ်၏ ရောင်ပြန်ဟပ်မှုမျက်နှာပြင်၏ ပံ့ပိုးမှုပလပ်ဖောင်းတွင် အလေးချိန် 2.7g/cm³) ရှိပြီး ပေါ့ပါးသော ယမ်းစိမ်းပျားလပို့ပုံစံကို အသုံးပြုထားပြီး လေအား တုန်ခါမှုကို ခံနိုင်ရည်ရှိပါသည် (10 အဆင့်လေတိုက်မှုအောက် 50μm)။
လေဆာ interferometer ၏ optical platform သည် micro-porous granite ကိုအသုံးပြုသည်။ အလင်းပြန်ကို လေဟာနယ် စုပ်ယူမှုဖြင့် 5nm ထက်နည်းသော ချောမွေ့မှု ချို့ယွင်းချက်ဖြင့် ပြုပြင်ထားပြီး၊ ဆွဲငင်အားလှိုင်းကို သိရှိခြင်းကဲ့သို့သော အလွန်တိကျသော အလင်းပြန်မှုစမ်းသပ်မှုများ၏ တည်ငြိမ်မှုကို သေချာစေသည်။
2. တိကျသော optical အစိတ်အပိုင်းလုပ်ဆောင်ခြင်း။
နည်းပညာဆိုင်ရာ အားသာချက်များ-
ကျောက်တုံးပလပ်ဖောင်း၏ သံလိုက်စိမ့်ဝင်နိုင်မှုနှင့် လျှပ်စစ်စီးကူးမှုသည် သုညနီးပါးဖြစ်ပြီး၊ တိကျသောလုပ်ငန်းစဉ်များဖြစ်သည့် ion beam polishing (IBF) နှင့် magnetorheological polishing (MRF) ကဲ့သို့သော တိကျသောလုပ်ငန်းစဉ်များတွင် လျှပ်စစ်သံလိုက်ဝင်ရောက်စွက်ဖက်မှုလွှမ်းမိုးမှုကို ရှောင်ရှားသည်။ ပြုပြင်ထားသော asphical မှန်ဘီလူး၏ မျက်နှာပြင်ပုံသဏ္ဍာန်တိကျမှု PV တန်ဖိုးသည် λ/100 သို့ရောက်ရှိနိုင်သည်။
iii. အာကာသနှင့် တိကျမှု စစ်ဆေးရေး
လေကြောင်းအစိတ်အပိုင်းစစ်ဆေးရေးပလက်ဖောင်း
အသုံးချမှုအခြေအနေများ- လေယာဉ်ဓါးသွားများကို သုံးဖက်မြင်စစ်ဆေးခြင်း၊ လေကြောင်းအလူမီနီယမ်သတ္တုစပ်ဖွဲ့စည်းပုံဆိုင်ရာ အစိတ်အပိုင်းများ၏ ပုံသဏ္ဍာန်နှင့် အနေအထားခံနိုင်ရည်များကို တိုင်းတာခြင်း။
အဓိကစွမ်းဆောင်ရည်-
Granite Platform ၏မျက်နှာပြင်အား ကောင်းမွန်သောပုံစံများ (Ra 0.4-0.8μm) ဖြင့် ကောင်းမွန်သောပုံစံများဖန်တီးရန်၊ တိကျမှုမြင့်မားသော trigger probes များအတွက် သင့်လျော်ပြီး blade profile ကိုရှာဖွေရာတွင် အမှားအယွင်းမှာ 5μm ထက်နည်းပါသည်။
၎င်းသည် လေကြောင်း အစိတ်အပိုင်းများ ကီလိုဂရမ် 200 ကျော် ဝန်ကို ခံနိုင်ရည်ရှိပြီး ရေရှည်အသုံးပြုပြီးနောက် ချောမွေ့မှု ပြောင်းလဲမှုသည် 2μm/m ထက်နည်း၍ အာကာသယာဉ်လုပ်ငန်းတွင် အဆင့် 10 ၏ တိကျသော ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းမှု လိုအပ်ချက်များနှင့် ကိုက်ညီပါသည်။
