Granite သည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ စက်များတွင် အသုံးပြုသည့် အကျော်ကြားဆုံး ပစ္စည်းများထဲမှ တစ်ခုဖြစ်သည်။၎င်းသည် မီးခိုးရောင်၊ ပန်းရောင် နှင့် အဖြူ အမျိုးမျိုးဖြင့် ထွက်လာသော မီးခိုးကျောက် အမျိုးအစားဖြစ်သည်။Granite သည် ၎င်း၏ တာရှည်ခံမှု၊ နိမ့်သော thermal expansion coefficient နှင့် အလွန်ကောင်းမွန်သော အပူစီးကူးနိုင်သောကြောင့် လူသိများပြီး ၎င်းသည် semiconductor device subsystems များတွင် အသုံးပြုရန် အကောင်းဆုံးပစ္စည်းတစ်ခုဖြစ်လာသည်။
တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းကိရိယာများတွင် granite ကိုအသုံးပြုသည့်အဓိကစနစ်ခွဲများထဲမှတစ်ခုမှာ wafer ကိုင်တွယ်ခြင်းနှင့်လုပ်ဆောင်ခြင်းလုပ်ငန်းခွဲစနစ်ဖြစ်သည်။ဤစနစ်ခွဲသည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ ကိရိယာများ ထုတ်လုပ်မှု လုပ်ငန်းစဉ်တွင် အရေးပါသော အခန်းကဏ္ဍမှ ပါဝင်ပါသည်။wafer သည် စက်ပစ္စည်းအတွက် အစပြုအလွှာဖြစ်ပြီး၊ ကိုင်တွယ်ခြင်းနှင့် လုပ်ဆောင်ခြင်းလုပ်ငန်းခွဲစနစ်သည် မတူညီသောအခန်းများနှင့် စီမံဆောင်ရွက်ပေးသည့် စက်များအကြား wafer များကို လွှဲပြောင်းပေးရန် တာဝန်ရှိပါသည်။Granite ကို အလွန်တိကျပြီး ပြားချပ်ချပ်ဝေဖာကိုင်တွယ်သည့် မျက်နှာပြင်များဖန်တီးရန်နှင့် wafer လုပ်ငန်းစဉ်အတွက် တည်ငြိမ်သောပလပ်ဖောင်းတစ်ခုကို ထောက်ပံ့ပေးသည်။
Granite ကိုအသုံးပြုသော နောက်ထပ်အရေးကြီးသောစနစ်ခွဲမှာ လေဟာနယ်စနစ်ဖြစ်သည်။ထုတ်လုပ်နေစဉ်အတွင်း ညစ်ညမ်းမှုမဖြစ်စေရန် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းကိရိယာများတွင် ဖုန်စုပ်ခန်းများကို အသုံးပြုသည်။ဤစနစ်အား ထိထိရောက်ရောက်လုပ်ဆောင်နိုင်စေရန်အတွက်၊ ၎င်းသည် ကျောက်တုံးများဝင်ရောက်သည့်နေရာဖြစ်သည့် အခန်းကို လုံး၀အလုံပိတ်ထားရမည်ဖြစ်သည်။ Granite သည် လေဟာနယ်အခန်းများအတွက် စံပြပစ္စည်းတစ်ခုဖြစ်ပြီး ၎င်းသည် ဓာတ်ငွေ့ထွက်နှုန်းအလွန်နည်းပြီး တည်ငြိမ်သောလေဟာနယ်ပတ်ဝန်းကျင်ကို ထိန်းသိမ်းထားနိုင်သောကြောင့်ဖြစ်သည်။ထို့အပြင်၊ granite ၏ မြင့်မားသော စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ တိကျမှု သည် wafer လုပ်ငန်းစဉ်အတွက် ယုံကြည်စိတ်ချရသော လေဟာနယ် ပတ်ဝန်းကျင်ကို ပေးစွမ်းနိုင်ပြီး ပြီးပြည့်စုံသော တံဆိပ်တစ်ခု ဖန်တီးနိုင်စေပါသည်။
