တိကျသောထုတ်လုပ်မှုနှင့် သိပ္ပံနည်းကျ သုတေသနနယ်ပယ်များတွင်၊ ကျောက်စိမ်းတုံးများ၏ တိကျမှုပလပ်ဖောင်းများသည် စက်ပစ္စည်းများ၏တိကျမှုကိုသေချာစေရန် အဓိကညွှန်ပြချက်တစ်ခုဖြစ်သည်။ အောက်ဖော်ပြပါသည် ပင်မရေစီးကြောင်းရှာဖွေခြင်းနည်းလမ်းများစွာနှင့် သင့်အတွက် ၎င်းတို့၏လုပ်ဆောင်မှုလုပ်ငန်းစဉ်များကို အသေးစိတ်မိတ်ဆက်ထားပါသည်။ ့
I. Laser interferometer Detection နည်းလမ်း
လေဆာ interferometer သည် တိကျမှုမြင့်မားသော flatness detection အတွက် ဦးစားပေးကိရိယာဖြစ်သည်။ ဥပမာအဖြစ် ZYGO GPI XP လေဆာ interferometer ကိုယူပါ၊ ၎င်း၏ resolution သည် 0.1nm သို့ရောက်ရှိနိုင်သည်။ ထောက်လှမ်းမှုကို လုပ်ဆောင်သည့်အခါ၊ ပလပ်ဖောင်းနှင့် interferometer ၏ အလင်းရင်းမြစ်ကို ဦးစွာ ညှိပြီး ပလက်ဖောင်းမျက်နှာပြင်ကို 50mm × 50mm ဇယားကွက်များအဖြစ် ပိုင်းခြားပါ။ နောက်ပိုင်းတွင်၊ ဝင်ရောက်စွက်ဖက်သော အစွန်းအဖျားဒေတာကို အချက်တစ်ခုချင်း ကောက်ယူပြီး ပြားချပ်ချပ်အမှားကို ရရှိရန် Zernike polynomial ကို အသုံးပြု၍ ဒေတာများကို တပ်ဆင်ကာ ခွဲခြမ်းစိတ်ဖြာခဲ့သည်။ ဤနည်းလမ်းသည် တိကျမှုမြင့်မားသော ပလပ်ဖောင်းများနှင့် သက်ဆိုင်ပြီး ≤0.5μm/m² ၏ flatness အမှားများကို သိရှိနိုင်သည်။ photolithography စက်များနှင့် high-end three-coordinate measuring machine platforms များကို ရှာဖွေရာတွင် အသုံးများသည်။ ့
ii. Electronic Level Array Method
အီလက်ထရွန်းနစ်အဆင့် ခင်းကျင်းရှာဖွေခြင်းသည် လည်ပတ်ရန် ရိုးရှင်းပြီး အလွန်ထိရောက်မှုရှိသည်။ TESA A2 အီလက်ထရွန်နစ်အဆင့် (ကြည်လင်ပြတ်သားမှု 0.01μm/m) ကို ရွေးချယ်ပြီး ပလပ်ဖောင်း၏ X/Y ဝင်ရိုးတစ်လျှောက် 9×9 အခင်းအကျင်းတစ်ခုတွင် စီစဉ်ထားသည်။ အဆင့်တစ်ခုစီ၏ ယိုင်လဲမှုဒေတာကို တစ်ပြိုင်တည်း စုဆောင်းပြီးနောက် တွက်ချက်မှုအတွက် အနည်းဆုံး စတုရန်းပုံနည်းလမ်းကို အသုံးပြုခြင်းဖြင့်၊ ပြားချပ်ချပ်တန်ဖိုးကို တိကျစွာ ရရှိနိုင်သည်။ ဤနည်းလမ်းသည် ပလက်ဖောင်း၏ ဒေသဝင်ပေါက်နှင့် ခုံးနေပုံ အခြေအနေများကို ထိရောက်စွာ ဖော်ထုတ်နိုင်သည်။ ဥပမာအားဖြင့်၊ 50mm အကွာအဝေးအတွင်း 0.2μm ၏ အတက်အကျကိုလည်း သိရှိနိုင်သည်၊ ၎င်းသည် အစုလိုက်အပြုံလိုက် ထုတ်လုပ်မှုတွင် လျင်မြန်စွာ သိရှိနိုင်စေရန်အတွက် သင့်လျော်သည်။ ့
