ဆီမီးကွန်ဒတ်တာထုတ်လုပ်ခြင်းနှင့် တိကျသောတိုင်းတာခြင်းကိရိယာများကဲ့သို့သော နယ်ပယ်များတွင်၊ ကျောက်တုံးတိကျမှုပလပ်ဖောင်းများ၏ တိကျမှုသည် စက်ကိရိယာများ၏ လုပ်ငန်းလည်ပတ်မှုအရည်အသွေးကို တိုက်ရိုက်ဆုံးဖြတ်သည်။ ပလပ်ဖောင်း၏တိကျမှန်ကန်မှုသည် စံချိန်စံညွှန်းများနှင့် ကိုက်ညီကြောင်း သေချာစေရန်အတွက်၊ အဓိကအညွှန်းကိန်းများကို ရှာဖွေဖော်ထုတ်ခြင်းနှင့် စံနှုန်းများနှင့် ကိုက်ညီမှုရှိသော ကဏ္ဍနှစ်ခုမှ ကြိုးပမ်းအားထုတ်မှုများ ပြုလုပ်သင့်သည်။ ့
ပင်မညွှန်ပြချက် ထောက်လှမ်းခြင်း- တိကျမှုကို ဘက်ပေါင်းစုံမှ ထိန်းချုပ်မှု
Flatness detection- ရည်ညွှန်းလေယာဉ်၏ "ညီညာမှု" ကို ဆုံးဖြတ်ခြင်း။
Flatness သည် granite တိကျမှုပလပ်ဖောင်းများ၏ အဓိကညွှန်ပြချက်ဖြစ်ပြီး ၎င်းကို များသောအားဖြင့် လေဆာ interferometers သို့မဟုတ် အီလက်ထရွန်နစ်အဆင့်များဖြင့် တိုင်းတာသည်။ လေဆာ interferometer သည် ပလက်ဖောင်းမျက်နှာပြင်ပေါ်ရှိ မိနစ်အစွန်းအထင်းများကို လေဆာရောင်ခြည်ထုတ်လွှတ်ကာ အလင်းဝင်ရောက်စွက်ဖက်မှု၏နိယာမကိုအသုံးပြုခြင်းဖြင့် ပလပ်ဖောင်းမျက်နှာပြင်ပေါ်ရှိ မိနစ်အစွန်းအထင်းများကို တိကျစွာတိုင်းတာနိုင်သည်။ အီလက်ထရွန်းနစ်အဆင့်သည် အကြိမ်ပေါင်းများစွာ ရွေ့လျားခြင်းဖြင့် တိုင်းတာပြီး ပလက်ဖောင်းမျက်နှာပြင်၏ သုံးဖက်မြင် အသွင်အပြင်မြေပုံကို ဆွဲယူကာ ဒေသဆိုင်ရာ အချွန်အတက်များ သို့မဟုတ် စိတ်ဓာတ်ကျခြင်းရှိမရှိကို သိရှိနိုင်သည်။ ဥပမာအားဖြင့်၊ semiconductor photolithography စက်များတွင်အသုံးပြုသော granite ပလပ်ဖောင်းများသည် ±0.5μm/m ရှိရန် လိုအပ်သည်၊ ဆိုလိုသည်မှာ အလျား 1 မီတာအတွင်း အမြင့်ကွာခြားမှုသည် မိုက်ခရိုမီတာထက်ဝက်ထက်မပိုသင့်ပါ။ တိကျသေချာသော ထောက်လှမ်းသည့်ကိရိယာများမှတစ်ဆင့်သာ ဤတင်းကျပ်သောစံနှုန်းကို အာမခံနိုင်မည်ဖြစ်သည်။ ့
2. ဖြောင့်တန်းမှုကို သိရှိခြင်း- linear motion ၏ "ဖြောင့်ခြင်း" ကို သေချာပါစေ။
တိကျသောရွေ့လျားမှုအစိတ်အပိုင်းများကိုသယ်ဆောင်သည့်ပလပ်ဖောင်းများအတွက်၊ ဖြောင့်ဖြောင့်မှုသည်အရေးကြီးပါသည်။ ထောက်လှမ်းခြင်းအတွက် ယေဘူယျနည်းလမ်းများမှာ ဝါယာကြိုး သို့မဟုတ် လေဆာကော်လံစက်ဖြစ်သည်။ ဝါယာကြိုးနည်းလမ်းတွင် တိကျမှုမြင့်မားသော သံမဏိကြိုးများကို ဆိုင်းငံ့ထားပြီး ပလက်ဖောင်းမျက်နှာပြင်နှင့် သံမဏိကြိုးများကြားရှိ ကွာဟချက်ကို နှိုင်းယှဉ်ခြင်း ပါဝင်သည်။ လေဆာကော်လံစက်သည် ပလပ်ဖောင်းလမ်းညွှန်ရထားလမ်း၏ တပ်ဆင်မျက်နှာပြင်၏ လိုင်းရိုးအမှားကို ရှာဖွေရန် လေဆာ၏ မျဉ်းကြောင်းပြန့်ပွားမှုလက္ခဏာများကို အသုံးပြုသည်။ ဖြောင့်ဖြောင့်မှုသည် စံနှုန်းနှင့် မကိုက်ညီပါက၊ ၎င်းသည် ရွေ့လျားမှုအတွင်း စက်ပစ္စည်းများကို ရွေ့လျားစေကာ လုပ်ဆောင်ချက် သို့မဟုတ် တိုင်းတာမှု တိကျမှုကို ထိခိုက်စေသည်။ ့
