ဂရန်နိုက် တိကျမှုပလက်ဖောင်းများသည် ၎င်းတို့၏ မြင့်မားသော မာကျောမှု၊ ချဲ့ထွင်မှုကိန်းနိမ့်ခြင်း၊ ကောင်းမွန်သော တုန်ခါမှုစွမ်းဆောင်ရည်နှင့် သဘာဝသံလိုက်ဆန့်ကျင်ဂုဏ်သတ္တိများဖြင့် တိကျမှုနှင့် တည်ငြိမ်မှုကို များစွာလိုအပ်သည့် အဆင့်မြင့်ထုတ်လုပ်မှုနှင့် သိပ္ပံဆိုင်ရာသုတေသနနယ်ပယ်များတွင် အစားထိုးမရနိုင်သော အသုံးချမှုတန်ဖိုးရှိသည်။ အောက်ပါတို့သည် ၎င်း၏ အဓိကအသုံးချမှုအခြေအနေများနှင့် နည်းပညာဆိုင်ရာ အားသာချက်များဖြစ်သည်-
I. အလွန်တိကျသော လုပ်ငန်းစဉ်ပစ္စည်းကိရိယာများ၏ နယ်ပယ်
တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်သည့် စက်ပစ္စည်းများ
အသုံးချမှု အခြေအနေများ- ပုံနှိပ်ကျောက်စက် workpiece စားပွဲ၊ wafer အတုံးလေးများဖြစ်အောင် ပြုလုပ်သည့် စက်အောက်ခြေ၊ ထုပ်ပိုးပစ္စည်း တပ်ဆင်သည့် ပလက်ဖောင်း။
နည်းပညာဆိုင်ရာတန်ဖိုး:
ဂရနိုက်၏ အပူချဲ့ထွင်မှုကိန်းသည် (0.5-1.0) ×10⁻⁶/℃ သာရှိပြီး လစ်သိုဂရပ်ဖီစက်၏ နာနိုစကေးထိတွေ့မှုအတွင်း အပူချိန်အတက်အကျကို ခံနိုင်ရည်ရှိသည် (±0.1℃ ပတ်ဝန်းကျင်တွင် ရွှေ့ပြောင်းမှုအမှား < 0.1nm)။
အတွင်းပိုင်း အဏုကြည့်မှန်ပြောင်းဖြင့် ಒಟ್ಟಾರೆಯಾವಿಸ ...
၂။ တိကျသော ကြိတ်ခွဲစက်များနှင့် ကိုဩဒိနိတ်တိုင်းတာစက်များ (CMM)
လျှောက်လွှာကိစ္စ:
သုံးဆင့်ကိုဩဒိနိတ်တိုင်းတာစက်၏အောက်ခြေသည် ±0.5μm/m ပြားချပ်ချပ်ရှိသော ပေါင်းစပ်ဂရနိုက်ဖွဲ့စည်းပုံကို အသုံးပြုထားသည်။ လေပေါ်တွင်မျောနေသော လမ်းညွှန်ရထားလမ်းနှင့် ပေါင်းစပ်လိုက်သောအခါ နာနိုအဆင့်ရွေ့လျားမှုတိကျမှု (ထပ်ခါတလဲလဲနေရာချထားမှုတိကျမှု ±0.1μm) ကိုရရှိစေသည်။
optical grinding စက်၏ worktable သည် granite နှင့် silver steel တို့၏ composite structure ကို အသုံးပြုထားသည်။ K9 ဖန်ကို grinding လုပ်သောအခါ၊ မျက်နှာပြင်လှိုင်းတွန့်မှုသည် λ/20 (λ=632.8nm) ထက်နည်းပြီး laser lens များ၏ အလွန်ချောမွေ့သော processing လိုအပ်ချက်များနှင့် ကိုက်ညီပါသည်။
II. အလင်းပညာနှင့် ဖိုတွန်နစ်ပညာ နယ်ပယ်
နက္ခတ္တဗေဒဆိုင်ရာ တယ်လီစကုပ်များနှင့် လေဆာစနစ်များ
ပုံမှန်အသုံးချမှုများ:
