ဂရနိုက်သည် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းများတွင် အသုံးပြုသော အလွန်ရေပန်းစားသော ပစ္စည်းတစ်ခုဖြစ်သည်။ ၎င်းသည် မီးခိုးရောင်၊ ပန်းရောင်နှင့် အဖြူရောင် အရိပ်အမျိုးမျိုးဖြင့် ထွက်ပေါ်လာသော မာကျောသော မီးသင့်ကျောက်အမျိုးအစားတစ်ခုဖြစ်သည်။ ဂရနိုက်သည် ၎င်း၏ တာရှည်ခံမှု၊ အပူချိန်ချဲ့ထွင်မှုကိန်းနည်းခြင်းနှင့် အပူစီးကူးမှုကောင်းမွန်ခြင်းတို့ကြောင့် လူသိများပြီး တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း လက်အောက်ခံစနစ်များတွင် အသုံးပြုရန် အကောင်းဆုံးပစ္စည်းတစ်ခုဖြစ်သည်။
တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းများတွင် ဂရနိုက်ကိုအသုံးပြုသည့် အဓိကလက်အောက်ခံစနစ်များထဲမှတစ်ခုမှာ wafer ကိုင်တွယ်ခြင်းနှင့် လုပ်ဆောင်ခြင်းလက်အောက်ခံစနစ်ဖြစ်သည်။ ဤလက်အောက်ခံစနစ်သည် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းများ ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်တွင် အရေးပါသောအခန်းကဏ္ဍမှ ပါဝင်သည်။ wafer သည် စက်ပစ္စည်းအတွက် စတင်အလွှာဖြစ်ပြီး ကိုင်တွယ်ခြင်းနှင့် လုပ်ဆောင်ခြင်းလက်အောက်ခံစနစ်သည် မတူညီသောအခန်းများနှင့် လုပ်ဆောင်ခြင်းပစ္စည်းများအကြား wafer များကို လွှဲပြောင်းပေးရန် တာဝန်ရှိသည်။ ဂရနိုက်ကို အလွန်တိကျပြီး ပြားချပ်ချပ် wafer ကိုင်တွယ်မျက်နှာပြင်များဖန်တီးရန် အသုံးပြုပြီး wafer လုပ်ဆောင်ခြင်းအတွက် တည်ငြိမ်သောပလက်ဖောင်းတစ်ခုကို ပံ့ပိုးပေးသည်။
ဂရန်နိုက်ကိုအသုံးပြုသည့် နောက်ထပ်အရေးကြီးသော လက်အောက်ခံစနစ်တစ်ခုမှာ vacuum လက်အောက်ခံစနစ်ဖြစ်သည်။ semiconductor စက်ပစ္စည်းများတွင် vacuum chambers များကို ထုတ်လုပ်မှုအတွင်း ညစ်ညမ်းမှုကို ရှောင်ရှားရန် အသုံးပြုသည်။ ဤစနစ်သည် ထိရောက်စွာအလုပ်လုပ်ရန်အတွက် chamber ကို လုံးဝပိတ်ထားရမည်ဖြစ်ပြီး၊ ၎င်းသည် ဂရန်နိုက်ဝင်ရောက်လာသည့်နေရာဖြစ်သည်။ ဂရန်နိုက်သည် vacuum chambers များအတွက် အကောင်းဆုံးပစ္စည်းဖြစ်သည်၊ အဘယ်ကြောင့်ဆိုသော် ၎င်းတွင် outgassing rates အလွန်နည်းပါးပြီး တည်ငြိမ်သော vacuum environment ကို ထိန်းသိမ်းနိုင်သောကြောင့်ဖြစ်သည်။ ထို့အပြင်၊ ဂရန်နိုက်၏ မြင့်မားသော စက်ပိုင်းဆိုင်ရာတိကျမှုသည် ပြီးပြည့်စုံသော seal တစ်ခုဖန်တီးနိုင်စေပြီး wafer processing အတွက် ယုံကြည်စိတ်ချရသော vacuum environment ကို ပေးစွမ်းသည်။
