နောက်မျိုးဆက် ကြွေထည်တိုင်းတာရေးကိရိယာများသည် အလွန်မြင့်မားသော တိကျမှု၏ နယ်နိမိတ်များကို ပြန်လည်သတ်မှတ်နေပါသလား။

စံကိုက်ညှိဓာတ်ခွဲခန်းများ၊ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းသန့်စင်ခန်းများနှင့် အာကာသယာဉ်ဆိုင်ရာ မက်ထရိုလိုဂျီအစုံများ၏ တိတ်ဆိတ်ငြိမ်သက်သောခန်းမများတွင် တိတ်ဆိတ်သောတော်လှန်ရေးတစ်ခု ဖြစ်ပေါ်နေပါသည်။ ၎င်းသည် ဆော့ဖ်ဝဲလ် သို့မဟုတ် အာရုံခံကိရိယာများဖြင့်သာ မောင်းနှင်ခြင်းမဟုတ်ဘဲ တိုင်းတာခြင်း၏ အခြေခံအုတ်မြစ်ကို ဖွဲ့စည်းပေးသော ပစ္စည်းများဖြင့်သာ မောင်းနှင်ပါသည်။ ဤပြောင်းလဲမှု၏ ရှေ့တန်းတွင် အလွန်တည်ငြိမ်သော ကြွေလေဖြောင့်ပေတံနှင့် အလွန်တောင့်တင်းသော မြင့်မားသောတိကျမှုရှိသော ဆီလီကွန်-ကာဘိုက် (Si-SiC) ပြိုင်တူပိုက်နှင့် စတုရန်းတို့ အပါအဝင် အဆင့်မြင့်ကြွေတိုင်းတာရေးကိရိယာများ ရှိပါသည်။ ၎င်းတို့သည် ကိရိယာများသာမက တည်ငြိမ်မှု၊ ထပ်ခါတလဲလဲလုပ်ဆောင်နိုင်မှုနှင့် အပူချိန်ကြားနေမှုတို့ကို ညှိနှိုင်း၍မရသော ခေတ်သစ်တစ်ခု၏ အထောက်အကူပြုပစ္စည်းများဖြစ်သည်။

ရာစုနှစ်ဝက်ကျော်ကြာ အနက်ရောင်ဂရနိုက်သည် တိကျသော မက်ထရိုလိုဂျီကို လွှမ်းမိုးခဲ့သည်။ ၎င်း၏ သဘာဝစိုထိုင်းဆ၊ အပူပြန့်ကားမှုနည်းခြင်းနှင့် ပြားချပ်မှုကောင်းမွန်ခြင်းတို့ကြောင့် မျက်နှာပြင်ပြားများ၊ စတုရန်းများနှင့် ဖြောင့်တန်းသောအနားများအတွက် အသုံးပြုသည့်ပစ္စည်းဖြစ်လာခဲ့သည်။ သို့သော် စက်မှုလုပ်ငန်းများသည် အထူးသဖြင့် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းပုံနှိပ်ခြင်း၊ အာကာသမှန်ဘီလူးများနှင့် ကွမ်တမ်ကွန်ပျူတာတို့တွင် မိုက်ခရွန်အောက်နှင့် နာနိုမီတာစကေး သည်းခံနိုင်စွမ်းများအထိ တွန်းအားပေးလာသည်နှင့်အမျှ ဂရနိုက်၏ ကန့်သတ်ချက်များသည် ပိုမိုထင်ရှားလာပါသည်။ ၎င်းသည် လေးလံပြီး ထပ်ခါတလဲလဲထိတွေ့မှုအောက်တွင် မိုက်ခရိုချစ်ပ်များ ပျက်စီးလွယ်ပြီး ၎င်း၏ဂုဏ်သတင်းရှိနေသော်လည်း ဝန်အား သို့မဟုတ် ပတ်ဝန်းကျင်အတက်အကျအောက်တွင် ရေရှည်တွင် အနည်းငယ်သာ နှေးကွေးနေဆဲဖြစ်သည်။

