အလွန်တိကျသော အားကစား မော်ဂျူး၏ ကျောက်တုံး တိကျမှု အခြေခံအတွက် ပတ်ဝန်းကျင် လိုက်လျောညီထွေမှု လမ်းညွှန်။

အဆင့်မြင့်ကုန်ထုတ်လုပ်မှုနှင့် ခေတ်မီသိပ္ပံနည်းကျသုတေသနနယ်ပယ်တွင်၊ လေမျှော၏အလွန်တိကျသောရွေ့လျားမှု module သည် ကောင်းမွန်သောလည်ပတ်မှုနှင့်တိုင်းတာမှုများအတွက် အဓိကကိရိယာတစ်ခုဖြစ်လာသည်။ Granite တိကျမှုအခြေခံသည် ပံ့ပိုးမှု core အဖြစ်၊ လုပ်ငန်းခွင်ပတ်ဝန်းကျင်အတွက် တင်းကျပ်သောလိုအပ်ချက်များရှိပြီး သင့်လျော်သောပတ်ဝန်းကျင်အခြေအနေများသည် ၎င်း၏တည်ငြိမ်သောစွမ်းဆောင်ရည်နှင့် အကောင်းဆုံးအကျိုးသက်ရောက်မှုကိုသေချာစေရန်အခြေခံဖြစ်သည်။

ပထမအချက်၊ အပူချိန်ထိန်းချုပ်မှု- တိကျသော "တည်ငြိမ်မှု"
Granite သည် ၎င်း၏တည်ငြိမ်မှုအတွက် လူသိများသော်လည်း အပူချိန်ပြောင်းလဲမှုများကို လုံးလုံးလျားလျား ခုခံနိုင်စွမ်းမရှိပါ။ ၎င်း၏အပူချဲ့ထွင်မှုကိန်းဂဏန်းသည် နည်းပါးသော်လည်း ယေဘုယျအားဖြင့် 5-7 ×10⁻⁶/℃၊ အလွန်တိကျသောရွေ့လျားမှုထိန်းချုပ်မှုအခြေအနေများတွင်၊ သိမ်မွေ့သောအပူချိန်အတက်အကျများသည် အတိုင်းအတာပြောင်းလဲမှုများကိုဖြစ်ပေါ်စေပြီး မော်ဂျူးတိကျမှုကို ထိခိုက်စေနိုင်ပါသည်။ ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ ချစ်ပ်ပြားထုတ်လုပ်သည့်အလုပ်ရုံတွင်၊ lithography လုပ်ငန်းစဉ်သည် danami အဆင့်နေရာချထားမှု တိကျမှုလိုအပ်ပြီး ပတ်ဝန်းကျင်အပူချိန်သည် 1°C ဖြင့် အတက်အကျဖြစ်ပြီး ဘေးဘက်အလျား 1 မီတာရှိသော granite base သည် linear expansion သို့မဟုတ် 5-7 microns ၏ ကျုံ့သွားနိုင်သည်။ ဤသေးငယ်သောပြောင်းလဲမှုသည် ချစ်ပ်ပြားပုံသဏ္ဍာန်ပုံစံသွေဖည်သွားစေရန်နှင့် အထွက်နှုန်းကို အလွန်လျှော့ချရန် လုံလောက်သော လေမျှော၏အလွန်တိကျသောရွေ့လျားမှု module မှပေးပို့ပါသည်။ ထို့ကြောင့်၊ လေပေါ်ရေပေါ်အလွန်တိကျသောလှုပ်ရှားမှု module ၏ granite တိကျမှုအခြေခံကိုတပ်ဆင်ထားပြီး၊ စံပြအလုပ်ပတ်ဝန်းကျင်အပူချိန်ကို 20°C ±1°C တွင်ထိန်းချုပ်ထားသင့်သည်၊ ပုံမှန်အပူချိန်နှင့် စိုထိုင်းဆများသောလေအေးပေးစက်စနစ်ကဲ့သို့သော အဆက်မပြတ်အပူချိန်နှင့် စိုထိုင်းဆများသောလေအေးပေးစက်စနစ်ကဲ့သို့သော တိကျသောအပူချိန်နှင့် စိုထိုင်းဆများသောလေအေးပေးစက်စနစ်၊ ပတ်ဝန်းကျင်အပူချိန်ကို စဉ်ဆက်မပြတ်စောင့်ကြည့်ခြင်းနှင့် ချိန်ညှိခြင်း၊ မြင့်မားသောလုပ်ဆောင်မှုအတိုင်းအတာကို သေချာစေရန် သေးငယ်သောပမာဏအတွင်း အပူချိန်အတက်အကျများကို သေချာစေရန်၊
ဒုတိယ၊ စိုထိုင်းဆစီမံခန့်ခွဲမှု- အစိုဓာတ်ကာကွယ်မှု "ကျောက်" ၏သော့ချက်။
