semiconductor wafer grooving နယ်ပယ်တွင် တိကျမှုသည် အသက်သွေးကြောဖြစ်သည်။ ထူးခြားသောကျောက်တုံးအခြေခံသည် grooving ကိရိယာများ၏စွမ်းဆောင်ရည်တွင်အရည်အသွေးကောင်းမွန်မှုကိုဆောင်ကြဉ်းပေးနိုင်သည်။ အဘယ် "စူပါပါဝါ" သည် အမှန်တကယ် ဖုံးကွယ်ထားသနည်း။ မှန်ကန်သော granite base ကိုရွေးချယ်ခြင်းသည် လမ်းတစ်ဝက်တွင် အောင်မြင်သည်ဟု အဘယ်ကြောင့်ဆိုရသနည်း။ ဒီနေ့တော့ အဲဒါကို လေးလေးနက်နက် ပြောပြပေးပါမယ်။
I. မွေးရာပါ ခွန်အား- Granite ၏ "မွေးရာပါ အားသာချက်" သုံးမျိုး
ငလျင်ဒဏ်ခံနိုင်ရည်သည် Tai တောင်ကဲ့သို့တည်ငြိမ်သည်။
Granite သည် သိပ်သည်းဆ 2,800-3,100 kg/m³ အထိရှိပြီး ၎င်း၏ဖွဲ့စည်းပုံသည် "ကျောက်ခံတပ်" ကဲ့သို့သိပ်သည်းသည်။ wafer grooving ၏ ကြိမ်နှုန်းမြင့်သော တုန်ခါမှုပတ်ဝန်းကျင်တွင် (စက်ပစ္စည်းသည် တစ်မိနစ်လျှင် အကြိမ် 100 ကျော်သွားသည်)၊ ၎င်းသည် စက်ပစ္စည်းအား "shock-absorbing black technology" ဖြင့် တပ်ဆင်ထားသကဲ့သို့ တုန်ခါမှုစွမ်းအင် 90% ကျော်ကို စုပ်ယူနိုင်သည်။ အချို့သော ချစ်ပ်စက်ရုံမှ တိုင်းတာသည့် ဒေတာသည် ကနီကျောက်တုံးကို အသုံးပြုပြီးနောက်၊ ခုတ်ထစ်ဖြတ်စက်ခေါင်း၏ တုန်လှုပ်နေသော ပမာဏသည် 15μm မှ 3μm သို့ လျော့နည်းသွားပြီး၊ ထွင်းထုထားသော မိုက်ခရိုအစွန်းများ၏ အစွန်းများသည် မှန်ကဲ့သို့ ချောမွေ့နေပါသည်။
2. "အပူဒဏ်ခံနိုင်သော ဖွဲ့စည်းပုံအခြေခံဥပဒေ" အပူချိန်ကွာခြားချက်များကို မကြောက်ပါ။
သာမန်ပစ္စည်းများသည် အပူပေးသောအခါတွင် "ချဲ့ပြီး ပုံပျက်ခြင်း" နှင့် အအေးခံသောအခါ "ကျုံ့ပြီး ပုံပျက်ခြင်း"၊ သို့သော် သတ္တုများ၏ 1/5 သာရှိသော သတ္တုများ၏ 4-8 × 10⁻⁶/℃ ကဲ့သို့ နိမ့်ပါသည်။ အလုပ်ရုံရှိ အပူချိန်သည် 24 နာရီအတွင်း 10 ℃ သိသိသာသာ ပြောင်းလဲသွားသော်လည်း ၎င်း၏ ပုံသဏ္ဍာန်သည် 0.01 မီလီမီတာထက်နည်းပြီး လျစ်လျူရှုနိုင်လောက်ပါသည်။ ဆိုလိုသည်မှာ နေ့ရောညပါ လှည့်ပတ်ခြင်း သို့မဟုတ် စက်ကိရိယာများ၏ ကြာရှည်စွာ လည်ပတ်မှုနှင့် အပူထုတ်လုပ်ခြင်းတို့ကို မခွဲခြားဘဲ Granite Base သည် အထိုင်အနေအထားကို “မလှုပ်မယှက်” အချိန်တိုင်း ထိန်းသိမ်းထားနိုင်သည်ဟု ဆိုလိုသည်။