ရေဒီယိုတယ်လီစကုပ်ကြီး၏ ရောင်ပြန်ဟပ်မျက်နှာပြင်၏ အထောက်အပံ့ပလက်ဖောင်းသည် ဂရနိုက်ပျားအုံဖွဲ့စည်းပုံကို အသုံးပြုထားပြီး ၎င်းသည် အလေးချိန်ပေါ့ပါးသည် (သိပ်သည်းဆ 2.7g/cm³) နှင့် လေပြင်းတိုက်ခတ်မှုကို ခံနိုင်ရည်ရှိသည် (အဆင့် 10 လေတိုက်လျှင် ပုံပျက်ခြင်း < 50μm)။
လေဆာ interferometer ရဲ့ optical platform မှာ micro-porous granite ကိုအသုံးပြုထားပါတယ်။ reflector ကို vacuum adsorption ဖြင့် 5nm အောက် flatness error ဖြင့် ပြုပြင်ထားပြီး gravitational wave detection ကဲ့သို့သော ultra-pricity optical စမ်းသပ်ချက်များရဲ့ တည်ငြိမ်မှုကို သေချာစေပါတယ်။
၂။ တိကျသော အလင်းတန်း အစိတ်အပိုင်း လုပ်ဆောင်မှု
နည်းပညာဆိုင်ရာ အားသာချက်များ-
ဂရနိုက်ပလက်ဖောင်း၏ သံလိုက်စိမ့်ဝင်နိုင်စွမ်းနှင့် လျှပ်စစ်စီးကူးနိုင်စွမ်းသည် သုညနှင့်နီးစပ်ပြီး အိုင်းယွန်းရောင်ခြည် ඔප දැමීම (IBF) နှင့် သံလိုက်ကိရိယာဗေဒဆိုင်ရာ දැමීම (MRF) ကဲ့သို့သော တိကျမှုလုပ်ငန်းစဉ်များအပေါ် လျှပ်စစ်သံလိုက်ဝင်ရောက်စွက်ဖက်မှု၏ လွှမ်းမိုးမှုကို ရှောင်ရှားနိုင်သည်။ စီမံဆောင်ရွက်ထားသော အက်စဖီကယ်မှန်ဘီလူး၏ မျက်နှာပြင်ပုံသဏ္ဍာန်တိကျမှု PV တန်ဖိုးသည် λ/100 အထိရောက်ရှိနိုင်သည်။
III. အာကာသနှင့် တိကျမှုစစ်ဆေးခြင်း
လေကြောင်း အစိတ်အပိုင်း စစ်ဆေးရေး ပလက်ဖောင်း
အသုံးချမှု အခြေအနေများ- လေယာဉ်ဓါးများ၏ သုံးဖက်မြင်စစ်ဆေးခြင်း၊ လေကြောင်းအလူမီနီယမ်သတ္တုစပ်ဖွဲ့စည်းပုံဆိုင်ရာ အစိတ်အပိုင်းများ၏ ပုံသဏ္ဍာန်နှင့် အနေအထားခံနိုင်ရည်ကို တိုင်းတာခြင်း။
အဓိကစွမ်းဆောင်ရည်-
ဂရနိုက်ပလက်ဖောင်း၏မျက်နှာပြင်ကို အီလက်ထရိုလိုက်တိုက်စားမှုဖြင့် ကုသထားပြီး ချောမွေ့သောပုံစံများ (Ra 0.4-0.8μm ကြမ်းတမ်းမှုဖြင့်) ဖွဲ့စည်းထားပြီး၊ မြင့်မားသောတိကျမှုရှိသော trigger probes များအတွက်သင့်လျော်ပြီး blade profile ကို ထောက်လှမ်းရာတွင် အမှားအယွင်းမှာ 5μm ထက်နည်းပါသည်။