စိုထိုင်းဆသည် တိကျသော Granite Base ၏ စွမ်းဆောင်ရည်ကို ထိခိုက်စေသော အခြားအရေးကြီးသောအချက်ဖြစ်သည်။ မြင့်မားသောစိုစွတ်သောပတ်ဝန်းကျင်တွင်၊ ကျောက်စိမ်းသည် ရေခိုးရေငွေ့များကို အလွယ်တကူစုပ်ယူနိုင်သောကြောင့် မျက်နှာပြင်ပေါ်တွင် ငွေ့ရည်ဖွဲ့မှုကိုဖြစ်ပေါ်စေနိုင်သည်၊ ၎င်းသည် granite ၏ချိတ်ဆက်မှုတည်ငြိမ်မှုကိုသာမက လေ float ၏အလွန်တိကျသောရွေ့လျားမှု module ကိုထိခိုက်စေရုံသာမက မျက်နှာပြင်ကိုတိုက်စားမှုဖြစ်စေနိုင်ပြီး ရေရှည်တွင်တောက်ပမှုနှင့်တိကျမှုကိုလျှော့ချနိုင်သည်။ မှန်ဘီလူးကြိတ်ခြင်းအလုပ်ရုံတွင်၊ စိုထိုင်းဆ 60% RH ထက်များနေပါက အချိန်အတော်ကြာလျှင် ကျောက်တုံးအောက်ခြေ၏ မျက်နှာပြင်ပေါ်ရှိ ရေခိုးငွေ့များသည် ဓာတ်ငွေ့မျှော့ဆလိုက်ဒါ၏ ရွေ့လျားမှုကို အနှောင့်အယှက်ဖြစ်စေသောကြောင့် မှန်ဘီလူးကြိတ်ခွဲမှု တိကျမှု လျော့နည်းကာ မျက်နှာပြင် ချို့ယွင်းသွားမည်ဖြစ်သည်။ ထို့ကြောင့်၊ လုပ်ငန်းခွင်ပတ်ဝန်းကျင်၏ နှိုင်းရစိုထိုင်းဆကို 40% မှ 60%RH အကြား တင်းကြပ်စွာ ထိန်းချုပ်ထားသင့်ပြီး စိုထိုင်းဆမြင့်မားမှုကြောင့် granite base ကို ထိခိုက်မှုမဖြစ်စေရန် dehumidifier များ၊ စိုထိုင်းဆအာရုံခံကိရိယာများနှင့် အခြားကိရိယာများကို တပ်ဆင်ခြင်းဖြင့် အချိန်နှင့်တပြေးညီ စောင့်ကြည့်ချိန်ညှိနိုင်စေကာ မြင့်မားသော စိုထိုင်းဆကြောင့် granite base ကို ထိခိုက်မှုမရှိစေရန်နှင့် air float ၏ ultra-precision motion module ၏ ချောမွေ့စွာလည်ပတ်မှုကို သေချာစေသည်။
တတိယ၊ သန့်ရှင်းမှုအာမခံချက်- တိကျမှု၏ "အုပ်ထိန်းသူ"
လေလွင့်ခြင်း၏ အလွန်တိကျသော ရွေ့လျားမှု module ၏ တိကျသော granite အခြေစိုက်စခန်းသို့ ဖုန်မှုန့်များ၏ အန္တရာယ်ကို လျှော့တွက်၍မရပါ။ သေးငယ်သောအမှုန်အမွှားများသည် ဓာတ်ငွေ့ဖလော်ဆလိုက်ဒါနှင့် ကျောက်တုံးအောက်ခြေကြားရှိ ဓာတ်ငွေ့ဖလင်ကွာဟချက်သို့ ရောက်ရှိလာသည်နှင့်အမျှ ၎င်းတို့သည် ဓာတ်ငွေ့ဖလင်၏ တစ်ပြေးညီညီညွှတ်မှုကို ပျက်ပြားစေကာ ပွတ်တိုက်မှုကို တိုးလာစေကာ အောက်ခံမျက်နှာပြင်ကို ခြစ်မိစေကာ လှုပ်ရှားမှု တိကျမှုကို လျော့နည်းစေသည်။ အာကာသယာဉ်အစိတ်အပိုင်းများ၏ အလွန်တိကျသော စက်ယန္တရားအလုပ်ရုံတွင်၊ လေထုအတွင်းရှိ ဖုန်မှုန့်အမှုန်အမွှားများသည် ဂရန်းနစ်ခြေရင်းပေါ်သို့ ကျရောက်ပါက စက်ယန္တရားကိရိယာ၏ ရွေ့လျားမှုလမ်းကြောင်းသည် သွေဖည်သွားနိုင်ပြီး အစိတ်အပိုင်းများ၏ စက်ပိုင်းဆိုင်ရာတိကျမှုကို ထိခိုက်စေပါသည်။ ထို့ကြောင့် လုပ်ငန်းခွင်ဧရိယာသည် သန့်ရှင်းမှုစံနှုန်း 