မြင့်မားသော မာကျောမှု၊ တည်ငြိမ်မှုနှင့် တိကျမှုတို့ကဲ့သို့သော သာလွန်ကောင်းမွန်သော ဂုဏ်သတ္တိများကြောင့် ဂရန်းနိုက်စက်အခြေစိုက်စခန်းများကို wafer ပြုပြင်ခြင်းဆိုင်ရာ စက်ပစ္စည်းထုတ်ကုန်များတွင် ကြီးမားစွာအသုံးပြုကြသည်။ကျောက်တုံးကျောက်တုံးတစ်လုံးကို တပ်ဆင်ခြင်း၊ စမ်းသပ်ခြင်းနှင့် ချိန်ညှိခြင်းများသည် အသေးစိတ်၊ တိကျမှုနှင့် တိကျမှုတို့ကို အလွန်အာရုံစိုက်ရန် အရေးကြီးသောလုပ်ငန်းစဉ်တစ်ခုဖြစ်သည်။ဤဆောင်းပါးတွင်၊ wafer processing equipment ထုတ်ကုန်များအတွက် ဂရန်နီစက်အခြေခံကို တပ်ဆင်ခြင်း၊ စမ်းသပ်ခြင်းနှင့် ချိန်ညှိခြင်း အဆင့်ဆင့်ကို ဆွေးနွေးပါမည်။
စုစည်းခြင်း။
ပထမအဆင့်မှာ တပ်ဆင်ရန်အတွက် ကျောက်တုံးမျက်နှာပြင်၊ အောက်ခြေနှင့် ကော်လံတို့ကို ပြင်ဆင်ရန်ဖြစ်သည်။မျက်နှာပြင်အားလုံးသည် သန့်ရှင်းခြောက်သွေ့ပြီး အပျက်အစီးများ၊ ဖုန်မှုန့် သို့မဟုတ် ဆီများ ကင်းစင်ကြောင်း သေချာပါစေ။အောက်ခြေတွင် အဆင့်သတ်မှတ်ထားသော ခလုတ်များကို ထည့်သွင်းပြီး မျက်နှာပြင်ပေါ်ရှိ ပန်းကန်ပြားကို အောက်ခြေတွင် ထားရှိပါ။မျက်နှာပြင်ပြားကို အလျားလိုက်နှင့် အဆင့်ဖြစ်အောင် ချိန်ညှိထားသော စမုတ်များကို ချိန်ညှိပါ။မျက်နှာပြင်ပြားကို အောက်ခံနှင့် ကော်လံဖြင့် ဖြန်းကြောင်း သေချာပါစေ။
ထို့နောက် အောက်ခြေတွင် ကော်လံကို တပ်ဆင်ပြီး ၎င်းကို bolts များဖြင့် လုံခြုံအောင်ပြုလုပ်ပါ။ထုတ်လုပ်သူ၏အကြံပြုထားသော torque တန်ဖိုးသို့ bolts များကိုတင်းကျပ်ရန် torque wrench ကိုအသုံးပြုပါ။ကော်လံ၏အဆင့်ကိုစစ်ဆေးပြီး လိုအပ်ပါက အဆင့်ညှိခလုတ်များကို ချိန်ညှိပါ။
နောက်ဆုံးတွင်၊ ကော်လံ၏ထိပ်တွင် spindle တပ်ဆင်မှုကိုတပ်ဆင်ပါ။ထုတ်လုပ်သူ၏အကြံပြုထားသော torque တန်ဖိုးသို့ bolts များကိုတင်းကျပ်ရန် torque wrench ကိုအသုံးပြုပါ။ဗိုင်းလိပ်တံတပ်ဆင်ခြင်းအဆင့်ကို စစ်ဆေးပြီး လိုအပ်ပါက ချိန်ညှိခလုတ်များကို ချိန်ညှိပါ။
စမ်းသပ်ခြင်း။
စက်အခြေခံကို တပ်ဆင်ပြီးနောက် နောက်တစ်ဆင့်မှာ ၎င်း၏ လုပ်ဆောင်နိုင်စွမ်းနှင့် တိကျမှုကို စမ်းသပ်ရန်ဖြစ်သည်။ပါဝါထောက်ပံ့မှုကိုချိတ်ဆက်ပြီး စက်ကိုဖွင့်ပါ။မော်တာများ၊ ဂီယာများ၊ ခါးပတ်များနှင့် ဝက်ဝံများကဲ့သို့သော အစိတ်အပိုင်းအားလုံးသည် ပုံမှန်မဟုတ်သော သို့မဟုတ် ပုံမှန်မဟုတ်သော ဆူညံသံများမရှိဘဲ ကောင်းမွန်စွာလည်ပတ်နေကြောင်း သေချာပါစေ။
စက်၏တိကျမှုကိုစမ်းသပ်ရန်၊ spindle ၏ကုန်သွားမှုကိုတိုင်းတာရန်တိကျသော dial indicator ကိုအသုံးပြုပါ။မျက်နှာပြင်ပြားပေါ်တွင် ဒိုင်ခွက်ညွှန်ကိန်းကို သတ်မှတ်ပြီး ဗိုင်းလိပ်တံကို လှည့်ပါ။အများဆုံးခွင့်ပြုနိုင်သော ပြေးထွက်မှုသည် 0.002 မီလီမီတာထက် နည်းသင့်သည်။ခွင့်ပြုထားသော ကန့်သတ်ချက်ထက် ပိုနေပါက၊ အဆင့်လိုက်စတိုးများကို ချိန်ညှိပြီး ထပ်မံစစ်ဆေးပါ။