၎င်းသည် လေကြောင်း အစိတ်အပိုင်း ၂၀၀ ကီလိုဂရမ်ကျော် ဝန်ကို ခံနိုင်ရည်ရှိပြီး ရေရှည်အသုံးပြုပြီးနောက် ပြားချပ်မှု ပြောင်းလဲမှုမှာ 2μm/m ထက်နည်းပြီး လေကြောင်းလုပ်ငန်းတွင် Grade 10 ၏ တိကျသော ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းမှု လိုအပ်ချက်များနှင့် ကိုက်ညီပါသည်။
၂။ အရှိန်အဟုန်ဖြင့် ရွေ့လျားနိုင်သော အစိတ်အပိုင်းများ၏ ချိန်ညှိခြင်း
နည်းပညာဆိုင်ရာ လိုအပ်ချက်များ- ဂျိုင်ရိုစကုပ်နှင့် အရှိန်မြှင့်စက်ကဲ့သို့သော အ inertial ကိရိယာများ၏ static ချိန်ညှိမှုအတွက် အလွန်တည်ငြိမ်သော reference platform တစ်ခု လိုအပ်သည်။
ဖြေရှင်းချက်- ဂရနိုက်ပလက်ဖောင်းကို တက်ကြွသောတုန်ခါမှုအထီးကျန်စနစ် (သဘာဝကြိမ်နှုန်း < 1Hz) နှင့် ပေါင်းစပ်ထားပြီး၊ တုန်ခါမှုအရှိန် < 1×10⁻⁴g ရှိသောပတ်ဝန်းကျင်တွင် inertial အစိတ်အပိုင်းများ၏ သုညအော့ဖ်ဆက်တည်ငြိမ်မှုကို မြင့်မားသောတိကျမှုချိန်ညှိမှုဖြင့် < 0.01°/h ဖြင့် ရရှိစေသည်။
IV။ နာနိုနည်းပညာနှင့် ဇီဝဆေးပညာ
စကင်ဖတ်စစ်ဆေးသည့် မိုက်ခရိုစကုပ် (SPM) ပလက်ဖောင်း
အဓိကလုပ်ဆောင်ချက်- အက်တမ်အားသုံး မိုက်ခရိုစကုပ် (AFM) နှင့် စကင်န်ဖတ်ဥမင်လိုဏ်ခေါင်း မိုက်ခရိုစကုပ် (STM) တို့၏ အခြေခံအနေဖြင့်၊ ၎င်းကို ပတ်ဝန်းကျင်တုန်ခါမှုများနှင့် အပူရွေ့လျားမှုမှ သီးခြားခွဲထုတ်ရန် လိုအပ်ပါသည်။
စွမ်းဆောင်ရည်ညွှန်းကိန်းများ-
ဂရနိုက်ပလက်ဖောင်းကို လေဖိအားဖြင့်တုန်ခါမှုခွဲခြားထားသော ခြေထောက်များနှင့် ပေါင်းစပ်ခြင်းဖြင့် ပြင်ပတုန်ခါမှုများ (1-100Hz) ၏ ထုတ်လွှင့်မှုနှုန်းကို 5% အောက်သို့ လျှော့ချနိုင်ပြီး လေထုပတ်ဝန်းကျင်တွင် AFM ၏ အက်တမ်အဆင့်ပုံရိပ်ဖော်ခြင်း (resolution < 0.1nm) ကို ရရှိစေပါသည်။
အပူချိန်အာရုံခံနိုင်စွမ်းသည် 0.05μm/℃ ထက်နည်းပြီး တည်ငြိမ်သောအပူချိန် (37℃±0.1℃) ပတ်ဝန်းကျင်တွင် ဇီဝဗေဒဆိုင်ရာနမူနာများကို နာနိုစကေးစောင့်ကြည့်ခြင်းအတွက် လိုအပ်ချက်များနှင့် ကိုက်ညီပါသည်။
၂။ ဇီဝချစ်ပ်ထုပ်ပိုးသည့်ပစ္စည်းကိရိယာများ
အသုံးချမှုအခြေအနေ- DNA sequencing ချစ်ပ်များအတွက် မြင့်မားသောတိကျမှုရှိသော alignment platform သည် ±0.5μm ၏ နေရာချထားမှုတိကျမှုရှိသော granite air-floating guide rails များကို အသုံးပြုထားပြီး microfluidic channel နှင့် detection electrode အကြား sub-micron ချိတ်ဆက်မှုကို သေချာစေသည်။