3. မပျက်စီးနိုင်သော ဝတ်ဆင်မှု ခုခံမှု
ကျောက်တုံးကျောက်တုံးများ၏ Mohs မာကျောမှုသည် 6 မှ 7 အထိရှိပြီး၊ ၎င်း၏ ခံနိုင်ရည်အားသည် သာမန်သံမဏိထက် သုံးဆဖြစ်သည်။ wafer grooving ၏ရေရှည်ကြိမ်နှုန်းမြင့်မားသောပွတ်တိုက်မှုအောက်တွင်၊ base ၏မျက်နှာပြင်သည် ဟောင်းနွမ်းသွားခြင်းမရှိပေ။ အချို့သော foundry မှ granite base များကိုငါးနှစ်ကြာအသုံးပြုပြီးနောက်၊ စစ်ဆေးပြီးနောက် ±0.5μm/m အတွင်း ချောမွေ့မှုကို ဆက်လက်ထိန်းသိမ်းထားကာ grooving တိကျမှုမှာ တသမတ်တည်းရှိနေသဖြင့် စက်ကိရိယာများ ချိန်ညှိခြင်းနှင့် အစားထိုးကုန်ကျစရိတ်များစွာကို သက်သာစေပါသည်။
ii. တိကျသော လိုက်လျောညီထွေဖြစ်အောင်ပြုလုပ်ခြင်း- Granite သည် မတူညီသော grooving လိုအပ်ချက်များကို မည်သို့ဖြည့်ဆည်းပေးသနည်း။
မြင်ကွင်း 1- အလွန်ကောင်းမွန်သော ဂယက်ရိုက်ခြင်း (10μm အောက်ရှိ မိုက်ခရိုအစွန်းများ)
လိုအပ်ချက်- အဆုံးစွန်သော ချောမွေ့မှု
Granite အားသာချက်များ- ငါးဝင်ရိုးချိတ်ဆက်မှု မြင့်မားသောတိကျမှုဖြင့်၊ ချောမွေ့မှုကို ±0.5μm/m အတွင်း ထိန်းချုပ်နိုင်သည်၊ ဆိုလိုသည်မှာ 1 မီတာအရှည်တွင်၊ အမြင့်အမှားသည် လူ့ဆံပင်ထက် အဆ 200 ပိုပါးပါသည်။ ဖြတ်စက်ခေါင်းနှင့် wafer အကြားအကွာအဝေးကို အမြဲတိကျသေချာစေပြီး၊ ထွင်းထုထားသည့် မိုက်ခရိုအချောင်းများ၏ အကျယ်သည် ±0.1μm ထက်မကျော်လွန်ကြောင်း သေချာပါစေ။
မြင်ကွင်း 2- မြန်နှုန်းမြင့် အစုလိုက်အပြုံလိုက် ထုတ်လုပ်မှုကို ဂယက်ရိုက်ခြင်း။
လိုအပ်ချက်- Super shock စုပ်ယူမှု စွမ်းဆောင်ရည်
Granite ၏ အားသာချက်များ- အတွင်းပိုင်းရှိ ၎င်း၏ သဘာဝအတိုင်း စိုစွတ်နေသော ဂုဏ်သတ္တိများသည် စက်ပစ္စည်းများ၏ တုန်ခါမှုကို လျင်မြန်စွာ လျော့ပါးစေနိုင်သည်။ အချို့သော panel စက်ရုံမှ granite base များကိုမိတ်ဆက်ပြီးနောက်၊ grooving speed သည် 40% တိုးလာပြီး အထွက်နှုန်းသည် 85% မှ 96% အထိ ခုန်တက်သွားပြီး ထုတ်လုပ်မှုထိရောက်မှုနှင့် အရည်အသွေး၏ နှစ်ဆသော ရိတ်သိမ်းမှုကို ရရှိခဲ့ပါသည်။
ရှုခင်း 3- ရှုပ်ထွေးသော ပတ်ဝန်းကျင်ကို စိမ့်ထွက်ခြင်း (အပူချိန်မြင့်မားခြင်း/ တိုက်စားမှု)