အိမ်မြောင်
Calibration သည် စက်အခြေခံ၏ တိကျမှုနှင့် တိကျမှုကို သေချာစေရန် အရေးကြီးသော အဆင့်ဖြစ်သည်။ချိန်ညှိခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်တွင် စက်၏ထုတ်လုပ်သူ၏သတ်မှတ်ချက်များနှင့်ကိုက်ညီကြောင်းသေချာစေရန်အမြန်နှုန်း၊ နေရာချထားခြင်းနှင့် တိကျမှုကဲ့သို့သော စက်၏ဘောင်များကို စမ်းသပ်ခြင်းနှင့် ချိန်ညှိခြင်းတို့ပါဝင်ပါသည်။
စက်ကို ချိန်ညှိရန်၊ လေဆာ interferometer၊ လေဆာခြေရာခံကိရိယာ သို့မဟုတ် ballbar ပါ၀င်သည့် ချိန်ညှိကိရိယာတစ်ခု လိုအပ်မည်ဖြစ်သည်။ဤကိရိယာများသည် စက်၏ရွေ့လျားမှု၊ အနေအထားနှင့် ချိန်ညှိမှုကို မြင့်မားတိကျမှုဖြင့် တိုင်းတာသည်။
စက်၏ မျဉ်းဖြောင့်နှင့် ထောင့်ကွေးပုဆိန်များကို တိုင်းတာခြင်းဖြင့် စတင်ပါ။သတ်မှတ်ထားသော အကွာအဝေး သို့မဟုတ် ထောင့်တစ်ခုကျော်တွင် စက်၏ရွေ့လျားမှုနှင့် တည်နေရာကို တိုင်းတာရန် ချိန်ညှိကိရိယာကို အသုံးပြုပါ။ထုတ်လုပ်သူ၏ သတ်မှတ်ချက်များနှင့် တိုင်းတာထားသော တန်ဖိုးများကို နှိုင်းယှဉ်ပါ။သွေဖည်မှုတစ်စုံတစ်ရာရှိပါက၊ ခွင့်ပြုနိုင်သောကန့်သတ်ချက်များအတွင်း တိုင်းတာထားသောတန်ဖိုးများကို ယူဆောင်လာရန်အတွက် မော်တာများ၊ ဂီယာများနှင့် ဒရိုက်များကဲ့သို့သော စက်၏ဘောင်များကို ချိန်ညှိပါ။
ထို့နောက် စက်၏ စက်ဝိုင်းပုံ ပေါင်းစပ်လုပ်ဆောင်မှုကို စမ်းသပ်ပါ။စက်ဝိုင်းလမ်းကြောင်းကို ဖန်တီးပြီး စက်၏ရွေ့လျားမှုနှင့် အနေအထားကို တိုင်းတာရန် ချိန်ညှိကိရိယာကို အသုံးပြုပါ။တဖန်၊ ထုတ်လုပ်သူ၏ သတ်မှတ်ချက်များနှင့် တိုင်းတာထားသော တန်ဖိုးများကို နှိုင်းယှဉ်ပြီး လိုအပ်ပါက ဘောင်များကို ချိန်ညှိပါ။
နောက်ဆုံးတွင်၊ စက်၏ ထပ်တလဲလဲနိုင်မှုကို စမ်းသပ်ပါ။သတ်မှတ်ထားသော ကာလတစ်ခုအတွင်း စက်၏ အနေအထားကို မတူညီသောအချက်များဖြင့် တိုင်းပါ။တိုင်းတာထားသော တန်ဖိုးများကို နှိုင်းယှဉ်ပြီး သွေဖည်မှု ရှိမရှိ စစ်ဆေးပါ။သွေဖည်မှုများရှိပါက စက်၏ဘောင်များကို ချိန်ညှိပြီး စမ်းသပ်မှုကို ပြန်လုပ်ပါ။
နိဂုံး
wafer processing equipment products များအတွက် granite machine base ကို တပ်ဆင်ခြင်း၊ စမ်းသပ်ခြင်းနှင့် ချိန်ညှိခြင်းများသည် စိတ်ရှည်ခြင်း၊ အသေးစိတ်ကို ဂရုတစိုက်နှင့် တိကျမှုတို့လိုအပ်သော အရေးကြီးသောလုပ်ငန်းစဉ်တစ်ခုဖြစ်သည်။ဤအဆင့်များကို လိုက်နာခြင်းဖြင့်၊ စက်သည် ထုတ်လုပ်သူ၏ သတ်မှတ်ချက်များနှင့် လုပ်ဆောင်ချက်များကို တိကျမှု၊ တည်ငြိမ်မှုနှင့် တိကျမှုတို့နှင့် ကိုက်ညီကြောင်း သေချာစေနိုင်သည်။
စာတိုက်အချိန်- ဒီဇင်ဘာ-၂၈-၂၀၂၃