နာနိုမီတာစကေးထုတ်လုပ်မှု၏ မြင့်မားသောအန္တရာယ်ရှိသောနယ်ပယ်တွင်၊ ထိတွေ့မှုအခြေပြုစက်ပြင်များ၏ ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာကန့်သတ်ချက်များသည် သိသာထင်ရှားသော အတားအဆီးတစ်ခုဖြစ်လာခဲ့သည်။ စက်မှုလုပ်ငန်းခေါင်းဆောင်များသည် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းပုံနှိပ်ခြင်းနှင့် အာကာသယာဉ်စစ်ဆေးခြင်းတွင် ပိုမိုမြန်ဆန်သော throughput နှင့် မြင့်မားသော resolution ကို တွန်းအားပေးလာသည်နှင့်အမျှ၊ အဆင့်မြင့်လေဝင်လေထွက်နည်းပညာအပေါ် မှီခိုအားထားမှုသည် အထူးဇိမ်ခံပစ္စည်းမှ စက်မှုလုပ်ငန်းလိုအပ်ချက်သို့ ကူးပြောင်းလာခဲ့သည်။ လေဝင်လေထွက်အမျိုးအစားအမျိုးမျိုးနှင့် လေဝင်လေထွက်လမ်းညွှန်တောင့်တင်းမှု၏ အရေးပါသောအချက်ကို နားလည်ခြင်းသည် နောက်မျိုးဆက် linear motion guide systems ကို ဒီဇိုင်းဆွဲသော အင်ဂျင်နီယာတိုင်းအတွက် မရှိမဖြစ်လိုအပ်ပါသည်။
လေဝင်ပေါက်များ၏ အဓိကအမျိုးအစားများကို နားလည်ခြင်း
လေဝင်လေထွက်နည်းပညာသည် အလွန်ပါးလွှာသောဖိအားပေးထားသောလေအလွှာတစ်ခု၏ မူအပေါ်တွင် လုပ်ဆောင်ပြီး ဝန်ကိုထောက်ပံ့ပေးကာ စက်ပိုင်းဆိုင်ရာဘယ်ရီများနှင့်ဆက်စပ်သော ပွတ်တိုက်မှု၊ ယိုယွင်းမှုနှင့် အပူထုတ်လုပ်မှုကို ထိရောက်စွာဖယ်ရှားပေးသည်။ သို့သော် လေဖြန့်ဖြူးမှုနည်းလမ်းသည် ဘယ်ရီ၏စွမ်းဆောင်ရည်ဝိသေသလက္ခဏာများကို သတ်မှတ်ပေးသည်။
Porous Media Air Bearings များကို ဖိအားတူညီစွာဖြန့်ဖြူးရန်အတွက် ရွှေစံနှုန်းအဖြစ် မကြာခဏသတ်မှတ်ခံရလေ့ရှိသည်။ porous ပစ္စည်း—ပုံမှန်အားဖြင့် ကာဗွန် သို့မဟုတ် အထူးပြုလုပ်ထားသော ကြွေထည်များ—ကိုအသုံးပြုခြင်းဖြင့် လေကို sub-micron အပေါက်သန်းပေါင်းများစွာမှတစ်ဆင့် ဖိအားပေးသည်။ ၎င်းသည် တုန်ခါမှုနည်းပါးပြီး ပိုမိုကောင်းမွန်သော damping ကိုပေးစွမ်းသည့် အလွန်တည်ငြိမ်သော လေအလွှာတစ်ခုကို ဖြစ်ပေါ်စေသည်။
Orifice Air Bearings များသည် လေကိုဖြန့်ဝေရန်အတွက် တိကျစွာစက်ဖြင့်ပြုလုပ်ထားသော အပေါက်များ သို့မဟုတ် မြောင်းများကို အသုံးပြုသည်။ ၎င်းတို့သည် ထုတ်လုပ်ရန် ပိုမိုလွယ်ကူသော်လည်း၊ မြင့်မားသောအမြန်နှုန်းများတွင် မတည်ငြိမ်မှုကို ကာကွယ်ရန် လိုအပ်သော “ဖိအားလျော်ကြေးပေးခြင်း” ကို စီမံခန့်ခွဲရန် ကျွမ်းကျင်အင်ဂျင်နီယာပညာ လိုအပ်ပါသည်။
