ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ ချစ်ပ်ထုတ်လုပ်ခြင်းနှင့် တိကျသောအလင်းစစ်ဆေးခြင်းကဲ့သို့သော ဖြတ်တောက်သည့်နယ်ပယ်များတွင်၊ တိကျမှုမြင့်မားသောအာရုံခံကိရိယာများသည် သော့ဒေတာရယူရန်အတွက် အဓိကကိရိယာများဖြစ်သည်။ သို့သော်၊ ရှုပ်ထွေးသော လျှပ်စစ်သံလိုက်ပတ်ဝန်းကျင်များနှင့် မတည်မငြိမ်သော ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာအခြေအနေများသည် တိကျသောတိုင်းတာမှုအချက်အလက်များကို မကြာခဏဖြစ်ပေါ်စေပါသည်။ သံလိုက်မဟုတ်သော၊ အကာအရံမရှိသော ဂုဏ်သတ္တိများနှင့် အလွန်ကောင်းမွန်သော ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာတည်ငြိမ်မှုရှိသော Granite Base သည် အာရုံခံကိရိယာအတွက် ယုံကြည်စိတ်ချရသော တိုင်းတာမှုပတ်ဝန်းကျင်ကို တည်ဆောက်ပေးပါသည်။
သံလိုက်မဟုတ်သော သဘာဝသည် အနှောင့်အယှက်ဖြစ်စေသော အရင်းအမြစ်ကို ဖြတ်တောက်သည်။
inductive displacement အာရုံခံကိရိယာများနှင့် သံလိုက်စကေးစကေးများကဲ့သို့သော တိကျသောအာရုံခံကိရိယာများသည် သံလိုက်စက်ကွင်းရှိပြောင်းလဲမှုများအတွက် အလွန်အမင်းထိခိုက်လွယ်ပါသည်။ သမားရိုးကျ သတ္တုခြေစွပ်များ (သံမဏိနှင့် အလူမီနီယံ အလွိုင်းကဲ့သို့) တို့၏ မွေးရာပါ သံလိုက်ဓာတ်သည် အာရုံခံကိရိယာတစ်ဝိုက်တွင် အနှောင့်အယှက်ဖြစ်စေသော သံလိုက်စက်ကွင်းတစ်ခု ဖန်တီးပေးနိုင်သည်။ အာရုံခံကိရိယာလည်ပတ်နေချိန်တွင်၊ ပြင်ပမှဝင်ရောက်စွက်ဖက်သောသံလိုက်စက်ကွင်းသည် အတွင်းသံလိုက်စက်ကွင်းနှင့် အပြန်အလှန်အကျိုးသက်ရောက်ပြီး တိုင်းတာမှုဒေတာသွေဖည်မှုကို အလွယ်တကူဖြစ်စေနိုင်သည်။
Granite သည် သဘာဝ မီးသင့်ကျောက်အဖြစ် quartz၊ feldspar နှင့် mica ကဲ့သို့သော သတ္တုဓာတ်များဖြင့် ဖွဲ့စည်းထားသည်။ ၎င်း၏အတွင်းပိုင်းဖွဲ့စည်းပုံသည် သံလိုက်ဓာတ်လုံးဝမရှိကြောင်း ဆုံးဖြတ်သည်။ အမြစ်မှနေ၍ အောက်ခံ၏ သံလိုက်ဝင်ရောက်စွက်ဖက်မှုကို ဖယ်ရှားရန် Granite Base ပေါ်တွင် အာရုံခံကိရိယာကို တပ်ဆင်ပါ။ အီလက်ထရွန်အဏုကြည့်မှန်ပြောင်းများနှင့် နျူကလီးယားသံလိုက်ပဲ့တင်ရိုက်ခတ်မှုကဲ့သို့သော တိကျသောကိရိယာများတွင်၊ သံလိုက်လှိုင်းဖြတ်ခြင်းကြောင့်ဖြစ်ပေါ်လာသော တိုင်းတာမှုအမှားများကိုရှောင်ရှားရန် အာရုံခံကိရိယာသည် ပစ်မှတ်အရာဝတ္တု၏ သိမ်မွေ့သောပြောင်းလဲမှုများကို တိကျစွာဖမ်းယူနိုင်စေရန် ဂရန်နီအခြေစိုက်စခန်းမှ သေချာစေသည်။
ဖွဲ့စည်းတည်ဆောက်ပုံသွင်ပြင်လက္ခဏာများကို လျှပ်စစ်သံလိုက်အကာအကွယ်ဖြင့် ပေါင်းစပ်ထားသည်။
Granite သည် သတ္တုများကဲ့သို့ လျှပ်ကူးနိုင်သော အကာအရံများ မပါရှိသော်လည်း ၎င်း၏ထူးခြားသော ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာဖွဲ့စည်းပုံသည် လျှပ်စစ်သံလိုက်ဝင်ရောက်မှုကို အားနည်းသွားစေနိုင်သည်။ Granite သည် texture တွင်မာကျောပြီးဖွဲ့စည်းပုံတွင်သိပ်သည်းသည်။ သတ္တုပုံဆောင်ခဲများ၏ ယှက်နွယ်နေသော အစီအစဉ်သည် ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာ အတားအဆီးတစ်ခု ဖြစ်လာသည်။ ပြင်ပလျှပ်စစ်သံလိုက်လှိုင်းများသည် အခြေခံသို့ပြန့်ပွားသောအခါ၊ စွမ်းအင်၏တစ်စိတ်တစ်ပိုင်းကို ပုံဆောင်ခဲမှစုပ်ယူကာ အပူစွမ်းအင်အဖြစ်သို့ ပြောင်းလဲကာ အစိတ်အပိုင်းသည် ကြည်လင်သောမျက်နှာပြင်ပေါ်တွင် ပြန့်ကျဲနေသဖြင့် အာရုံခံဆီရောက်ရှိသည့် လျှပ်စစ်သံလိုက်လှိုင်းများ၏ ပြင်းထန်မှုကို လျှော့ချပေးသည်။
