Wafer Processing Equipment ထုတ်ကုန်များအတွက် Granite စက်အောက်ခြေကို မည်သို့တပ်ဆင်၊ စမ်းသပ်ပြီး ချိန်ညှိရမည်နည်း

ဂရန်နိုက်စက်အောက်ခြေများကို ၎င်းတို့၏ မြင့်မားသော မာကျောမှု၊ တည်ငြိမ်မှုနှင့် တိကျမှုကဲ့သို့သော သာလွန်ကောင်းမွန်သော ဂုဏ်သတ္တိများကြောင့် ဝေဖာထုတ်လုပ်သည့် စက်ယန္တရားထုတ်ကုန်များတွင် တွင်ကျယ်စွာ အသုံးပြုကြသည်။ ဂရန်နိုက်စက်အောက်ခြေကို တပ်ဆင်ခြင်း၊ စမ်းသပ်ခြင်းနှင့် ချိန်ညှိခြင်းသည် အသေးစိတ်အချက်အလက်များ၊ တိကျမှုနှင့် တိကျမှုကို အလွန်အမင်း အာရုံစိုက်ရန် လိုအပ်သည့် အရေးကြီးသော လုပ်ငန်းစဉ်တစ်ခုဖြစ်သည်။ ဤဆောင်းပါးတွင်၊ ဝေဖာထုတ်လုပ်သည့် စက်ယန္တရားထုတ်ကုန်များအတွက် ဂရန်နိုက်စက်အောက်ခြေကို တပ်ဆင်ခြင်း၊ စမ်းသပ်ခြင်းနှင့် ချိန်ညှိခြင်း၏ အဆင့်ဆင့်လုပ်ငန်းစဉ်ကို ဆွေးနွေးပါမည်။

တပ်ဆင်ခြင်း

ပထမအဆင့်မှာ ဂရနိုက် မျက်နှာပြင်ပြား၊ အောက်ခံနှင့် တိုင်တို့ကို တပ်ဆင်ရန်အတွက် ပြင်ဆင်ရန်ဖြစ်သည်။ မျက်နှာပြင်အားလုံးသည် သန့်ရှင်းခြောက်သွေ့ပြီး အညစ်အကြေး၊ ဖုန်မှုန့် သို့မဟုတ် ဆီများ ကင်းစင်ကြောင်း သေချာပါစေ။ အခြေညှိတံများကို အောက်ခြေထဲသို့ ထည့်သွင်းပြီး မျက်နှာပြင်ပြားကို ၎င်းပေါ်တွင် တင်ပါ။ မျက်နှာပြင်ပြားသည် အလျားလိုက်နှင့် တပြေးညီဖြစ်နေစေရန် အခြေညှိတံများကို ချိန်ညှိပါ။ မျက်နှာပြင်ပြားသည် အောက်ခံနှင့် တိုင်နှင့် တပြေးညီဖြစ်ကြောင်း သေချာပါစေ။

ထို့နောက် တိုင်ကို အောက်ခြေတွင်တပ်ဆင်ပြီး ဘို့များဖြင့် လုံခြုံအောင်ထားပါ။ ထုတ်လုပ်သူ၏ အကြံပြုထားသော torque တန်ဖိုးအထိ ဘို့များကို တင်းကျပ်ရန် torque wrench ကို အသုံးပြုပါ။ တိုင်၏ အနိမ့်အမြင့်ကို စစ်ဆေးပြီး လိုအပ်ပါက leveling studs များကို ချိန်ညှိပါ။

နောက်ဆုံးအနေနဲ့ spindle assembly ကို column ရဲ့အပေါ်ဆုံးမှာတပ်ဆင်ပါ။ ထုတ်လုပ်သူက အကြံပြုထားတဲ့ torque တန်ဖိုးအတိုင်း bolts တွေကိုတင်းကျပ်ဖို့ torque wrench ကိုသုံးပါ။ spindle assembly ရဲ့ level ကိုစစ်ဆေးပြီး လိုအပ်ရင် leveling studs တွေကို ချိန်ညှိပါ။

စမ်းသပ်ခြင်း

စက်အောက်ခြေကို တပ်ဆင်ပြီးနောက်၊ နောက်တစ်ဆင့်မှာ ၎င်း၏ လုပ်ဆောင်နိုင်စွမ်းနှင့် တိကျမှုကို စမ်းသပ်ရန်ဖြစ်သည်။ ပါဝါထောက်ပံ့မှုကို ချိတ်ဆက်ပြီး စက်ကိုဖွင့်ပါ။ မော်တာများ၊ ဂီယာများ၊ ခါးပတ်များနှင့် ဝက်ဝံများကဲ့သို့သော အစိတ်အပိုင်းအားလုံးသည် ကောင်းမွန်စွာ လုပ်ဆောင်နေကြောင်းနှင့် မည်သည့် မူမမှန်မှုများ သို့မဟုတ် ပုံမှန်မဟုတ်သော ဆူညံသံများ မရှိကြောင်း သေချာပါစေ။

စက်၏တိကျမှုကိုစမ်းသပ်ရန်အတွက် spindle ၏ runout ကိုတိုင်းတာရန် precision dial indicator ကိုသုံးပါ။ dial indicator ကို surface plate ပေါ်တွင်တင်ပြီး spindle ကိုလှည့်ပါ။ အများဆုံးခွင့်ပြုထားသော runout သည် 0.002 mm ထက်နည်းသင့်သည်။ runout သည်ခွင့်ပြုထားသောကန့်သတ်ချက်ထက်ကြီးပါက leveling studs များကိုချိန်ညှိပြီး ထပ်မံစစ်ဆေးပါ။