Flat Pad Air Bearings များသည် linear motion guide systems များ၏ workhorse များဖြစ်သည်။ ၎င်းတို့ကို granite rail ကို "pre-load" လုပ်ရန် ဆန့်ကျင်ဘက်အတွဲများဖြင့် တပ်ဆင်ထားလေ့ရှိပြီး ဦးတည်ချက်များစွာတွင် မြင့်မားသော ကန့်သတ်ချက်ရှိသော တောင့်တင်းမှုကို ပေးစွမ်းသည်။
ရိုတာလေဝင်ပေါက်များသည် goniometry သို့မဟုတ် spindle စမ်းသပ်ခြင်းကဲ့သို့သော အသုံးချမှုများအတွက် သုညနီးပါးအမှားအယွင်းရွေ့လျားမှုကို ပေးစွမ်းသည်။ ဘောလုံးဝင်ရိုးများ၏ “တုန်ခါမှု” မရှိဘဲ လည်ပတ်မှုဝင်ရိုးကို စဉ်ဆက်မပြတ်ထိန်းသိမ်းထားနိုင်သည့် ၎င်းတို့၏စွမ်းရည်သည် ၎င်းတို့ကို optical centering အတွက် မရှိမဖြစ်လိုအပ်စေသည်။
အောင်မြင်မှု အင်ဂျင်နီယာ စံနှုန်း- လေခံ လမ်းညွှန် မာကျောမှု
မက်ထရိုလော်ဂျီတွင် အဖြစ်အများဆုံး အထင်အမြင်လွဲမှားမှုတစ်ခုမှာ လေဝင်ပေါက်များသည် စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ရိုလာများနှင့် နှိုင်းယှဉ်ပါက "ပျော့ပျောင်း" သည် ဟူ၍ ဖြစ်သည်။ အမှန်တကယ်တွင်၊ ခေတ်မီလေဝင်ပေါက်လမ်းညွှန်တောင့်တင်းမှုသည် သင့်လျော်စွာ ဒီဇိုင်းထုတ်ထားပါက စက်ပိုင်းဆိုင်ရာစနစ်များထက် ကျော်လွန်နိုင်သည်။
လေဝင်လေထွက်စနစ်တွင် တောင့်တင်းမှုဆိုသည်မှာ ဝန်အားပြောင်းလဲမှုအပေါ် တုံ့ပြန်သည့်အနေဖြင့် လေအလွှာအထူပြောင်းလဲမှုကို ရည်ညွှန်းသည်။ ၎င်းကို “ကြိုတင်တင်ခြင်း” မှတစ်ဆင့် ရရှိသည်။ သံလိုက်များ သို့မဟုတ် ဖုန်စုပ်ဖိအားကို အသုံးပြုခြင်းဖြင့် သို့မဟုတ် ဆန့်ကျင်ဘက်လေအပြားများဖြင့် ဂရန်နိုက်ရထားလမ်းကို ဖမ်းယူခြင်းဖြင့် အင်ဂျင်နီယာများသည် လေအလွှာကို ဖိသိပ်နိုင်သည်။ အလွှာပါးလာသည်နှင့်အမျှ ၎င်း၏ နောက်ထပ်ဖိသိပ်မှုကို ခံနိုင်ရည်သည် အဆပေါင်းများစွာ မြင့်တက်လာသည်။