အင်ဂျင်နီယာပိုင်းဆိုင်ရာ ကြွေထည်များ ဝင်ရောက်ကြည့်ရှုပါ- နေ့စဉ်စိတ်ကူးထဲက ကြွပ်ဆတ်တဲ့ မြေအိုးတွေ မဟုတ်ဘဲ အလွန်အမင်း အပူနှင့်ဖိအားအောက်တွင် ပုံသွင်းထားသော သိပ်သည်းပြီး တစ်သားတည်းကျသော၊ မြင့်မားသောစွမ်းဆောင်ရည်ရှိသော ပစ္စည်းများကို အသုံးပြုထားပါသည်။ ၎င်းတို့အနက်၊ မက်ထရိုလိုဂျီအသုံးချမှုများအတွက် အမျိုးအစားနှစ်ခု ထင်ရှားသည်- မြင့်မားသောသန့်စင်မှုရှိသော အလူမီနာ (Al₂O₃) နှင့် ဓာတ်ပြုမှုဖြင့် ချည်နှောင်ထားသော ဆီလီကွန်ကာဗိုက် (Si-SiC)။ နှစ်မျိုးစလုံးသည် ရိုးရာပစ္စည်းများထက် သိသာထင်ရှားသော တိုးတက်မှုများကို ပေးစွမ်းသော်လည်း၊ ၎င်းတို့သည် ကွဲပြားသောအခန်းကဏ္ဍများကို ထမ်းဆောင်ကြပြီး အတူတကွ ရှုထောင့်မက်ထရိုလိုဂျီတွင် ဖြစ်နိုင်သမျှအရာ၏ ထိပ်တန်းအဆင့်ကို ကိုယ်စားပြုပါသည်။

ဥပမာအားဖြင့် ကြွေထည်လေဖြောင့်ပေတံကို ယူကြည့်ပါ။ လေဝင်လေထွက်ကောင်းသော စင်များ သို့မဟုတ် optical interferometers များနှင့် အသုံးပြုရန် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသော ဤတူရိယာသည် ပြီးပြည့်စုံသော ဖြောင့်တန်းမှု၊ အနည်းဆုံးဒြပ်ထုနှင့် အပူချိန်ရွေ့လျားမှု လုံးဝမလိုအပ်သည်။ အလူမီနာကို အခြေခံသည်ကြွေထည် စံနစ်များ—500 mm အထက် ±0.5 µm အတွင်း ပြားချပ်မှုနှင့် ဖြောင့်တန်းမှုအထိ စက်ဖြင့်ပြုလုပ်ထားပြီး Ra 0.02 µm အောက် မျက်နှာပြင်ကြမ်းတမ်းမှုအထိ ပွတ်တိုက်ထားသည်—သည် ထိုအတိုင်း တိကျစွာ ပေးစွမ်းနိုင်သည်။ ၎င်းတို့၏ သိပ်သည်းဆနည်းခြင်း (~3.6 g/cm³) သည် ဒိုင်းနမစ်တိုင်းတာမှုစနစ်များတွင် အရှိန်အဟုန်ကို လျှော့ချပေးပြီး ၎င်းတို့၏ သံလိုက်မဟုတ်သော၊ လျှပ်ကူးမှုမရှိသော သဘောသဘာဝသည် အာရုံခံနိုင်သော အီလက်ထရွန်းနစ် သို့မဟုတ် သံလိုက်ပတ်ဝန်းကျင်များတွင် ဝင်ရောက်စွက်ဖက်မှုကို ဖယ်ရှားပေးသည်။ မိုက်ခရွန်တစ်မိုက်ခရွန်ပင် ရလဒ်များကို စောင်းစေနိုင်သည့် wafer စစ်ဆေးရေးကိရိယာများ သို့မဟုတ် laser tracker ချိန်ညှိမှုများတွင် ကြွေထည်လေဖြောင့်ပေတံသည် အပူချိန်အတက်အကျနှင့် လည်ပတ်မှုစက်ဝန်းများတွင် မှန်ကန်နေမည့် တည်ငြိမ်ပြီး အရှိန်အဟုန်မရှိသော ရည်ညွှန်းချက်ကို ပေးစွမ်းသည်။