iii. Optical Flat crystal နည်းလမ်း
optical flat crystal နည်းလမ်းသည် သေးငယ်သော ဧရိယာပလပ်ဖောင်းများကို ရှာဖွေတွေ့ရှိရန်အတွက် သင့်လျော်သည်။ ပလပ်ဖောင်းပေါ်တွင် စမ်းသပ်ရန်အတွက် မျက်နှာပြင်ပေါ်ရှိ အပြားချပ်ချပ်ပုံသလင်းခဲကို တင်းတင်းကြပ်ကြပ် ချိတ်ပြီး monochromatic အလင်းရင်းမြစ် (ဥပမာ ဆိုဒီယမ်မီးခွက်ကဲ့သို့) အလင်းရောင်အောက်တွင် ၎င်းတို့ကြားတွင် ဖြစ်ပေါ်လာသော အနှောင့်အယှက်အစွန်းအထင်းများကို သတိပြုပါ။ အစင်းကြောင်းများသည် မျဉ်းပြိုင်ဖြောင့်စင်းပါက၊ ၎င်းသည် ကောင်းမွန်သော ချောမွေ့မှုကို ညွှန်ပြသည်။ ကွေးနေသော အစင်းကြောင်းများ ပေါ်လာပါက၊ အစင်းကြောင်းများ ကွေးညွှတ်မှု ဒီဂရီကို အခြေခံ၍ ပြားချပ်မှု အမှားကို တွက်ချက်ပါ။ ကွေးထားသောအစင်းတစ်ခုစီသည် 0.316μm အမြင့်ခြားနားချက်ကို ကိုယ်စားပြုပြီး ပြားချပ်ချပ်ဒေတာကို ရိုးရှင်းသောအသွင်ပြောင်းခြင်းဖြင့် ရရှိနိုင်သည်။ ့
လေး။ Three-coordinate Measuring machine Inspection နည်းလမ်း
Three-coordinate တိုင်းတာသည့်စက်သည် သုံးဖက်မြင် အာကာသအတွင်း တိကျမှုမြင့်မားသော တိုင်းတာမှုကို ရရှိနိုင်သည်။ တိုင်းတာရေးစက်၏ အလုပ်စားပွဲပေါ်တွင် ကျောက်တုံးပလပ်ဖောင်းကို ချထားကာ ပလပ်ဖောင်း၏ မျက်နှာပြင်ပေါ်ရှိ တိုင်းတာမှုအမှတ်များစွာမှ အချက်အလက်များကို တစ်ပြေးညီ စုဆောင်းရန် ပလတ်ဖောင်းကို အသုံးပြုပါ။ တိုင်းတာရေးစက်စနစ်သည် ပလပ်ဖောင်း၏ ချောမွေ့မှုအစီရင်ခံစာကို ထုတ်ပေးရန်အတွက် ဤဒေတာများကို စီမံဆောင်ရွက်ပြီး ခွဲခြမ်းစိတ်ဖြာသည်။ ဤနည်းလမ်းသည် ချောမွေ့မှုကိုသာမက ပလပ်ဖောင်း၏ အခြားသော ဂျီဩမေတြီဘောင်များကိုပါ တစ်ပြိုင်နက်တည်း ရယူနိုင်ပြီး ကြီးမားသော granite ပလပ်ဖောင်းများကို ကျယ်ကျယ်ပြန့်ပြန့် သိရှိနိုင်စေရန်အတွက် သင့်လျော်ပါသည်။ ့
ဤထောက်လှမ်းမှုနည်းလမ်းများကို ကျွမ်းကျင်ပိုင်နိုင်ခြင်းဖြင့် Granite တိကျသောပလပ်ဖောင်း၏ ချောမွေ့မှုကို တိကျစွာအကဲဖြတ်နိုင်ပြီး တိကျသောစက်ပစ္စည်းများ၏ တည်ငြိမ်သောလည်ပတ်မှုအတွက် ယုံကြည်စိတ်ချရသောအာမခံချက်ပေးစွမ်းနိုင်ပါသည်။
စာတိုက်အချိန်- မေလ ၂၉-၂၀၂၅