alignment subsystem သည် granite ၏ထူးခြားသောဂုဏ်သတ္တိများကိုအသုံးပြုသည့် နောက်ထပ်အရေးကြီးသောစနစ်တစ်ခုဖြစ်သည်။ ဤ subsystem သည် semiconductor devices များ၏ မတူညီသောအစိတ်အပိုင်းများကို တိကျမှုနှင့်တိကျမှုဖြင့် alignment လုပ်ရန်တာဝန်ရှိသည်။ Granite ကို alignment stages များ၏ဒီဇိုင်းနှင့်တည်ဆောက်မှုတွင် အသုံးပြု၍ မြင့်မားသောမာကျောမှုနှင့်တည်ငြိမ်မှုကိုသေချာစေသည်။ granite ၏မာကျောမှုမြင့်မားခြင်းသည် မြင့်မားသော alignment တိကျမှုရရှိရန်ကူညီပေးပြီး အလွန်တိကျပြီးယုံကြည်စိတ်ချရသော semiconductor devices များထုတ်လုပ်ရန်ကူညီပေးသည်။
နောက်ဆုံးအနေနဲ့ မက်ထရိုလိုဂျီ ဆပ်စနစ်ဟာ ဂရနိုက်ကို အသုံးပြုတဲ့ ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ စက်ပစ္စည်းတွေရဲ့ နောက်ထပ်စနစ်တစ်ခုပါ။ မက်ထရိုလိုဂျီဟာ ဝေဖာ လုပ်ငန်းစဉ်မှာ အရေးပါတဲ့ အခန်းကဏ္ဍကနေ ပါဝင်နေပြီး ဒီဆပ်စနစ်ရဲ့ တိကျမှုဟာ စက်ပစ္စည်းရဲ့ အရည်အသွေးကို သေချာစေဖို့ အရေးကြီးပါတယ်။ ဂရနိုက်ဟာ တုန်ခါမှုတွေကို လျှော့ချပေးပြီး အပူချိန်အတက်အကျရဲ့ အကျိုးသက်ရောက်မှုကို အနည်းဆုံးဖြစ်အောင် ကူညီပေးတဲ့ တည်ငြိမ်ပြီး မာကျောတဲ့ ပလက်ဖောင်းကို ပေးစွမ်းပါတယ်။ ဒါကလည်း မက်ထရိုလိုဂျီ ဆပ်စနစ်မှာ အလွန်တိကျတဲ့ တိုင်းတာမှုတွေ ရရှိအောင် ကူညီပေးပြီး အရည်အသွေးမြင့် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ စက်ပစ္စည်းတွေ ထုတ်လုပ်မှုကို ဦးတည်စေပါတယ်။
အဆုံးသတ်အနေနဲ့ ဂရနိုက်ဟာ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်ရာမှာ အရေးပါတဲ့ပစ္စည်းတစ်ခုဖြစ်ပါတယ်။ မာကျောမှုမြင့်မားခြင်း၊ အပူပြန့်ကားမှုနည်းပါးခြင်းနဲ့ အပူစီးကူးမှုကောင်းမွန်ခြင်းစတဲ့ ၎င်းရဲ့ထူးခြားတဲ့ဂုဏ်သတ္တိတွေက wafer handling and processing၊ vacuum subsystem၊ alignment subsystem နဲ့ metrology subsystem အပါအဝင် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းရှိ subsystem အများအပြားအတွက် အလွန်ကောင်းမွန်တဲ့ပစ္စည်းတစ်ခုဖြစ်စေပါတယ်။ ထို့အပြင်၊ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းတွင် ဂရနိုက်ကိုအသုံးပြုခြင်းသည် စက်မှုလုပ်ငန်းများစွာကို ပြောင်းလဲစေခဲ့သော အလွန်တိကျပြီး ယုံကြည်စိတ်ချရသောနှင့် ထိရောက်သော စက်ပစ္စည်းများထုတ်လုပ်ရာတွင် အထောက်အကူဖြစ်စေခဲ့ပါတယ်။
ပို့စ်တင်ချိန်: ၂၀၂၄ ခုနှစ်၊ မတ်လ ၁၉ ရက်