ကျောက်တုံးအခြေခံကို အင်ဂျင်နီယာခြင်း- ဂရက်နိုက်အခြေခံများ၊ မျက်နှာပြင်ပြားများနှင့် ပစ္စည်းရွေးချယ်မှုဆိုင်ရာ ပြည့်စုံသောလမ်းညွှန်

sub-micron တိကျမှုကို လိုက်စားရာတွင် စက်မှုလုပ်ငန်းလောကသည် သံသွန်း၏ မတည်ငြိမ်သော သဘောသဘာဝမှ ဂရနိုက်၏ ဘူမိဗေဒဆိုင်ရာ တည်ငြိမ်မှုဆီသို့ အများအားဖြင့် ရွေ့လျားလာခဲ့သည်။ သို့သော်၊ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း၊ လေဆာနှင့် အာကာသ ကဏ္ဍများတွင် တိကျမှုလိုအပ်ချက်များ ပိုမိုတင်းကျပ်လာသည်နှင့်အမျှ ဂရနိုက်အသုံးချမှုအပေါ် အခြေခံနားလည်မှုသည် ယခင်ကထက် ပိုမိုအရေးကြီးလာပါသည်။ ZHHIMG တွင်၊ အင်ဂျင်နီယာများစွာသည် အဓိကဆုံးဖြတ်ချက်နှစ်ခုနှင့် ရုန်းကန်နေရသည်ကို ကျွန်ုပ်တို့တွေ့ရှိရသည်- စံမျက်နှာပြင်ပြားနှင့် ဖွဲ့စည်းတည်ဆောက်ပုံ ဂရနိုက်အခြေခံကို ခွဲခြားခြင်းနှင့် မှန်ကန်သော သတ္တုဖွဲ့စည်းမှုကို ရွေးချယ်ခြင်း - အထူးသဖြင့် အနက်ရောင်နှင့် ပန်းရောင်ဂရနိုက်တို့အကြား အငြင်းပွားမှု။

ဖွဲ့စည်းပုံဆိုင်ရာ တည်တံ့မှု- ဂရနိုက်အောက်ခံနှင့် မျက်နှာပြင်ပြားကို နှိုင်းယှဉ်ခြင်း

တစ်ချက်ကြည့်လိုက်ရင် ဂရနိုက်မျက်နှာပြင်ပြားတစ်ခုနဲ့ဂရနိုက်စက်အောက်ခြေတူညီပုံပေါ်နိုင်သည်။ နှစ်ခုစလုံးသည် လေးလံပြီး မှောင်မိုက်ကာ အလွန်အမင်းပြားချပ်ချပ်ဖြစ်သည်။ သို့သော် ၎င်းတို့၏ အင်ဂျင်နီယာရည်ရွယ်ချက်နှင့် ဝန်ထုပ်ဝန်ပိုးပရိုဖိုင်များသည် အလွန်ကွာခြားပါသည်။

ဂရန်နိုက် မျက်နှာပြင်ပြားကို passive reference plane အဖြစ် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသည်။ ၎င်း၏ အဓိကတာဝန်မှာ စစ်ဆေးရေးကိရိယာများနှင့် လက်စွဲတိုင်းတာမှုအတွက် "တကယ့်ပြားချပ်ချပ်" မျက်နှာပြင်တစ်ခု ပံ့ပိုးပေးရန်ဖြစ်သည်။ သည်းခံနိုင်စွမ်းကို အပေါ်ယံမျက်နှာပြင်ဖြင့်သာ ထိန်းချုပ်ထားသည်။ ဆန့်ကျင်ဘက်အားဖြင့် ဂရန်နိုက် စက်အောက်ခြေသည် တက်ကြွသောဖွဲ့စည်းပုံဆိုင်ရာ အစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်သည်။ ၎င်းသည် မြန်နှုန်းမြင့် CNC များ၊ Coordinate Measuring Machines (CMMs) သို့မဟုတ် lithography စက်ပစ္စည်းများအတွက် ကိုယ်ထည်အဖြစ် ဆောင်ရွက်သည်။