10,000 သို့မဟုတ် ပိုမိုမြင့်မားသော သန့်ရှင်းမှုစံနှုန်းများဖြစ်သည့် မြင့်မားသောထိရောက်မှုရှိသောလေစစ်(HEPA)၊ လေထုအတွင်းရှိ ဖုန်မှုန့်များကို စစ်ထုတ်ခြင်းကဲ့သို့သော လေသန့်စင်ကိရိယာများ တပ်ဆင်ခြင်းဖြင့် တစ်ချိန်တည်းတွင် ဝန်ထမ်းများသည် ဖုန်မှုန့်ကင်းစင်သော အဝတ်အစားများ၊ ဖိနပ်အကာများ ဝတ်ဆင်ရန် လိုအပ်ပါသည်။ granite အခြေစိုက်စခန်းနှင့် air float ultra-precision motion module ၏ မြင့်မားသောတိကျသောလည်ပတ်မှုပတ်ဝန်းကျင်ကို ထိန်းသိမ်းပါ။

လေးခု၊ တုန်ခါမှု အထီးကျန်ခြင်း- "shock pad" ၏ ချောမွေ့သောလုပ်ဆောင်ချက်
ပြင်ပတုန်ခါမှုသည် လေပျံ၏ အလွန်တိကျသော လှုပ်ရှားမှု module ၏ တိကျမှု၏ ရန်သူဖြစ်သည်။ တိကျသော Granite Base သည် တုန်ခါမှုလျှော့ချနိုင်စွမ်းရှိသော်လည်း စွမ်းအားမြင့်တုန်ခါမှုသည် ၎င်း၏ကြားခံကန့်သတ်ချက်ကို ချိုးဖျက်နေဆဲဖြစ်သည်။ စက်ရုံပတ်ပတ်လည် အသွားအလာနှင့် ကြီးမားသော စက်ကိရိယာများ၏ လည်ပတ်မှုမှ ထုတ်ပေးသော တုန်ခါမှုသည် မြေပြင်မှတဆင့် ဂရန်းနစ်အခြေစိုက်စခန်းသို့ ပို့လွှတ်ကာ လေပေါ်တွင် မျှော့၏ အလွန်တိကျသော ရွေ့လျားမှု module ၏ ရွေ့လျားမှုတိကျမှုကို အနှောင့်အယှက်ဖြစ်စေသည်။ အဆင့်မြင့် CMM တွင်၊ တုန်ခါမှုသည် တိုင်းတာခြင်းဆိုင်ရာ ပလေယာနှင့် တိုင်းတာမှုအပိုင်းအကြား မတည်မငြိမ်ဖြစ်စေပြီး တိုင်းတာမှုဒေတာကို သွေဖည်သွားစေနိုင်သည်။ ဤပြဿနာကိုဖြေရှင်းရန်အတွက်၊ စက်ကိရိယာတပ်ဆင်ဧရိယာတွင်တုန်ခါမှုအထီးကျန်အကန့်များချထားခြင်း၊ တုန်ခါမှုအထီးကျန်အခြေခံအုတ်မြစ်ကိုတည်ဆောက်ခြင်း သို့မဟုတ် ပြင်ပတုန်ခါမှုကိုတက်ကြွစွာနှိမ်နှင်းရန်အတွက်တက်ကြွသောတုန်ခါမှုအထီးကျန်စနစ်အသုံးပြုခြင်းကဲ့သို့သောထိရောက်သောတုန်ခါမှုအထီးကျန်မှုအစီအမံများကိုချမှတ်ရန်လိုအပ်ပြီး granite တိကျမှုအခြေခံနှင့် air float ultra-precision motion module အတွက်တိတ်ဆိတ်ပြီးတည်ငြိမ်သောအလုပ်ပတ်ဝန်းကျင်ကိုဖန်တီးရန်လိုအပ်သည်။
အပူချိန်၊ စိုထိုင်းဆ၊ သန့်ရှင်းမှုနှင့် တုန်ခါမှုထိန်းချုပ်မှု၏ ပတ်ဝန်းကျင်လိုအပ်ချက်များကို ပြည့်ပြည့်စုံစုံဖြည့်ဆည်းပေးခြင်းဖြင့်သာ၊ လေမျှော၏အလွန်တိကျသောလှုပ်ရှားမှု module ၏ granite တိကျမှုအခြေခံသည် ၎င်း၏စွမ်းဆောင်ရည်အားသာချက်များကိုအပြည့်အဝပေးစွမ်းနိုင်ပြီး နယ်ပယ်အသီးသီးတွင် အလွန်တိကျသောလုပ်ဆောင်မှုများအတွက် ယုံကြည်စိတ်ချရသောအာမခံချက်ပေးကာ စက်မှုလုပ်ငန်းအား ပိုမိုတိကျသောထုတ်လုပ်မှုနှင့် သိပ္ပံနည်းကျသုတေသနအဆင့်သို့ ရွေ့ပြောင်းရန် ကူညီပေးပါသည်။