semiconductor wafer စစ်ဆေးခြင်းနယ်ပယ်တွင်၊ သန့်စင်ခန်းပတ်ဝန်းကျင်၏ သန့်ရှင်းမှုသည် ထုတ်ကုန်အထွက်နှုန်းနှင့် တိုက်ရိုက်သက်ဆိုင်သည်။ ချစ်ပ်ထုတ်လုပ်ရေး လုပ်ငန်းစဉ်များ၏ တိကျမှု ဆက်လက် တိုးတက်လာသည်နှင့်အမျှ၊ ထောက်လှမ်းကိရိယာများ သယ်ဆောင်သည့် ပလပ်ဖောင်းများအတွက် လိုအပ်ချက်များသည် ပိုမိုတင်းကျပ်လာသည်။ သတ္တုအိုင်းယွန်းထွက်ရှိမှု သုညနှင့် အမှုန်အမွှားညစ်ညမ်းမှုနည်းပါးသော သွင်ပြင်လက္ခဏာများဖြင့် Granite ပလပ်ဖောင်းများသည် သမားရိုးကျ သံမဏိပစ္စည်းများကို ကျော်လွန်ကာ wafer စစ်ဆေးရေးကိရိယာများအတွက် ဦးစားပေးဖြေရှင်းချက်ဖြစ်လာသည်။
Granite သည် quartz၊ feldspar နှင့် mica ကဲ့သို့သော သတ္တုမဟုတ်သော သတ္တုများဖြင့် အဓိကဖွဲ့စည်းထားသော သဘာဝမီးသင့်ကျောက်ဖြစ်သည်။ ဤသွင်ပြင်လက္ခဏာသည် သုညသတ္တုအိုင်းယွန်းထုတ်လွှတ်မှု၏အားသာချက်ကိုပေးသည်။ ဆန့်ကျင်ဘက်အားဖြင့်၊ သံ၊ ခရိုမီယမ်နှင့် နီကယ်ကဲ့သို့သော သတ္တုစပ်မျိုးဖြစ်သည့် သံမဏိသည် သန့်စင်ခန်းပတ်ဝန်းကျင်ရှိ ရေခိုးရေငွေ့နှင့် အက်စစ်ဓာတ် သို့မဟုတ် အယ်လ်ကာလိုင်းဓာတ်ငွေ့များ တိုက်စားမှုကြောင့် ၎င်း၏မျက်နှာပြင်ပေါ်ရှိ လျှပ်စစ်ဓာတုချေးတက်နိုင်ခြေရှိပြီး Fe²⁺ နှင့် Cr³⁺ ကဲ့သို့သော သတ္တုအိုင်းယွန်းများ မိုးရွာစေပါသည်။ ဤသေးငယ်သောအိုင်းယွန်းများသည် wafer ၏မျက်နှာပြင်သို့ ကပ်သွားသည်နှင့်တပြိုင်နက်၊ ၎င်းတို့သည် photolithography နှင့် etching ကဲ့သို့သော နောက်ဆက်တွဲလုပ်ငန်းစဉ်များတွင် semiconductor material ၏ လျှပ်စစ်ဂုဏ်သတ္တိများကို ပြောင်းလဲစေကာ transistor ၏ threshold voltage ပျံ့လွင့်မှုကို ဖြစ်စေကာ circuit အတွင်းရှိ short circuit များအထိပင် ဖြစ်စေသည်။ ပရော်ဖက်ရှင်နယ်အဖွဲ့အစည်း၏စမ်းသပ်မှုဒေတာက 1,000 နာရီကြာ သန့်ရှင်းသောအခန်းအပူချိန်နှင့် စိုထိုင်းဆပတ်ဝန်းကျင် (23±0.5℃, 45%±5% RH) နှင့် ထိတွေ့ပြီးနောက်၊ သတ္တုအိုင်းယွန်းများထုတ်လွှတ်မှုသည် ထောက်လှမ်းကန့်သတ်ချက် (< 0.1ppb) ထက် နည်းပါးသွားကြောင်း ပရော်ဖက်ရှင်နယ်အဖွဲ့အစည်း၏ စမ်းသပ်မှုဒေတာဖော်ပြသည်။ သံမဏိပလပ်ဖောင်းများကိုအသုံးပြုသောအခါသတ္တုအိုင်းယွန်းညစ်ညမ်းမှုကြောင့်ဖြစ်ပေါ်လာသော wafer များ၏ချို့ယွင်းမှုနှုန်းသည် 15% မှ 20% အထိမြင့်မားနိုင်သည်။
အမှုန်အမွှားများ ညစ်ညမ်းမှုထိန်းချုပ်မှုတွင်၊ ကျောက်တုံးပလပ်ဖောင်းများသည် အထူးကောင်းမွန်သည်။ သန့်စင်ခန်းများသည် လေထဲတွင် ဆိုင်းငံ့ထားသော အမှုန်အမွှားများ စုစည်းမှုအတွက် အလွန်မြင့်မားသော လိုအပ်ချက်များ ရှိသည်။ ဥပမာအားဖြင့်၊ ISO Class 1 သန့်စင်ခန်းများတွင်၊ တစ်ကုဗမီတာလျှင်ခွင့်ပြုထားသော 0.1μm အမှုန်အရေအတွက်သည် 10 ထက်မပိုပါ။ Stainless Steel ပလပ်ဖောင်းသည် ပွတ်တိုက်မှုပြုလုပ်ထားသော်လည်း၊ ကိရိယာ၏တုန်ခါမှုနှင့် ဝန်ထမ်းလုပ်ဆောင်မှုကို