တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်ခြင်းတွင် တိကျသောတော်လှန်ရေး- Granite သည် micron နည်းပညာနှင့် ကိုက်ညီသောအခါ
1.1 သိပ္ပံပညာတွင် မမျှော်လင့်ထားသော တွေ့ရှိမှုများ
2023 SEMI International Semiconductor Association ၏ အစီရင်ခံစာအရ ကမ္ဘာ့အဆင့်မြင့် fabs များ၏ 63% သည် သမားရိုးကျသတ္တုပလပ်ဖောင်းများအစား ကျောက်တုံးများကို စတင်အသုံးပြုလာကြသည်။ ကမ္ဘာမြေတွင်းနက်ရှိုင်းသော magma ငွေ့ရည်ဖွဲ့မှုမှအစပြုသော ဤသဘာဝကျောက်တုံးသည် ၎င်း၏ထူးခြားသောရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာဂုဏ်သတ္တိများကြောင့် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာထုတ်လုပ်ခြင်း၏သမိုင်းကို ပြန်လည်ရေးသားနေသည်-
အပူရှိန်အင်တာတီယာအားသာချက်- ကျောက်တုံးကျောက်စိမ်း4.5×10⁻⁶/℃ ၏အပူချဲ့ကိန်းသည် stainless steel ၏ 1/5 သာရှိပြီး၊ အတိုင်းအတာတည်ငြိမ်မှုကို ±0.001mm သည် lithography စက်၏စဉ်ဆက်မပြတ်လုပ်ဆောင်မှုတွင် ထိန်းသိမ်းထားသည်။
Vibration damping လက္ခဏာများ- အတွင်းပိုင်းပွတ်တိုက်မှုကိန်းဂဏန်းသည် သံထည်ပစ္စည်းများထက် 15 ဆပိုမိုမြင့်မားပြီး ကိရိယာ၏မိုက်ခရိုတုန်ခါမှုကို ထိထိရောက်ရောက်စုပ်ယူနိုင်သည်
Zero magnetization သဘောသဘာဝ- လေဆာတိုင်းတာမှုတွင် သံလိုက်အမှားအယွင်းကို လုံးဝဖယ်ရှားပစ်ပါ။
1.2 အသွင်သဏ္ဍာန်သည် ကျွန်ုပ်မှ ဖေါက်ဘက်သို့ ကူးပြောင်းသည်။
Shandong ရှိ ZHHIMG ၏ ဉာဏ်ရည်ထက်မြက်သော ထုတ်လုပ်မှု အခြေစိုက်စခန်းကို နမူနာအဖြစ် ယူ၍ ကုန်ကြမ်းကျောက်တုံးတစ်တုံးကို လိုအပ်သည်-
အလွန်တိကျသော စက်ယန္တရား- စဉ်ဆက်မပြတ် ကြိတ်ခွဲမှု နာရီ 200 အတွက် ဝင်ရိုးငါးခု ချိတ်ဆက်မှု ဗဟိုချက်၊ မျက်နှာပြင် ကြမ်းတမ်းမှု Ra0.008μm အထိ
Artificial aging treatment- ထုတ်ကုန်၏ တည်ငြိမ်မှုကို 40% တိုးတက်ကောင်းမွန်စေသည့် အဆက်မပြတ်အပူချိန်နှင့် စိုထိုင်းဆ အလုပ်ရုံတွင် ၄၈ နာရီကြာ သဘာဝစိတ်ဖိစီးမှုကို ထုတ်ပေးသည်။
ဒုတိယ၊ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်ခြင်း "ကျောက်ဖြေရှင်းချက်" ၏တိကျသောပြဿနာခြောက်ခုကိုဖယ်ရှားပါ။
2.1 Wafer အကွဲကွဲအပြားပြားနှုန်း လျှော့ချရေး အစီအစဉ်
ဖြစ်ရပ်သရုပ်ပြခြင်း- ဂျာမနီရှိ ချစ်ပ်ပြားစက်ရုံတစ်ခုပြီးနောက် ကျွန်ုပ်တို့၏ ဓာတ်ငွေ့မျောပါသော ကျောက်တုံးပလပ်ဖောင်းကို လက်ခံကျင့်သုံးသည်-
| Wafer လုံးပတ် | Chip နှုန်းကိုလျှော့ချ | flatness တိုးတက်မှု |
| ၁၂ လက်မ | 67% | ≤0.001mm |
| ၁၈ လက်မ | ၈၂% | ≤0.0005mm |
2.2 Lithographic alignment တိကျမှု အောင်မြင်မှု အစီအစဉ်
အပူချိန်လျော်ကြေးပေးစနစ်- မြှုပ်ထားသော ကြွေအာရုံခံကိရိယာသည် ပုံသဏ္ဍာန်ပြောင်းလဲနိုင်မှုကို အချိန်နှင့်တပြေးညီ စောင့်ကြည့်စစ်ဆေးပြီး ပလက်ဖောင်းကို အလိုအလျောက်ချိန်ညှိပေးသည်
တိုင်းတာထားသောဒေတာ- 28℃±5℃ ၏အတက်အကျအောက်တွင်၊ မြှပ်နှံမှုတိကျမှုသည် 0.12μm ထက်နည်းသည်
စာတိုက်အချိန်- မတ် ၂၄-၂၀၂၅