တောင့်တင်းမှုမြင့်မားခြင်းသည် အရေးကြီးပါသည်၊ အဘယ်ကြောင့်ဆိုသော် ၎င်းသည် စနစ်၏ သဘာဝကြိမ်နှုန်းနှင့် မြင့်မားသောအရှိန်မြှင့် linear motor မှထုတ်လုပ်သော အားများကဲ့သို့သော ပြင်ပအနှောင့်အယှက်များကို ခုခံနိုင်စွမ်းကို ညွှန်ကြားပေးသောကြောင့်ဖြစ်သည်။ ZHHIMG တွင်၊ ကျွန်ုပ်တို့သည် bearing နှင့် အကြားကွာဟချက်ကို အကောင်းဆုံးဖြစ်အောင် တွက်ချက်မှုဆိုင်ရာ အရည်ဒိုင်းနမစ် (CFD) ကို အသုံးပြုပါသည်။ဂရနိုက်လမ်းညွှန်ရွေ့လျားမှု၏ ပွတ်တိုက်မှုမရှိသော သဘောသဘာဝကို မထိခိုက်စေဘဲ တောင့်တင်းမှုကို အမြင့်ဆုံးဖြစ်စေသည်။
Linear Motion Guide Systems ၏ ဆင့်ကဲဖြစ်စဉ်
လေဝင်ပေါက်များကို မျဉ်းဖြောင့်ရွေ့လျားမှုလမ်းညွှန်စနစ်များထဲသို့ ပေါင်းစပ်ထည့်သွင်းခြင်းသည် ခေတ်မီစက်များ၏ ဗိသုကာပုံစံကို ပြန်လည်သတ်မှတ်ပေးခဲ့သည်။ ရိုးရာအစဉ်အလာအရ၊ မျဉ်းဖြောင့်လမ်းညွှန်တွင် သံမဏိရထားလမ်းနှင့် ပြန်လည်လည်ပတ်သောဘောလုံးလှည်းတို့ ပါဝင်သည်။ ခိုင်ခံ့သော်လည်း ဤစနစ်များသည် “cogging” နှင့် အပူချဲ့ထွင်မှုတို့ကို ခံစားရလေ့ရှိသည်။
ခေတ်မီပြီး မြင့်မားသောတိကျမှုရှိသော linear guide system တွင် ယခုအခါ ဂရန်နိုက် beam တစ်ခုပါရှိပြီး ၎င်းသည် လိုအပ်သော ပြားချပ်မှုနှင့် thermal inertia ကို ပေးစွမ်းပြီး air bearing carriage နှင့် တွဲဖက်အသုံးပြုထားသည်။ ဤပေါင်းစပ်မှုသည် အောက်ပါတို့ကို ဖြစ်ပေါ်စေသည်-
-
တည်ငြိမ်ပွတ်တိုက်မှု (ပွတ်တိုက်မှု) လုံးဝမပါဝင်သောကြောင့်၊ အဏုကြည့်မှန်ပြောင်းဖြင့်သာ မြင်နိုင်သော တဖြည်းဖြည်း ရွေ့လျားမှုများကို ဖြစ်စေသည်။
-
အစိတ်အပိုင်းများအကြား စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ယိုယွင်းပျက်စီးမှုမရှိသောကြောင့် အဆုံးမဲ့သက်တမ်း။
-
လေအဆက်မပြတ်ထွက်နေခြင်းကြောင့် ဖုန်မှုန့်များ bearing gap ထဲသို့ ဝင်ရောက်ခြင်းကို တားဆီးပေးသောကြောင့် အလိုအလျောက် သန့်ရှင်းသော ဂုဏ်သတ္တိများရှိသည်။
စက်မှုလုပ်ငန်း ၄.၀ တွင် လေဝင်လေထွက်နည်းပညာထုတ်လုပ်သူများ၏ အခန်းကဏ္ဍ
လေဝင်လေထွက်နည်းပညာထုတ်လုပ်သူများထဲမှ ရွေးချယ်ခြင်းတွင် ဝင်လေဝင်လေထွက်ကိုယ်တိုင်ထက် ပိုမိုအကဲဖြတ်ခြင်းပါဝင်သည်။ အအောင်မြင်ဆုံး အကောင်အထည်ဖော်မှုများမှာ ဝင်လေဝင်လေထွက်၊ လမ်းညွှန်ရထားလမ်းနှင့် အထောက်အပံ့ဖွဲ့စည်းပုံကို တစ်ခုတည်းသော ပေါင်းစပ်စနစ်တစ်ခုအဖြစ် သဘောထားသည့် အကောင်အထည်ဖော်မှုများဖြစ်သည်။