အနှောင့်အယှက်ဖြစ်စေနိုင်သည့် ပြင်ပအင်အားစုများဖြစ်သည့် ကိရိယာတုန်ခါမှုနှင့် ဝန်ထမ်းလည်ပတ်မှုကို အနှောင့်အယှက်ဖြစ်စေနိုင်သော သတ္တုအမှုန်အမွှားများ သို့မဟုတ် အောက်ဆိုဒ်စကေးများ ထွက်လာနိုင်ပါသည်။ ၎င်းတို့၏သိပ်သည်းသောသတ္တုဖွဲ့စည်းပုံ (≥2.7g/cm³) နှင့် မြင့်မားသော မာကျောမှု (Mohs စကေးတွင် 6-7) ရှိသော ဂရန်းနိုက်ပလပ်ဖောင်းများသည် ရေရှည်အသုံးပြုနေစဉ်အတွင်း ကွဲအက်ခြင်း သို့မဟုတ် ကွဲထွက်နိုင်ခြေမရှိပါ။ တိုင်းတာတိုင်းတာချက်များအရ ၎င်းတို့သည် စတီးလ်စတီးလ်ပလပ်ဖောင်းများနှင့် နှိုင်းယှဉ်ပါက ထောက်လှမ်းကိရိယာဧရိယာ၏ လေထုအတွင်းရှိ ဆိုင်းငံ့ထားသော အမှုန်အမွှားများ၏ အာရုံစူးစိုက်မှုကို 40% ထက် လျှော့ချနိုင်ပြီး cleanroom grade စံချိန်စံညွှန်းများကို ထိထိရောက်ရောက် ထိန်းသိမ်းထားနိုင်သည် ။
၎င်း၏သန့်ရှင်းသောဝိသေသလက္ခဏာများအပြင်၊ ကျောက်တုံးပလပ်ဖောင်းများ၏ ပြီးပြည့်စုံသောစွမ်းဆောင်ရည်မှာလည်း stainless steel ထက် များစွာသာလွန်ပါသည်။ အပူပိုင်းတည်ငြိမ်မှုအရ၊ ၎င်း၏အပူချဲ့ထွင်မှုကိန်းဂဏန်းသည် (4-8) ×10⁻⁶/℃ သာရှိပြီး၊ သန့်ရှင်းသောအခန်းရှိ အပူချိန်အတက်အကျရှိသောအခါတွင် ထောက်လှမ်းကိရိယာ၏တည်နေရာတိကျမှုကို ပိုမိုကောင်းမွန်စွာထိန်းသိမ်းထားနိုင်သည့် Stainless steel ထက်ဝက် (17×10⁻⁶/℃) ထက်နည်းပါသည်။ မြင့်မားသော စိုစွတ်ခြင်းလက္ခဏာ (damping ratio > 0.05) သည် ကိရိယာ၏တုန်ခါမှုကို လျင်မြန်စွာ လျော့ပါးစေပြီး ထောက်လှမ်းမှုဆိုင်ရာ စုံစမ်းစစ်ဆေးမှု တုန်ခါခြင်းမှ ကာကွယ်နိုင်သည်။ ၎င်း၏ သဘာဝ ချေးခံနိုင်ရည်သည် photoresist ပျော်ဝင်ရည်များ၊ သတ္တုစပ်ဓာတ်ငွေ့များနှင့် အခြား ဓာတုပစ္စည်းများနှင့် ထိတွေ့သောအခါတွင်ပင် ၎င်းအား ထပ်လောင်းသော အကာအကွယ်မလိုအပ်ဘဲ တည်ငြိမ်နေစေပါသည်။
လက်ရှိတွင်၊ အဆင့်မြင့် wafer ထုတ်လုပ်သည့် စက်ရုံများတွင် တွင်ကျယ်စွာ အသုံးပြုနေကြသော ကျောက်စိမ်းတုံးများ။ Granite Platform ကိုအသုံးပြုပြီးနောက်၊ wafer မျက်နှာပြင်အမှုန်အမွှားသိရှိနိုင်မှုနှုန်း 60% ကျဆင်းသွားခဲ့ပြီး စက်ကိရိယာများ ချိန်ညှိခြင်းစက်ဝန်းကို သုံးဆထပ်တိုးခဲ့ပြီး အလုံးစုံထုတ်လုပ်မှုကုန်ကျစရိတ်သည် 25% ကျဆင်းသွားကြောင်း ဒေတာဖော်ပြသည်။ ဆီမီးကွန်ဒတ်တာစက်မှုလုပ်ငန်းသည် ပိုမိုတိကျသောတိကျမှုဆီသို့ ရွေ့လျားလာသည်နှင့်အမျှ ကျောက်တုံးပလပ်ဖောင်းများသည် ၎င်းတို့၏အဓိကအားသာချက်များဖြစ်သည့် သုညသတ္တုအိုင်းယွန်းထုတ်လွှတ်မှုနှင့် အမှုန်အမွှားညစ်ညမ်းမှုတို့ကဲ့သို့သော ကျောက်စိမ်းပြားများသည် wafer စစ်ဆေးခြင်းအတွက် တည်ငြိမ်ပြီး ယုံကြည်စိတ်ချရသော ပံ့ပိုးမှုများကို ဆက်လက်ပံ့ပိုးပေးမည်ဖြစ်ပြီး၊ စက်မှုလုပ်ငန်းတိုးတက်မှုကို မောင်းနှင်ရန် အရေးကြီးသော တွန်းအားတစ်ခုဖြစ်လာမည်ဖြစ်သည်။
စာတိုက်အချိန်- မေ ၂၀-၂၀၂၅