ချိန်ညှိခြင်း

စံကိုက်ညှိခြင်းသည် စက်အခြေခံ၏ တိကျမှုနှင့် တိကျမှုကို သေချာစေရန် အရေးကြီးသော အဆင့်ဖြစ်သည်။ စံကိုက်ညှိခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်တွင် စက်သည် ထုတ်လုပ်သူ၏ သတ်မှတ်ချက်များနှင့် ကိုက်ညီကြောင်း သေချာစေရန် အမြန်နှုန်း၊ နေရာချထားမှုနှင့် တိကျမှုကဲ့သို့သော စက်၏ ကန့်သတ်ချက်များကို စမ်းသပ်ခြင်းနှင့် ချိန်ညှိခြင်းတို့ ပါဝင်သည်။

စက်ကို ချိန်ညှိရန်အတွက် လေဆာ interferometer၊ လေဆာ tracker သို့မဟုတ် ballbar ပါဝင်သော ချိန်ညှိကိရိယာတစ်ခု လိုအပ်မည်ဖြစ်သည်။ ဤကိရိယာများသည် စက်၏ ရွေ့လျားမှု၊ အနေအထားနှင့် alignment ကို မြင့်မားသောတိကျမှုဖြင့် တိုင်းတာသည်။

စက်၏ မျဉ်းဖြောင့်နှင့် ထောင့်ဝင်ရိုးများကို တိုင်းတာခြင်းဖြင့် စတင်ပါ။ သတ်မှတ်ထားသော အကွာအဝေး သို့မဟုတ် ထောင့်တစ်ခုအတွင်း စက်၏ ရွေ့လျားမှုနှင့် အနေအထားကို တိုင်းတာရန် ချိန်ညှိကိရိယာကို အသုံးပြုပါ။ တိုင်းတာထားသော တန်ဖိုးများကို ထုတ်လုပ်သူ၏ သတ်မှတ်ချက်များနှင့် နှိုင်းယှဉ်ပါ။ မည်သည့် သွေဖည်မှုမဆိုရှိပါက တိုင်းတာထားသော တန်ဖိုးများကို ခွင့်ပြုထားသော ကန့်သတ်ချက်များအတွင်း ရောက်ရှိစေရန် စက်၏ ကန့်သတ်ချက်များကို ချိန်ညှိပါ။

ထို့နောက် စက်၏ စက်ဝိုင်းပုံ interpolation function ကို စမ်းသပ်ပါ။ စက်ဝိုင်းပုံလမ်းကြောင်းတစ်ခု ဖန်တီးပြီး စက်၏ ရွေ့လျားမှုနှင့် အနေအထားကို တိုင်းတာရန် calibration tool ကို အသုံးပြုပါ။ ထပ်မံ၍ တိုင်းတာထားသော တန်ဖိုးများကို ထုတ်လုပ်သူ၏ သတ်မှတ်ချက်များနှင့် နှိုင်းယှဉ်ပြီး လိုအပ်ပါက parameters များကို ချိန်ညှိပါ။

နောက်ဆုံးအနေနဲ့ စက်ရဲ့ ထပ်ခါတလဲလဲ လုပ်ဆောင်နိုင်စွမ်းကို စမ်းသပ်ပါ။ သတ်မှတ်ထားတဲ့ကာလအတွင်း မတူညီသောနေရာတွေမှာ စက်ရဲ့တည်နေရာကို တိုင်းတာပါ။ တိုင်းတာထားတဲ့တန်ဖိုးတွေကို နှိုင်းယှဉ်ပြီး သွေဖည်မှုတွေ ရှိမရှိ စစ်ဆေးပါ။ သွေဖည်မှုတွေရှိရင် စက်ရဲ့ ကန့်သတ်ချက်တွေကို ချိန်ညှိပြီး စမ်းသပ်မှုကို ပြန်လုပ်ပါ။

နိဂုံးချုပ်

wafer လုပ်ဆောင်သည့် စက်ပစ္စည်းထုတ်ကုန်များအတွက် ဂရနိုက်စက်အခြေခံကို တပ်ဆင်ခြင်း၊ စမ်းသပ်ခြင်းနှင့် ချိန်ညှိခြင်းသည် စိတ်ရှည်ခြင်း၊ အသေးစိတ်အချက်အလက်များကို အာရုံစိုက်ခြင်းနှင့် တိကျမှုတို့ လိုအပ်သော အရေးကြီးသော လုပ်ငန်းစဉ်တစ်ခုဖြစ်သည်။ ဤအဆင့်များကို လိုက်နာခြင်းဖြင့် စက်သည် ထုတ်လုပ်သူ၏ သတ်မှတ်ချက်များနှင့် လုပ်ဆောင်ချက်များကို တိကျမှု၊ တည်ငြိမ်မှုနှင့် တိကျမှုတို့ဖြင့် ကိုက်ညီကြောင်း သေချာစေနိုင်သည်။

တိကျသော ဂရန်နိုက် 03


ပို့စ်တင်ချိန်: ၂၀၂၃ ခုနှစ်၊ ဒီဇင်ဘာလ ၂၈ ရက်