ဒါပေမယ့် အမြင့်ဆုံးတောင့်တင်းမှုနဲ့ အပူစီးကူးမှုလိုအပ်တဲ့အခါ—ဥပမာ အာကာသတယ်လီစကုပ် မှန်ဘီလူးညှိခြင်း ဒါမှမဟုတ် မြင့်မားတဲ့ပါဝါလေဆာ အခေါင်းပေါက်မက်ထရိုဂျီမှာ—အင်ဂျင်နီယာတွေဟာ မြင့်မားတဲ့တိကျမှုရှိတဲ့ ဆီလီကွန်-ကာဘိုက် (Si-SiC) parallelepiped နဲ့ စတုရန်းအစိတ်အပိုင်းတွေကို အသုံးပြုကြပါတယ်။ Si-SiC ဟာ လူသိများတဲ့ အတောင့်တင်းဆုံးပစ္စည်းတွေထဲမှာ ပါဝင်ပြီး၊ Young's modulus ဟာ သံမဏိထက် သုံးဆကျော် 400 GPa ကျော်လွန်ပြီး အလူမီနီယမ်နဲ့ ယှဉ်နိုင်တဲ့ အပူစီးကူးမှုရှိပါတယ်။ အရေးကြီးတာက၊ ၎င်းရဲ့ အပူကျယ်ပြန့်မှုကိန်းဂဏန်း (CTE) ကို အလင်းမှန်ဘီလူး ဒါမှမဟုတ် ဆီလီကွန်ဝေဖာတွေနဲ့ ကိုက်ညီအောင် အင်ဂျင်နီယာပြုလုပ်နိုင်ပြီး hybrid assemblies တွေမှာ သုညနီးပါး ကွဲပြားတဲ့ ကျယ်ပြန့်မှုကို ဖြစ်စေပါတယ်။ EUV လစ်သိုဂရပ်ဖီကိရိယာမှာ master reference အဖြစ်အသုံးပြုတဲ့ Si-SiC စတုရန်းဟာ ၎င်းရဲ့ပုံစံကို ထိန်းသိမ်းထားရုံသာမက ဒေသတွင်းအပူပေးခြင်း ဒါမှမဟုတ် တုန်ခါမှုကြောင့် ပုံပျက်သွားတာကို တက်ကြွစွာ ခုခံတွန်းလှန်ပေးပါလိမ့်မယ်။

ဤအောင်မြင်မှုများကို ဖြစ်နိုင်စေသည်မှာ ပစ္စည်းတစ်ခုတည်းမဟုတ်ဘဲ ကြွေထည်တိုင်းတာသည့်ကိရိယာများ ထုတ်လုပ်ခြင်း၏ ကျွမ်းကျင်မှုဖြစ်သည်။ ဥပမာအားဖြင့် Si-SiC ၏ တိကျသော စက်ဖြင့်ပြုပြင်ခြင်းတွင် စိန်ကြိတ်ဘီးများ၊ sub-micron CNC ပလက်ဖောင်းများနှင့် အပူချိန်ထိန်းချုပ်ထားသောပတ်ဝန်းကျင်များတွင် ပြုလုပ်သော အဆင့်များစွာပါသော ಲೇಪလုပ်ငန်းစဉ်များ လိုအပ်သည်။ မသင့်လျော်သော sintering မှ ကျန်ရှိသောဖိအားအနည်းငယ်ပင် စက်ဖြင့်ပြုပြင်ပြီးနောက် ကွေးညွှတ်မှုကို ဖြစ်စေနိုင်သည်။ ထို့ကြောင့် ကမ္ဘာလုံးဆိုင်ရာထုတ်လုပ်သူအနည်းငယ်သာ ပစ္စည်းပေါင်းစပ်ခြင်း၊ တိကျသောပုံသွင်းခြင်းနှင့် နောက်ဆုံးမက်ထရိုလိုဂျီတို့ကို တစ်ခုတည်းအောက်တွင် ပေါင်းစပ်ထားခြင်းဖြစ်သည် - ၎င်းသည် မက်ထရိုလိုဂျီအဆင့်ထုတ်လုပ်သူများကို ယေဘုယျကြွေထည်ပေးသွင်းသူများနှင့် ခွဲခြားပေးသည့် စွမ်းရည်ဖြစ်သည်။