2. inertial navigation အစိတ်အပိုင်းများကို ချိန်ညှိခြင်း
နည်းပညာဆိုင်ရာလိုအပ်ချက်များ- gyroscopes နှင့် accelerometers ကဲ့သို့သော inertial devices များကို တည်ငြိမ်စွာ ချိန်ညှိခြင်းသည် အလွန်တည်ငြိမ်သော ရည်ညွှန်းသည့်ပလပ်ဖောင်းတစ်ခု လိုအပ်ပါသည်။
ဖြေရှင်းချက်- ကျောက်တုံးပလပ်ဖောင်းကို တုန်ခါမှုအရှိန် < 1 × 10⁻⁴g ရှိသော ပတ်ဝန်းကျင်ရှိ တုန်ခါမှုအရှိန် < 1×10⁻⁴g ရှိသော ပတ်ဝန်းကျင်တွင် မြင့်မားသော တိကျသေချာသော ကြိမ်နှုန်း < 1Hz မှ ချိန်ညှိခြင်း ၊ ကျောက်တုံးပလပ်ဖောင်းကို ကျောက်တုံးပလပ်ဖောင်းကို ပေါင်းစပ်ထားသည်။
ကြင်ယာ၊ နာနိုနည်းပညာနှင့် ဇီဝဆေးပညာ
စကင်ဖတ်စစ်ဆေးခြင်း အဏုစကုပ် (SPM) ပလပ်ဖောင်း
Core function- atomic force microscopy (AFM) နှင့် scanning tunneling microscopy (STM) အတွက် အခြေခံအနေဖြင့်၊ ၎င်းကို ပတ်ဝန်းကျင်တုန်ခါမှုနှင့် အပူပျံ့မှုတို့မှ ခွဲထုတ်ရန် လိုအပ်ပါသည်။
စွမ်းဆောင်ရည် အညွှန်းများ-
အနုမြူတုန်ခါမှု အထီးကျန်ခြေထောက်များနှင့် ပေါင်းစပ်ထားသည့် ဂရန်နီပလပ်ဖောင်းသည် ပြင်ပတုန်ခါမှု (1-100Hz) ၏ ထုတ်လွှင့်မှုနှုန်း (1-100Hz) ကို လေထုပတ်ဝန်းကျင်တွင် AFM ၏ အနုမြူအဆင့်ပုံရိပ်ဖော်ခြင်း (resolution < 0.1nm) ထက် 5% လျှော့ချနိုင်သည်။
အပူချိန် sensitivity သည် 0.05μm/℃ ထက်နည်းသည်၊ ၎င်းသည် အဆက်မပြတ် အပူချိန် (37℃±0.1℃) ပတ်ဝန်းကျင်တွင် ဇီဝနမူနာများကို နာနိုစကေးကြည့်ရှုခြင်းအတွက် လိုအပ်ချက်များနှင့် ကိုက်ညီပါသည်။
2. Biochip ထုပ်ပိုးပစ္စည်းများ
လျှောက်လွှာကိစ္စ- DNA sequencing ချစ်ပ်များအတွက် တိကျသော ချိန်ညှိမှု မြင့်မားသော ပလပ်ဖောင်းသည် ±0.5μm ၏ တည်နေရာတိကျမှန်ကန်မှုဖြင့် မိုက်ခရိုဖလူးဒစ်ချန်နယ်နှင့် ထောက်လှမ်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းကြားရှိ မိုက်ခရိုဖလူးဒစ်ချန်နယ်နှင့် ထောက်လှမ်းမှုလျှပ်ကူးပစ္စည်းကြားရှိ မိုက်ခရိုဖလူးဒစ် လျှပ်ကူးပစ္စည်းကြားတွင်ရှိသော ဂရန်နီဝေဟင်-ရေပေါ်လမ်းညွှန်သံလမ်းများကို လက်ခံပါသည်။