V. ပေါ်ပေါက်လာသော အသုံးချမှု အခြေအနေများ
ကွမ်တမ်ကွန်ပျူတာ စက်ပစ္စည်းအခြေခံ
နည်းပညာဆိုင်ရာစိန်ခေါ်မှုများ- Qubit ကိုင်တွယ်မှုသည် အလွန်နိမ့်သောအပူချိန် (mK အဆင့်) နှင့် အလွန်တည်ငြိမ်သော စက်ပိုင်းဆိုင်ရာပတ်ဝန်းကျင် လိုအပ်သည်။
ဖြေရှင်းချက်- ဂရနိုက်၏ အလွန်နိမ့်သော အပူချဲ့ထွင်မှုဂုဏ်သတ္တိ (-၂၀၀ ℃ မှ အခန်းအပူချိန်အထိ ချဲ့ထွင်မှုနှုန်း < 1ppm) သည် အလွန်နိမ့်သော အပူချိန် superconducting သံလိုက်များ၏ ကျုံ့နိုင်သော ဝိသေသလက္ခဏာများနှင့် ကိုက်ညီနိုင်ပြီး ကွမ်တမ်ချစ်ပ်များ ထုပ်ပိုးစဉ်အတွင်း alignment တိကျမှုကို သေချာစေသည်။
၂။ အီလက်ထရွန်ရောင်ခြည် ပုံနှိပ်ကျောက် (EBL) စနစ်
အဓိကစွမ်းဆောင်ရည်- ဂရနိုက်ပလက်ဖောင်း၏ insulation ဂုဏ်သတ္တိ (resistivity > 10¹³Ω · m) သည် အီလက်ထရွန်ရောင်ခြည်ပြန့်ကျဲမှုကို ကာကွယ်ပေးသည်။ electrostatic spindle drive နှင့် ပေါင်းစပ်လိုက်သောအခါ နာနိုစကေးလိုင်းအကျယ် (< 10nm) ဖြင့် မြင့်မားသောတိကျမှုရှိသော lithography pattern ရေးသားခြင်းကို ရရှိစေပါသည်။
အနှစ်ချုပ်
ဂရန်နိုက် တိကျမှုပလက်ဖောင်းများ၏ အသုံးချမှုသည် ရိုးရာတိကျမှုစက်ယန္တရားမှ နာနိုနည်းပညာ၊ ကွမ်တမ်ရူပဗေဒနှင့် ဇီဝဆေးပညာကဲ့သို့သော ခေတ်မီနယ်ပယ်များအထိ တိုးချဲ့လာခဲ့သည်။ ၎င်း၏ အဓိကယှဉ်ပြိုင်နိုင်စွမ်းမှာ ပစ္စည်းဂုဏ်သတ္တိများနှင့် အင်ဂျင်နီယာလိုအပ်ချက်များ၏ နက်ရှိုင်းသော ပေါင်းစပ်မှုတွင် တည်ရှိသည်။ အနာဂတ်တွင် ပေါင်းစပ်အားဖြည့်နည်းပညာများ (ဥပမာ ဂရပ်ဖင်း-ဂရန်နိုက် နာနိုပေါင်းစပ်ပစ္စည်းများ) နှင့် ဉာဏ်ရည်ထက်မြက်သော အာရုံခံနည်းပညာများ ပေါင်းစပ်ခြင်းဖြင့် ဂရန်နိုက်ပလက်ဖောင်းများသည် အက်တမ်အဆင့်တိကျမှု၊ အပူချိန်အပြည့်အဝအကွာအဝေးတည်ငြိမ်မှုနှင့် ဘက်စုံလုပ်ဆောင်ချက်ပေါင်းစပ်မှုတို့၏ ဦးတည်ချက်များတွင် ဖောက်ထွက်ပြီး နောက်မျိုးဆက် အလွန်တိကျမှုထုတ်လုပ်မှုကို ပံ့ပိုးပေးသည့် အဓိကအခြေခံအစိတ်အပိုင်းများ ဖြစ်လာမည်ဖြစ်သည်။
ပို့စ်တင်ချိန်: ၂၀၂၅ ခုနှစ်၊ မေလ ၂၈ ရက်