ဂရန်နိုက်အခြေခံ၏ အင်ဂျင်နီယာပညာတွင် မျက်နှာပြင်ပြားတစ်ခု ရှားရှားပါးပါးသာ ကြုံတွေ့ရလေ့ရှိသော ရှုပ်ထွေးသော အတွင်းပိုင်းထည့်သွင်းစဉ်းစားမှုများ ပါဝင်သည်။ ဤအခြေခံများတွင် ဝါယာကြိုးများအတွက် နက်ရှိုင်းစွာတူးထားသော ပြွန်များ၊ လေဝင်လေထွက်အတွက် တိကျစွာ ဖုံးအုပ်ထားသော လမ်းညွှန်လမ်းများနှင့် သိသာထင်ရှားသော ဒိုင်းနမစ်ဝန်များကို ခံနိုင်ရည်ရှိရမည့် ချည်မျှင်သံမဏိထည့်သွင်းမှုများ ပါရှိလေ့ရှိသည်။ မျက်နှာပြင်ပြားတစ်ခုကို မျက်နှာပြင်တစ်လျှောက် ၎င်း၏ပြားချပ်ချပ်ဖြင့် တိုင်းတာသော်လည်း၊ ဂရန်နိုက်အခြေခံကို ၎င်း၏ မာကျောမှုနှင့် အလေးချိန်အချိုးနှင့် ရွေ့လျားနေသော ဂိတ်များနှင့် ခါးပတ်များ၏ အလေးချိန်အောက်တွင် ဂျီဩမေတြီချိန်ညှိမှုကို ထိန်းသိမ်းနိုင်စွမ်းတို့အတွက် အကဲဖြတ်ရမည်ဖြစ်သည်။

အရောင်၏သိပ္ပံပညာ- အနက်ရောင်ကျောက်နှင့် ပန်းရောင်ကျောက်

ကျွန်ုပ်တို့လက်ခံရရှိသော မကြာခဏဆုံး နည်းပညာဆိုင်ရာ မေးမြန်းမှုများထဲမှ တစ်ခုမှာ အနက်ရောင်နှင့် ပန်းရောင်ဂရန်နိုက်တို့အကြား သတ္တုဗေဒဆိုင်ရာ ကွာခြားချက်များနှင့် သက်ဆိုင်ပါသည်။ အလှအပဆိုင်ရာ ဦးစားပေးမှုများ ရှိနေသော်လည်း၊ ရွေးချယ်မှုမှာတိကျသောစက်အစိတ်အပိုင်းများရူပဗေဒဖြင့် တင်းကြပ်စွာ မောင်းနှင်ထားသည်။

ZHHIMG မှ အသုံးပြုသော Jinan Black ကဲ့သို့သော အနက်ရောင်ကျောက်သည် နည်းပညာအရ gabbro သို့မဟုတ် diabase ဖြစ်သည်။ ၎င်း၏ သိပ်သည်းဆမြင့်မားခြင်းနှင့် အလွန်သေးငယ်သော ပုံဆောင်ခဲဖွဲ့စည်းပုံဖြင့် သွင်ပြင်လက္ခဏာရှိသည်။ မက်ထရိုလိုဂျီရှုထောင့်မှကြည့်လျှင် အနက်ရောင်ကျောက်သည် ရေစုပ်ယူမှု သိသိသာသာနည်းပါးခြင်းနှင့် မော်ဂျူးလပ်စ် ပိုမိုမြင့်မားခြင်းကြောင့် သာလွန်ကောင်းမွန်သည်။ ဤသိပ်သည်းဆသည် ပိုမိုကောင်းမွန်သော အတိုင်းအတာတည်ငြိမ်မှုအဖြစ် တိုက်ရိုက်ပြောင်းလဲသွားပြီး စက်ရုံတစ်ခုတွင် စိုထိုင်းဆအဆင့် အတက်အကျရှိသောအခါ "အသက်ရှူ" ခြင်း သို့မဟုတ် ကွေးညွှတ်ခြင်းဖြစ်နိုင်ခြေ နည်းပါးသည်။

ဆန့်ကျင်ဘက်အနေနဲ့ ပန်းရောင်ဂရန်နိုက်မှာ ကွာ့ဇ်နဲ့ အစေ့ကြီးပိုတက်ရှ် ဖယ်ဒ်စပါ ပါဝင်မှု ရာခိုင်နှုန်း မြင့်မားလေ့ရှိပါတယ်။ ပန်းရောင်ဂရန်နိုက်ဟာ အလွန်မာကျောပေမယ့် - တစ်ခါတစ်ရံမှာ အနက်ရောင်ဂရန်နိုက်ထက် ပိုမာကျောပေမယ့် - ပိုကြွပ်ဆတ်ပြီး ပုံဆောင်ခဲတွေရဲ့ အနားသတ်တွေမှာ "အလွှာလိုက်ကွာကျ" လွယ်ပါတယ်။ အစေ့အရွယ်အစား ကြီးတာက လေဝင်လေထွက်ကောင်းတဲ့ မျက်နှာပြင်တွေအတွက် လိုအပ်တဲ့ အလွန်ချောမွေ့တဲ့ မှန်လို အပြီးသတ်မှုကို ရဖို့ ပိုခက်ခဲစေနိုင်ပါတယ်။