V. ပေါ်ပေါက်လာသော အပလီကေးရှင်းအခြေအနေများ
ကွမ်တမ် ကွန်ပြူတာ စက်ပစ္စည်းအခြေခံ
နည်းပညာဆိုင်ရာစိန်ခေါ်မှုများ- Qubit ခြယ်လှယ်မှုသည် အလွန်နိမ့်သောအပူချိန် (mK အဆင့်) နှင့် အလွန်တည်ငြိမ်သော စက်ပိုင်းဆိုင်ရာပတ်ဝန်းကျင် လိုအပ်ပါသည်။
ဖြေရှင်းချက်- ကွမ်တမ်ချစ်ပ်ပြားများထုပ်ပိုးစဉ်အတွင်း ချိန်ညှိမှုတိကျမှုကို အာမခံချက်။ ဖြေရှင်းချက်- ဖြေရှင်းချက်- ဂရန်နီ၏ အလွန်နိမ့်သောအပူချဲ့မှုပိုင်ဆိုင်မှု (-200 ℃မှ အခန်းအပူချိန်သို့ 1ppm) သည် အလွန်နိမ့်သောအပူချိန် superconducting သံလိုက်များ၏ ကျုံ့ခြင်းလက္ခဏာများနှင့် ကိုက်ညီပါသည်။
2. Electron Beam Lithography (EBL) စနစ်
သော့ချက်စွမ်းဆောင်ရည်- ကျောက်တုံးပလပ်ဖောင်း၏ လျှပ်ကာပစ္စည်းများ (ခုခံနိုင်စွမ်း > 10¹³Ω·m) သည် အီလက်ထရွန်ရောင်ခြည်များ ကွဲအက်ခြင်းကို တားဆီးပေးသည်။ electrostatic spindle drive နှင့် ပေါင်းစပ်ထားပြီး၊ ၎င်းသည် နာနိုစကေးမျဉ်းအကျယ် (< 10nm) ဖြင့် မြင့်မားသော တိကျသော lithography ပုံစံရေးသားခြင်းကို ရရှိနိုင်သည်။
အကျဉ်းချုပ်
Granite တိကျသောပလပ်ဖောင်းများကို အသုံးပြုခြင်းသည် သမားရိုးကျတိကျသောစက်ပစ္စည်းများမှ နာနိုနည်းပညာ၊ ကွမ်တမ်ရူပဗေဒနှင့် ဇီဝဆေးပညာကဲ့သို့သော နောက်ဆုံးပေါ်နယ်ပယ်များအထိ တိုးချဲ့ထားသည်။ ၎င်း၏ အဓိက ယှဉ်ပြိုင်နိုင်စွမ်းသည် ပစ္စည်းဂုဏ်သတ္တိများနှင့် အင်ဂျင်နီယာ လိုအပ်ချက်များ၏ နက်နဲသော ပေါင်းစပ်မှုတွင် တည်ရှိသည်။ အနာဂတ်တွင်၊ ပေါင်းစပ်အားဖြည့်နည်းပညာများ (ဂရပ်ဖင်း-ဂရန်နီ-ဂရန်နိုက် နာနိုကွန်ပဆိုဒ်များကဲ့သို့) နှင့် ဉာဏ်ရည်ဉာဏ်သွေးအာရုံခံနည်းပညာများ ပေါင်းစပ်ခြင်းဖြင့်၊ ဂရန်နီပလပ်ဖောင်းများသည် အက်တမ်အဆင့်တိကျမှု၊ အပူချိန်အပြည့်အကွာအဝေးတည်ငြိမ်မှုနှင့် Multi-functional integration တို့၏ ပေါင်းစပ်မှုကို ပံ့ပိုးပေးသည့် မျိုးဆက်သစ် ပင်မထုတ်လုပ်မှုကို ပံ့ပိုးပေးမည့် အနာဂတ်တွင် အနာဂတ်တွင်၊
စာတိုက်အချိန်- မေလ ၂၈-၂၀၂၅