ZHONGHUI INTELLIGENT MANUFACTURING (JINAN) GROUP CO., LTD (ZHHIMG) တွင် ဤဒေါင်လိုက်ပေါင်းစပ်မှုသည် ကျွန်ုပ်တို့၏ ရည်မှန်းချက်အတွက် အဓိကကျပါသည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ ကြွေတိုင်းတာရေးကိရိယာများ—DIN 874 Grade AA နှင့် PTB နှင့် NIST စံနှုန်းများအတိုင်း ခြေရာခံနိုင်သော မြင့်မားသောတိကျမှုရှိသော silicon-carbide (Si-Si-C) parallelepiped နှင့် square artifacts များအပါအဝင်—ကို ISO Class 7 cleanrooms များတွင် proprietary sintering နှင့် finishing protocols များကို အသုံးပြု၍ ထုတ်လုပ်ပါသည်။ အစိတ်အပိုင်းတိုင်းသည် အပြည့်အဝ interferometric validation၊ geometric tolerances (flatness, parallelism, perpendicularity) ၏ CMM အတည်ပြုချက်နှင့် ပို့ဆောင်ခြင်းမပြုမီ မျက်နှာပြင်၏ တည်တံ့မှုစမ်းသပ်မှုများကို ဖြတ်သန်းရပါသည်။ ရလဒ်အနေဖြင့် သတ်မှတ်ချက်များနှင့် ကိုက်ညီရုံသာမက အသုတ်လိုက်တွင် ၎င်းတို့ထက် တသမတ်တည်း ကျော်လွန်သော reference-grade artifact တစ်ခုဖြစ်သည်။

ထိုကဲ့သို့သော စွမ်းဆောင်ရည်အတွက် ၀ယ်လိုအား မြင့်တက်လာနေပါသည်။ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း ထုတ်လုပ်ရေးတွင် EUV နှင့် မြင့်မားသော NA လစ်သိုဂရပ်ဖီစနစ်များသည် မီတာစကေးအကွာအဝေးများအတွင်း နာနိုမီတာ ဆယ်ဂဏန်းအတွင်း တည်ငြိမ်သော alignment structure များ လိုအပ်ပါသည် - Si-SiC ၏ အပူချိန်-စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ပေါင်းစပ်မှုမပါဘဲ မဖြစ်နိုင်ပါ။ အာကာသယာဉ်ပျံများတွင် ကြွေရည်ညွှန်းများဖြင့် ပြုလုပ်ထားသော ဂြိုလ်တုအလင်းတန်းများသည် အလွန်အမင်း အပူချိန်လည်ပတ်မှုရှိနေသော်လည်း ပတ်လမ်းပေါ်တွင် တည်ငြိမ်မှုကို သေချာစေသည်။ ဆွဲငင်အားလှိုင်းထောက်လှမ်းခြင်း သို့မဟုတ် အက်တမ်နာရီ ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်မှုကဲ့သို့သော ပေါ်ထွက်လာသော နယ်ပယ်များတွင်ပင် picometer-level တည်ငြိမ်မှုသည် အရေးကြီးသည့် ကြွေရည်နှင့် Si-SiC မက်ထရိုဂျီပစ္စည်းများသည် မရှိမဖြစ်လိုအပ်လာပါသည်။