ထို့အပြင်၊ အနက်ရောင်ဂရနိုက်သည် တုန်ခါမှုကို လျော့ချပေးသည့်ကိန်း ပိုမိုမြင့်မားလေ့ရှိသည်။ မြန်နှုန်းမြင့်စက်ယန္တရားများတွင်၊ အခြေခံ၏ သဟဇာတဖြစ်သောကြိမ်နှုန်းများကို စုပ်ယူနိုင်စွမ်းသည် ငြင်းပယ်ခံရသော အစိတ်အပိုင်းနှင့် ပြီးပြည့်စုံသော အပြီးသတ်မှုကြား ကွာခြားချက်ဖြစ်သည်။ တိကျမှုမြင့်မားသော စက်အစိတ်အပိုင်းအများစုအတွက်၊ အနက်ရောင်ဂရနိုက်သည် တည်ငြိမ်မှုနှင့် သက်တမ်းကြာရှည်မှုအတွက် စက်မှုလုပ်ငန်းစံနှုန်းအဖြစ် ရှိနေဆဲဖြစ်သည်။

တိကျသောစက်အစိတ်အပိုင်းများတွင် အဆင့်မြင့်အကြောင်းအရာများ

ကျွန်ုပ်တို့သည် ပစ္စည်းကိုယ်တိုင်ထက် ကျော်လွန်သွားသည်နှင့်အမျှ အာရုံစိုက်မှုသည် စက်၏ kinematic ဒီဇိုင်းထဲသို့ ဂရနိုက်ပေါင်းစပ်မှုဆီသို့ ရွေ့လျားသွားသည်။ ခေတ်မီ တိကျမှုရှိသော အစိတ်အပိုင်းများသည် static blocks များမဟုတ်တော့ဘဲ hybrid assemblies များဖြစ်သည်။

စက်မှုလုပ်ငန်းတွင် အလျင်အမြန်တိုးတက်နေသော ခေတ်ရေစီးကြောင်းများထဲမှ တစ်ခုမှာ ဂရနိုက်ကို ဖုန်စုပ်စနစ်များနှင့် ပေါင်းစပ်ခြင်းဖြစ်သည်။စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ တိကျမှုဂရန်နိုက်အောက်ခံထဲသို့ တိုက်ရိုက်ဖုန်စုပ်လမ်းကြောင်းများထည့်သွင်းခြင်းဖြင့် ထုတ်လုပ်သူများသည် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းလုပ်ငန်းတွင် wafer ကိုင်တွယ်ရန်အတွက် “vacuum chuck” မျက်နှာပြင်များကို ဖန်တီးနိုင်သည်။ ၎င်းသည် အလွန်အမင်းပြားချပ်ရုံသာမက အနက်ရောင်ဂရန်နိုက်တွင် ထူးချွန်သည့် porosity ကင်းသော ပစ္စည်းတစ်ခုလည်း လိုအပ်ပါသည်။

နောက်ထပ်အရေးကြီးသောအကြောင်းအရာတစ်ခုမှာ အပူလျော်ကြေးပေးခြင်းဖြစ်သည်။ ဂရန်နိုက်တွင် အပူချဲ့ထွင်မှုကိန်းနည်းသော်လည်း သုညမဟုတ်ပါ။ ခေတ်မီစက်အစိတ်အပိုင်းများတွင် ယခုအခါ ကျောက်တုံးထဲသို့ တိုက်ရိုက်ထည့်သွင်းထားသော အပူအာရုံခံကိရိယာများကို မကြာခဏထည့်သွင်းလေ့ရှိသည်။ ဂရန်နိုက်တွင် အပူဒြပ်ထုမြင့်မားသောကြောင့် အပူချိန်ပြောင်းလဲမှုများကို နှေးကွေးစွာတုံ့ပြန်ပြီး စက်ကို ပတ်ဝန်းကျင်ဆိုင်ရာ လျင်မြန်စွာ မြင့်တက်လာမှုများမှ ကာကွယ်ပေးသည့် “အပူဘီး” အကျိုးသက်ရောက်မှုကို ပေးစွမ်းသည်။