လိုအပ်ချက်များ- မြင့်မားသော အပူချိန်ခံနိုင်ရည်နှင့် ချေးခံနိုင်ရည်ရှိသည်။
Granite ၏အားသာချက်များ - အလွန်အားကောင်းသောဓာတုတည်ငြိမ်မှု၊ အက်ဆစ်နှင့်အယ်လကာလီချေးကိုခံနိုင်ရည်ရှိသည်။ ၎င်းတွင် အပူချဲ့ခြင်း၏နိမ့်ကျသောကိန်းဂဏန်းပါရှိပြီး လေဆာလိမ်းနေစဉ်အတွင်း ဒေသတွင်း မြင့်မားသောအပူချိန် (150 ℃) တွင်ပင် ပုံပျက်စေမည်မဟုတ်ပါ။ ဓာတ်ခွဲခန်းတစ်ခုတွင် အသုံးပြုထားသော ကျောက်တုံးကျောက်တုံးများကို သုံးနှစ်ဆက်တိုက် အသုံးပြုခဲ့ပြီး၊ အခြေခံမျက်နှာပြင်သည် နဂိုအတိုင်း ကျန်ရှိနေပါသည်။
iii. "စစ်မှန်သောအရည်အသွေးမြင့်" Granite Base ကိုဘယ်လိုရွေးချယ်မလဲ။
သိပ်သည်းဆကိုကြည့်ပါ- သိပ်သည်းဆ ≥2800kg/m³ ရှိသော Granite သည် ပိုမိုကျစ်လစ်သောဖွဲ့စည်းပုံရှိသည်။
လက်မှတ်များကို စစ်ဆေးပါ- အရည်အသွေးသေချာစေရန် ISO 9001 နှင့် CNAS ကဲ့သို့သော တရားဝင်အသိအမှတ်ပြုလက်မှတ်များကို အသိအမှတ်ပြုကြောင်း သေချာပါစေ။
အတည်ပြုခြင်းဒေတာ- အပူပိုင်းချဲ့ထွင်မှုကိန်းဂဏန်း (< 8×10⁻⁶/℃) နှင့် ပြားချပ်ချပ် (±0.5μm/m) ဆိုင်ရာ စမ်းသပ်အစီရင်ခံစာများကို ထုတ်လုပ်သူမှ လိုအပ်ပါသည်။
ဆိုက်တွင် စမ်းသပ်ခြင်း- အခြေခံကို တို့ပါ။ ပြတ်သားသော အသံသည် အတွင်း၌ အက်ကွဲကြောင်းများ မရှိကြောင်း ညွှန်ပြသည်။ ထိတွေ့မျက်နှာပြင်သည် မှန်ကဲ့သို့ ချောမွေ့ပါက၊ ၎င်းသည် မြင့်မားသော လုပ်ဆောင်မှုတိကျမှုကို ညွှန်ပြသည်။
နိဂုံး- မှန်ကန်သောကျောက်တုံးကိုရွေးချယ်ပြီး grooving တွင်တိုက်ပွဲတစ်ဝက်ကိုအနိုင်ရပါ။
တုန်ခါမှုခံနိုင်ရည်၊ ခံနိုင်ရည်ရှိရန် အပူဒဏ်ခံနိုင်ရည်မှ၊ ၎င်း၏ "သဘာဝအလှ" နှင့် "အမာခံခိုင်ခံ့မှု" နှင့်အတူ ကျောက်တုံးအခြေခံသည် wafer grooving ကိရိယာများအတွက် ရွှေရောင်မိတ်ဖက်ဖြစ်လာသည်။ နာနိုစကေးတိကျမှုကိုလိုက်စားသည့် ယနေ့ခေတ်တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်သည့်ခေတ်တွင်၊ အရည်အသွေးမြင့်ကျောက်တုံးအခြေခံသည် စက်ကိရိယာများတွင် ရင်းနှီးမြုပ်နှံရုံသာမက ထုတ်လုပ်မှုထိရောက်မှုနှင့် ထုတ်ကုန်အရည်အသွေးအတွက် ရေရှည်အာမခံချက်လည်းဖြစ်သည်။
တင်ချိန်- ဇွန်လ ၁၇-၂၀၂၅