အရေးကြီးသည်မှာ ဤကိရိယာများသည် ရေရှည်တည်တံ့မှုနှင့် ပိုင်ဆိုင်မှုစုစုပေါင်းကုန်ကျစရိတ်ကိုလည်း ကိုင်တွယ်ဖြေရှင်းပါသည်။ တိကျမှုမြင့်မားသော ဆီလီကွန်-ကာဗိုက် parallelepiped တွင် ကနဦးရင်းနှီးမြှုပ်နှံမှုသည် ဂရန်းနစ်ညီမျှမှုထက် ကျော်လွန်နိုင်သော်လည်း ၎င်း၏ဝန်ဆောင်မှုသက်တမ်းသည် အသုံးပြုမှုမြင့်မားသောပတ်ဝန်းကျင်တွင် ၅-၁၀ ဆ ပိုရှည်နိုင်သည်။ ၎င်းသည် ဆီလိမ်းရန်မလိုအပ်ဘဲ၊ အဖြစ်များသော ပျော်ရည်များနှင့် ပလာစမာအားလုံးကို ခံနိုင်ရည်ရှိပြီး အစိုဓာတ်စုပ်ယူမှုကြောင့် ပြန်လည်ချိန်ညှိရန် မလိုအပ်ပါ - သံမဏိ သို့မဟုတ် ဂရန်းနစ်အချို့နှင့်မတူပါ။ AS9100၊ ISO 13485 သို့မဟုတ် SEMI စံနှုန်းများအောက်တွင် လည်ပတ်နေသော အရည်အသွေးမန်နေဂျာများအတွက် ဤယုံကြည်စိတ်ချရမှုသည် ရပ်တန့်ချိန်လျော့နည်းခြင်း၊ စာရင်းစစ်တွေ့ရှိချက်များ နည်းပါးခြင်းနှင့် ဖောက်သည်ယုံကြည်မှု ပိုမိုမြင့်မားခြင်းတို့ကို တိုက်ရိုက်ပြောင်းလဲပေးသည်။

ထို့အပြင်၊ ဤတူရိယာများ၏ အလှအပနှင့် လုပ်ဆောင်နိုင်စွမ်းဆိုင်ရာ ကြော့ရှင်းမှုကို လျစ်လျူမရှုသင့်ပါ။ ඔප දැමීම Si-SiC စတုရန်းသည် သတ္တုရောင်တောက်ပမှုဖြင့် တောက်ပနေသော်လည်း သံမဏိထက် အလေးချိန်နည်းပါသည်။ ကြွေထည်လေဖြောင့်ပေတံသည် ခိုင်ခံ့သည်ဟု ခံစားရသော်လည်း အလွယ်တကူ မတင်နိုင်ပါ။ ကျဉ်းမြောင်းသောနေရာများတွင် ကိုယ်တိုင်စစ်ဆေးရန်အတွက် အသင့်တော်ဆုံးဖြစ်သည်။ လူ့ဗဟိုပြု အရည်အသွေးများသည် လက်တွေ့ကမ္ဘာဓာတ်ခွဲခန်းများတွင် ergonomics နှင့် အသုံးပြုရလွယ်ကူမှုတို့သည် နေ့စဉ်လုပ်ငန်းစဉ်ကို လွှမ်းမိုးသည့် အရေးပါပါသည်။