3. မျက်နှာပြင် ကြမ်းတမ်းမှုကို ထောက်လှမ်းခြင်း- ထိတွေ့မှု၏ "ချောမွေ့မှု" ကို သေချာပါစေ။
ပလပ်ဖောင်း၏ မျက်နှာပြင် ကြမ်းတမ်းမှုသည် အစိတ်အပိုင်း တပ်ဆင်မှု၏ အံဝင်ခွင်ကျ သက်ရောက်သည်။ ယေဘုယျအားဖြင့်၊ ထောက်လှမ်းခြင်းအတွက် stylus roughness meter သို့မဟုတ် optical microscope ကို အသုံးပြုသည်။ စတီလပ်စ်အမျိုးအစားတူရိယာသည် ပလက်ဖောင်းမျက်နှာပြင်ကို ကောင်းစွာစစ်ဆေးခြင်းဖြင့် အဏုကြည့်မှန်ပြောင်း၏ အမြင့်ပြောင်းလဲမှုများကို မှတ်တမ်းတင်သည်။ အလင်းအဏုကြည့်မှန်ဘီလူးများသည် မျက်နှာပြင်ဖွဲ့စည်းပုံကို တိုက်ရိုက်ကြည့်ရှုနိုင်သည်။ တိကျမှုမြင့်မားသော အသုံးချပရိုဂရမ်များတွင်၊ ကျောက်တုံးပလပ်ဖောင်းများ၏ မျက်နှာပြင်ကြမ်းတမ်းမှုသည် မှန်ကဲ့သို့အကျိုးသက်ရောက်မှုနှင့် ညီမျှသည့် Ra≤0.05μm တွင် ထိန်းချုပ်ရန်လိုအပ်ပြီး တိကျသောအစိတ်အပိုင်းများကို တပ်ဆင်စဉ်အတွင်း တင်းတင်းကျပ်ကျပ် အံဝင်ခွင်ကျဖြစ်စေရန်နှင့် ကွာဟမှုများကြောင့် တုန်ခါမှု သို့မဟုတ် နေရာရွှေ့ပြောင်းမှုတို့ကို ရှောင်ရှားရန် လိုအပ်သည်။ ့
တိကျသော စံချိန်စံညွှန်းများ လိုက်နာရန်- နိုင်ငံတကာ စံနှုန်းများနှင့် လုပ်ငန်းတွင်း ထိန်းချုပ်မှု
လက်ရှိတွင်၊ နိုင်ငံတကာတွင် ISO 25178 နှင့် GB/T 24632 စံနှုန်းများကို ဂရန်စတုံးပလပ်ဖောင်းများ၏ တိကျမှန်ကန်မှုကို ဆုံးဖြတ်ရန်အတွက် အခြေခံအဖြစ် အများအားဖြင့် အသုံးပြုကြပြီး ပြားချပ်ခြင်းနှင့် ဖြောင့်ခြင်းကဲ့သို့သော ညွှန်ပြမှုအတွက် ရှင်းလင်းသောအမျိုးအစားခွဲခြားမှုများရှိပါသည်။ ထို့အပြင် အဆင့်မြင့်ကုန်ထုတ်လုပ်ငန်းများသည် ပိုမိုတင်းကြပ်သော အတွင်းပိုင်းထိန်းချုပ်မှုစံနှုန်းများကို သတ်မှတ်လေ့ရှိသည်။ ဥပမာအားဖြင့်၊ photolithography စက်၏ granite ပလပ်ဖောင်းအတွက် ချောမွေ့မှုလိုအပ်ချက်သည် နိုင်ငံတကာစံနှုန်းထက် 30% ပိုမိုမြင့်မားသည်။ စမ်းသပ်မှုများပြုလုပ်သောအခါ၊ တိုင်းတာသည့်ဒေတာကို သက်ဆိုင်ရာစံနှုန်းများနှင့် နှိုင်းယှဉ်သင့်သည်။ စံချိန်စံညွှန်းများကို အပြည့်အဝလိုက်နာသော ပလပ်ဖောင်းများသာလျှင် တိကျသောစက်ပစ္စည်းများတွင် တည်ငြိမ်သောစွမ်းဆောင်ရည်ကို သေချာစေနိုင်ပါသည်။ ့
Granite Precision Platform များ၏ တိကျမှုကို စစ်ဆေးခြင်းသည် စနစ်ကျသော ပရောဂျက်တစ်ခုဖြစ်သည်။ ချောမွေ့ခြင်း၊ ဖြောင့်ခြင်း၊ နှင့် မျက်နှာပြင်ကြမ်းတမ်းခြင်းကဲ့သို့ ပင်မအညွှန်းများကို တင်းတင်းကျပ်ကျပ် စမ်းသပ်ခြင်းဖြင့်သာ၊ နိုင်ငံတကာနှင့် လုပ်ငန်းဆိုင်ရာ စံချိန်စံညွှန်းများကို လိုက်နာခြင်းဖြင့်သာ ပလက်ဖောင်း၏ တိကျမှုနှင့် ယုံကြည်စိတ်ချရမှုကို အာမခံနိုင်မည်ဖြစ်ပြီး၊ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းနှင့် တိကျမှုတူရိယာများကဲ့သို့သော အဆင့်မြင့်ကုန်ထုတ်လုပ်မှုနယ်ပယ်များအတွက် ခိုင်မာသော အခြေခံအုတ်မြစ်ကို ချနိုင်မည်ဖြစ်သည်။
စာတိုက်အချိန်- မေ ၂၁-၂၀၂၅