စိတ်ကြိုက်အင်ဂျင်နီယာပညာအတွက် ZHHIMG ချဉ်းကပ်မှု

ZHHIMG မှာ၊ တိကျမှုရှိတဲ့ အစိတ်အပိုင်းတိုင်းဟာ သီးခြားအင်ဂျင်နီယာဆိုင်ရာစိန်ခေါ်မှုတစ်ခုရဲ့ ဇာတ်လမ်းတစ်ပုဒ်ကို ပြောပြနေတယ်ဆိုတာ ကျွန်ုပ်တို့ အသိအမှတ်ပြုပါတယ်။ ကျွန်ုပ်တို့ရဲ့ ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်ဟာ ကျောက်တုံးတွေကို ကုန်ကြမ်းရွေးချယ်ခြင်းကနေ စတင်ပြီး အတွင်းပိုင်းဖိစီးမှုတွေကို ကာကွယ်ဖို့ ကွာ့ဇ်ဖြန့်ဖြူးမှု တစ်ပြေးညီဖြစ်စေဖို့ သေချာစေပါတယ်။

ကျွန်ုပ်တို့၏ တိကျသောစက်အစိတ်အပိုင်းများသည် တင်းကျပ်သော “အရသာ” လုပ်ငန်းစဉ်ကို ဖြတ်သန်းသွားပါသည်။ ကနဦးကြမ်းတမ်းသော စက်ယန္တရားဖြင့် ပြုပြင်ပြီးနောက် ကျောက်တုံးကို တည်ငြိမ်အောင်ထားခြင်းဖြင့်၊ ကျွန်ုပ်တို့၏ ကျွမ်းကျင်ပညာရှင်များမှ လုပ်ဆောင်သော နောက်ဆုံးပွတ်တိုက်မှုသည် နောက်ဆယ်စုနှစ်အတွင်း “တွန့်လိမ်” မသွားမည့် မျက်နှာပြင်ကို ရရှိစေကြောင်း ကျွန်ုပ်တို့ သေချာစေပါသည်။ လေဆာဖြတ်စက်အတွက် တန်ပေါင်းများစွာရှိသော gantry သို့မဟုတ် ဓာတ်ခွဲခန်းမိုက်ခရိုစကုပ်အတွက် အသေးစားအခြေခံဖြစ်စေ ဘူမိဗေဒဆိုင်ရာ တည်ငြိမ်မှု၏ အခြေခံမူများသည် အတူတူပင်ဖြစ်သည်။

နိဂုံးချုပ်- သတ္တုအခြေခံများ၏ အနာဂတ်

“စက်မှုလုပ်ငန်း ၄.၀” ခေတ်သည် မြင့်မားသော အရှိန်မြှင့်မှုများနှင့် ပိုမိုတင်းကျပ်သော သည်းခံနိုင်စွမ်းများကို တောင်းဆိုလာသည်နှင့်အမျှ ဂရနိုက်၏ အခန်းကဏ္ဍသည် ဆက်လက်တိုးတက်ပြောင်းလဲနေပါသည်။ ကျွန်ုပ်တို့သည် ပမာဏများများ အသုံးပြုသည့် အသုံးချမှုအချို့အတွက် ဂရနိုက်-epoxy ပေါင်းစပ်ပစ္စည်းများဆီသို့ ရွေ့လျားမှုကို မြင်တွေ့နေရသော်လည်း တည်ငြိမ်မှု၏ အထွတ်အထိပ်အတွက် သဘာဝအနက်ရောင် ဂရနိုက်သည် ယှဉ်နိုင်စရာမရှိအောင် ရှိနေဆဲဖြစ်သည်။

တိကျသောပရောဂျက်တိုင်းတွင် မှန်ကန်သောအုတ်မြစ်ကို ရွေးချယ်ခြင်းသည် ပထမခြေလှမ်းဖြစ်သည်။ ရိုးရှင်းသော မျက်နှာပြင်ပြားနှင့် ဖွဲ့စည်းပုံဆိုင်ရာအခြေခံအကြား ခြားနားချက်ကို နားလည်ခြင်းနှင့် အနက်ရောင်ဂရန်နိုက်၏ သာလွန်ကောင်းမွန်သော သိပ်သည်းဆကို ရွေးချယ်ခြင်းဖြင့် အင်ဂျင်နီယာများသည် ၎င်းတို့၏ ဆန်းသစ်တီထွင်မှုများကို အချိန်နှင့် အပူချိန်၏ စမ်းသပ်မှုကို ခံနိုင်ရည်ရှိသော အုတ်မြစ်ပေါ်တွင် တည်ဆောက်ထားကြောင်း သေချာစေသည်။