အထူးပြုထုတ်လုပ်သူတစ်ဦးအနေဖြင့် ZHHIMG Group သည် ပစ္စည်းသိပ္ပံနှင့် အရည်ဒိုင်းနမစ်အကြားကွာဟချက်ကို ပေါင်းကူးပေးသည်။ ကျွန်ုပ်တို့သည် ဤလေကာများအတွက် “ပြေးလမ်း” အဖြစ်ဆောင်ရွက်သော ဂရန်နိုက်အစိတ်အပိုင်းများ ထုတ်လုပ်ရာတွင် အထူးပြုပါသည်။ လေဝင်လေထွက်သည် ၎င်းပျံသန်းသော မျက်နှာပြင်ကဲ့သို့သာ တိကျသောကြောင့် ဂရန်နိုက်ကို မိုက်ခရွန်အောက် ပြားချပ်မှုအဆင့်အထိ လှည့်ပတ်နိုင်စွမ်းသည် ကျွန်ုပ်တို့၏ မျဉ်းဖြောင့်ရွေ့လျားမှုစနစ်များအား နာနိုမီတာအဆင့် ထပ်ခါတလဲလဲလုပ်ဆောင်နိုင်စွမ်းကို ရရှိစေပါသည်။
ဤစနစ်များအတွက် ဝယ်လိုအားသည် 2nm နှင့် 1nm node များသို့ ရွှေ့ပြောင်းရန်အတွက် တုန်ခါမှုလုံးဝမရှိဘဲ ရွေ့လျားနိုင်သော အဆင့်များ လိုအပ်သည့် semiconductor စစ်ဆေးရေးကဏ္ဍတွင် မြင့်တက်လာနေသည်။ အလားတူပင်၊ အာကာသယာဉ်ကဏ္ဍတွင် ကြီးမားသော တာဘိုင်အစိတ်အပိုင်းများကို တိုင်းတာခြင်းသည် ဂရနိုက်၏ လေးလံသောဝန်စွမ်းရည်နှင့် လေဖြင့်ထောက်ပံ့ထားသော probe များ၏ နူးညံ့သိမ်မွေ့သော အထိအတွေ့ကို ပေါင်းစပ်ရန် လိုအပ်သည်။
နိဂုံးချုပ်- အရည်ရွေ့လျားမှုအတွက် စံနှုန်းသတ်မှတ်ခြင်း
စက်ပိုင်းဆိုင်ရာထိတွေ့မှုမှ အရည်-အလွှာထောက်ပံ့မှုသို့ ကူးပြောင်းခြင်းသည် စက်မှုအင်ဂျင်နီယာတွင် ပုံစံပြောင်းလဲမှုတစ်ခုကို ကိုယ်စားပြုသည်။ လေဝင်လေထွက်အမျိုးအစားအမျိုးမျိုး၏ သီးခြားအစွမ်းသတ္တိများကို နားလည်ခြင်းနှင့် အရေးကြီးသော အရေးပါမှုကို အာရုံစိုက်ခြင်းဖြင့်လေဝင်လေထွက်လမ်းညွှန်တောင့်တင်းမှုထုတ်လုပ်သူများသည် တစ်ချိန်က မဖြစ်နိုင်ဟု ထင်မြင်ခဲ့ကြသော တိကျမှုအဆင့်များကို ရရှိနိုင်သည်။
ZHHIMG မှာ၊ ကျွန်ုပ်တို့သည် အစိတ်အပိုင်းပေးသွင်းသူထက်ပို၍ ဖြစ်ရန် ကတိပြုပါသည်။ ကျွန်ုပ်တို့သည် တိကျမှုတွင် မိတ်ဖက်တစ်ဦးဖြစ်ပြီး ကမ္ဘာလုံးဆိုင်ရာ ဆန်းသစ်တီထွင်မှု၏ အနာဂတ်ကို မောင်းနှင်ရန် လိုအပ်သော ကျောက်စရစ်ခဲကဲ့သို့ ခိုင်မာသော အခြေခံများနှင့် ခေတ်မီလေဝင်လေထွက်နည်းပညာကို ပံ့ပိုးပေးပါသည်။ ရွေ့လျားမှုသည် ပွတ်တိုက်မှုကင်းလာသောအခါ၊ တိကျမှုအတွက် ဖြစ်နိုင်ခြေများသည် အကန့်အသတ်မရှိ ဖြစ်လာပါသည်။
ပို့စ်တင်ချိန်: ၂၀၂၆ ခုနှစ်၊ ဇန်နဝါရီလ ၂၂ ရက်