ဒါဆိုရင် ကြွေထည်တိုင်းတာရေးကိရိယာတွေဟာ အလွန်မြင့်မားတဲ့ တိကျမှုကို ပြန်လည်အဓိပ္ပာယ်ဖွင့်ဆိုနေပါသလား။ အဖြေကတော့ အချက်အလက်တွေထဲမှာပဲ ရှိပါတယ်—အခုဆိုရင် သူတို့ကို စံအဖြစ် သတ်မှတ်နေကြတဲ့ ကမ္ဘာ့ဦးဆောင်သူတွေရဲ့ တိုးပွားလာနေတဲ့ စာရင်းထဲမှာလည်း ရှိနေပါတယ်။ နောက်မျိုးဆက် အလျားစံနှုန်းတွေကို အတည်ပြုနေတဲ့ အမျိုးသား မက်ထရိုလော်ဂျီဌာနတွေကနေ EV မောင်းနှင်အားအစိတ်အပိုင်းတွေကို အသိအမှတ်ပြုတဲ့ Tier 1 ပေးသွင်းသူတွေအထိ၊ ပြောင်းလဲမှုက ရှင်းပါတယ်- မသေချာမရေရာမှုတွေကို အနည်းဆုံးဖြစ်အောင် လုပ်ရတဲ့အခါ အင်ဂျင်နီယာတွေက အင်ဂျင်နီယာပိုင်းဆိုင်ရာ ကြွေထည်တွေကို ယုံကြည်ကြပါတယ်။

စက်မှုလုပ်ငန်းများသည် အက်တမ်စကေးထိန်းချုပ်မှုဆီသို့ ၎င်းတို့၏ စဉ်ဆက်မပြတ်ချီတက်မှုကို ဆက်လက်လုပ်ဆောင်လာသည်နှင့်အမျှ၊ ငြင်းမရနိုင်သော အမှန်တရားတစ်ခု ဖြစ်လာသည်- တိုင်းတာမှု၏ အနာဂတ်သည် ကျောက်တုံးမှ ထွင်းထုခြင်း သို့မဟုတ် သတ္တုဖြင့် သွန်းလောင်းခြင်း မဟုတ်ပါ။ ၎င်းကို ကြွေထည်နှင့် ဆီလီကွန်ကာဗိုက်တို့တွင် အပူပေးခြင်း၊ ကြိတ်ခွဲခြင်းနှင့် ඔප දැමීම ပြုလုပ်မည်ဖြစ်သည်။

ZHONGHUI INTELLIGENT MANUFACTURING (JINAN) GROUP CO., LTD (ZHHIMG) သည် အလွန်တိကျသော ကြွေထည်နှင့် ဆီလီကွန်-ကာဗိုက် မက်ထရိုလိုဂျီ ဖြေရှင်းချက်များတွင် ကမ္ဘာလုံးဆိုင်ရာ အသိအမှတ်ပြု တီထွင်သူတစ်ဦးဖြစ်သည်။ ကြွေထည်တိုင်းတာသည့်ကိရိယာများ၊ ကြွေထည်လေဖြောင့်ပေတံနှင့် မြင့်မားသောတိကျသော ဆီလီကွန်-ကာဗိုက် (Si-SiC) parallelepiped နှင့် လေးထောင့်အစိတ်အပိုင်းများတွင် အထူးပြုသည့် ZHHIMG သည် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း၊ အာကာသ၊ ကာကွယ်ရေးနှင့် သိပ္ပံနည်းကျသုတေသနအသုံးချမှုများအတွက် အပြည့်အဝအသိအမှတ်ပြုထားသော၊ ဓာတ်ခွဲခန်းအဆင့် ရှေးဟောင်းပစ္စည်းများကို ပေးဆောင်ပါသည်။ ISO 9001၊ ISO 14001 နှင့် CE အသိအမှတ်ပြုလက်မှတ်များဖြင့် ကျောထောက်နောက်ခံပြုထားသော ကျွန်ုပ်တို့၏ ထုတ်ကုန်များကို ကမ္ဘာတစ်ဝှမ်းရှိ ဦးဆောင်နည်းပညာလုပ်ငန်းများက ယုံကြည်စိတ်ချကြသည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ အဆင့်မြင့် မက်ထရိုလိုဂျီ အစုစုကို တွင် လေ့လာပါ။www.zhhimg.com.