alignment subsystem သည် granite ၏ထူးခြားသောဂုဏ်သတ္တိများကိုအသုံးပြုသည့်နောက်ထပ်အရေးကြီးသောစနစ်ဖြစ်သည်။ဤစနစ်ခွဲသည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာကိရိယာများ၏ မတူညီသောအစိတ်အပိုင်းများကို တိကျမှုနှင့် တိကျမှုဖြင့် ချိန်ညှိရန် တာဝန်ရှိသည်။ခိုင်ခံ့မှုနှင့် တည်ငြိမ်မှုမြင့်မားစေရန်အတွက် ဂရန်နီကို အံဝင်ခွင်ကျအဆင့်များ ဒီဇိုင်းနှင့် တည်ဆောက်ရာတွင် အသုံးပြုသည်။ကျောက်စိမ်းတုံး၏ မြင့်မားသော တောင့်တင်းမှုသည် မြင့်မားသော ချိန်ညှိတိကျမှုကို ရရှိစေရန် ကူညီပေးပြီး အလွန်တိကျပြီး ယုံကြည်စိတ်ချရသော တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးကိရိယာများ ထုတ်လုပ်မှုကို ဖြစ်ပေါ်စေသည်။
နောက်ဆုံးတွင်၊ တိုင်းတာမှုစနစ်ခွဲစနစ်သည် granite ကိုအသုံးပြုသည့် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းကိရိယာများ၏ အခြားစနစ်ဖြစ်သည်။Metrology သည် wafer processing တွင် မရှိမဖြစ်အရေးပါသော အခန်းကဏ္ဍမှ ပါဝင်နေပြီး ဤစနစ်ခွဲ၏ တိကျမှုသည် စက်၏အရည်အသွေးကို သေချာစေရန်အတွက် အရေးကြီးပါသည်။Granite သည် တုန်ခါမှုများကို လျှော့ချရန်နှင့် အပူချိန်အတက်အကျ၏ အကျိုးသက်ရောက်မှုကို နည်းပါးအောင် ကူညီပေးသည့် တည်ငြိမ်ပြီး မာကျောသော ပလပ်ဖောင်းကို ပံ့ပိုးပေးပါသည်။၎င်းသည် တစ်ဖန် အရည်အသွေးမြင့် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ ကိရိယာများ ထုတ်လုပ်မှုကို ဖြစ်ပေါ်စေသည့် မက်ထရီဗေဒ စနစ်ခွဲတွင် တိကျသော တိုင်းတာမှုများကို ရရှိစေရန် ကူညီပေးသည်။
နိဂုံးချုပ်အားဖြင့်၊ ကျောက်တုံးသည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ ကိရိယာများ ထုတ်လုပ်ရာတွင် အရေးပါသော ပစ္စည်းတစ်ခု ဖြစ်သည်။မြင့်မားသော မာကျောမှု၊ နိမ့်ပါးသော အပူဓာတ် ချဲ့ထွင်မှုနှင့် အလွန်ကောင်းမွန်သော အပူစီးကူးနိုင်မှု စသည့် ထူးခြားသော ဂုဏ်သတ္တိများက ၎င်းအား wafer ကိုင်တွယ်ခြင်းနှင့် စီမံဆောင်ရွက်ခြင်း၊ ဖုန်စုပ်စက်ခွဲစနစ်၊ ချိန်ညှိမှုစနစ်ခွဲနှင့် မက်ထရိုဗေဒစနစ်ခွဲစနစ်များအပါအဝင် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းကိရိယာများအတွက် ကောင်းမွန်သောပစ္စည်းတစ်ခုဖြစ်စေသည်။ထို့အပြင်၊ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းကိရိယာများတွင် granite ၏အသုံးပြုမှုသည်စက်မှုလုပ်ငန်းအများအပြားကိုပြောင်းလဲစေသည့်အလွန်တိကျသော၊ ယုံကြည်စိတ်ချရပြီးထိရောက်သောကိရိယာများထုတ်လုပ်ရာတွင်အထောက်အကူဖြစ်စေသည်။
စာတိုက်အချိန်- မတ်လ ၁၉-၂၀၂၄