လက်တွေ့အသုံးချမှုတွင်၊ ပေါင်းစပ်ဖွဲ့စည်းပုံများပြုလုပ်ရန် သတ္တုအကာအရံများကို သတ္တုအကာအရံများဖြင့် မကြာခဏ ပေါင်းစပ်ထားသည်။ သတ္တုကွက်သည် ကြိမ်နှုန်းမြင့်လျှပ်စစ်သံလိုက်လှိုင်းများကို ပိတ်ဆို့ကာ၊ ကျောက်တုံးသည် တည်ငြိမ်သော ပံ့ပိုးမှုပေးနေစဉ် ကျန်ရှိသော အနှောင့်အယှက်များကို ပိုမိုအားနည်းစေသည်။ ကြိမ်နှုန်းပြောင်းစက်များနှင့် မော်တာများဖြင့် ပြည့်နေသော စက်မှုအလုပ်ရုံများတွင်၊ ဤပေါင်းစပ်မှုသည် အာရုံခံကိရိယာများကို အားကောင်းသော လျှပ်စစ်သံလိုက်ပတ်ဝန်းကျင်တွင်ပင် တည်ငြိမ်စွာလည်ပတ်နိုင်စေပါသည်။
ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာ ဂုဏ်သတ္တိများကို တည်ငြိမ်စေပြီး တိုင်းတာမှုဆိုင်ရာ ယုံကြည်စိတ်ချရမှုကို မြှင့်တင်ပါ။
Granite ၏အပူချဲ့ခြင်း၏ကိန်းဂဏန်းသည် အလွန်နည်းသည် (4-8)×10⁻⁶/℃) ရှိပြီး အပူချိန်အတက်အကျရှိသောအခါတွင် ၎င်း၏အရွယ်အစားသည် အနည်းငယ်သာပြောင်းလဲကာ အာရုံခံတပ်ဆင်မှုအနေအထား၏တည်ငြိမ်မှုကိုသေချာစေသည်။ ၎င်း၏ကောင်းမွန်သော စိုစွတ်မှုစွမ်းဆောင်ရည်သည် ပတ်ဝန်းကျင်တုန်ခါမှုများကို လျင်မြန်စွာ စုပ်ယူနိုင်ပြီး တိုင်းတာမှုအပေါ် စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ အနှောင့်အယှက်များ၏ လွှမ်းမိုးမှုကို လျှော့ချနိုင်သည်။ တိကျသော optical တိုင်းတာမှုတွင်၊ Granite Base သည် အပူပုံသဏ္ဍာန်နှင့် တုန်ခါမှုတို့ကြောင့် ဖြစ်ပေါ်လာသော optical path offset ကို တားဆီးနိုင်ပြီး၊ တိုင်းတာမှုဒေတာများ၏ တိကျမှုနှင့် ထပ်တလဲလဲဖြစ်နိုင်မှုကို သေချာစေသည်။
ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ wafer အထူသိရှိခြင်း၏အခြေအနေတွင်၊ အချို့သောလုပ်ငန်းတစ်ခုသည် granite base ကိုလက်ခံပြီးနောက်၊ တိုင်းတာမှုအမှားသည် ±5μmမှ ±1μmအတွင်းသို့လျော့နည်းသွားသည်။ အာကာသယာဉ်အစိတ်အပိုင်းများ၏ ပုံစံနှင့် အနေအထားကို ခံနိုင်ရည်ရှိမှု စစ်ဆေးခြင်းတွင်၊ ကျောက်တုံးအခြေခံကို အသုံးပြု၍ တိုင်းတာသည့်စနစ်သည် ဒေတာပြန်ယူနိုင်မှုကို 30% ထက် ပိုမိုတိုးတက်စေသည်။ ဤကိစ္စများတွင် ကျောက်စိမ်းတုံးသည် လျှပ်စစ်သံလိုက်ဝင်ရောက်စွက်ဖက်မှုကိုဖယ်ရှားပြီး ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာပတ်ဝန်းကျင်ကို တည်ငြိမ်စေခြင်းဖြင့် မြင့်မားသောတိကျသောအာရုံခံကိရိယာများ၏ တိုင်းတာမှုယုံကြည်စိတ်ချရမှုကို သိသာထင်ရှားစွာ မြှင့်တင်ပေးကြောင်း အပြည့်အဝသက်သေပြပြီး ၎င်းသည် ခေတ်မီတိကျစွာတိုင်းတာမှုနယ်ပယ်တွင် မရှိမဖြစ်လိုအပ်သော အဓိကအစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်လာသည်။
စာတိုက်အချိန်- မေ ၂၀-၂၀၂၅