တိကျသောအစိတ်အပိုင်းများကို ထုတ်လုပ်သည့်အခါ၊ XY တိကျသောအလုပ်စားပွဲသည် အစိတ်အပိုင်းများကို အတိအကျတူညီစေရန် ကြိတ်ခွဲရန် တာဝန်ရှိသော "စူပါလက်သမားဆရာ" နှင့်တူပါသည်။ သို့သော် တစ်ခါတစ်ရံတွင် လည်ပတ်မှု ကောင်းမွန်သော်လည်း ထုတ်လုပ်ထားသော အစိတ်အပိုင်းများသည် စံမမီပေ။ workbench ၏ကျောက်တုံးအောက်ခြေသည် "ဝုန်းဒိုင်းကြဲခြင်း" ကြောင့်ဖြစ်နိုင်သည်။ ယနေ့၊ တိကျစွာလုပ်ဆောင်ခြင်းအတွက် ကျောက်တုံးအခြေခံပစ္စည်းများ၏ ညီညွတ်မှုသည် မည်မျှအရေးကြီးကြောင်း ဆွေးနွေးကြပါစို့။
ပစ္စည်းသည် "မညီမညာ" ဖြစ်၍ ပြဿနာ ပေါ်ပေါက်လာသည်။
ကျောက်တုံးအခြေကို မြင်ယောင်ကြည့်ပါ၊ အချို့သောအစိတ်အပိုင်းများသည် မာကျောပြီး အချို့သောအစိတ်အပိုင်းများသည် ပျော့ပျောင်းသည်။ အချို့နေရာများ အပူရှိန်ပို၍ ချဲ့ထွင်ပြီး အချို့နေရာများ လျော့နည်းပါက မည်သို့ဖြစ်မည်နည်း။
တုန်ခါမှုမညီမျှခြင်း- ကျောက်တုံးစက်အခြေခံ၏ မတူညီသော အနေအထားရှိသိပ်သည်းဆသည် မတူညီပါက၊ အလုပ်စားပွဲသည် လျင်မြန်စွာရွေ့လျားသောအခါ၊ လမ်းလျှောက်နေသူ၊ အမြင့်တစ်ခုနှင့် တစ်ခုနိမ့်ကာ တုန်ခါမှုဖြစ်စေသည်။ ဤတုန်ခါမှုမျိုးသည် တိကျစွာလုပ်ဆောင်ခြင်းတွင် အလွန်ပြင်းထန်သည်။ ဥပမာအားဖြင့်၊ optical မှန်ဘီလူးများကို ပွတ်သောအခါ၊ မှန်ဘီလူး၏ မျက်နှာပြင်ကို ကြမ်းတမ်းစေနိုင်သည်။ မူလမှန်ကဲ့သို့ အကျိုးသက်ရောက်မှုကို ရရှိနိုင်သော မှန်ဘီလူးများသည် ၎င်းတို့၏ အပိုင်းအစနှုန်းကို 30% တိုက်ရိုက်တက်စေမည်ဖြစ်သည်။
အပူချိန် "ဒုက္ခဖြစ်စေသည်" − semiconductor photolithography လုပ်ငန်းစဉ်တွင်၊ တိကျသောအနေအထားကို ထိန်းချုပ်ရန် လိုအပ်သည်။ သို့ရာတွင်၊ ကျောက်စိမ်းတုံး၏ မတူညီသော ဧရိယာများ၏ အပူချဲ့ကိန်း ကိန်းဂဏန်းများသည် အလွန်ကွာခြားပါက၊ အပူချိန် ပြောင်းလဲသွားသည်နှင့်၊ အခြေသည် "ပုံပျက်နေပြီး ပုံပျက်နေသည်" ဖြစ်ကာ နေရာချထားမှု အမှားအယွင်းများ ပိုမိုကြီးမားလာပြီး wafer တစ်ခုလုံးကို ဖျက်သိမ်းသွားနိုင်သည်။
မညီညာသောဝတ်ဆင်ခြင်း- မညီညာသော မာကျောမှုရှိသော အခြေခံသည် ဝတ်ဆင်မှုဒီဂရီအမျိုးမျိုးရှိသည့် ဖိနပ်တစ်ရံနှင့်တူသည်။ ရေရှည်အသုံးပြုပြီးနောက်၊ အလုပ်ခုံရှိ မာကျောမှုနည်းပါးသော အစိတ်အပိုင်းများသည် ပိုမိုလျင်မြန်စွာ ဟောင်းနွမ်းသွားပါမည်။ မူလဖြောင့်ဖြောင့်ရွေ့လျားသောလမ်းကြောင်းသည် တရွေ့ရွေ့ဖြစ်လာပြီး ဖြောင့်ဖြောင့်မှု သိသိသာသာကျဆင်းသွားမည်ဖြစ်သည်။ ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းစရိတ်လည်း သိသိသာသာ တိုးလာမယ်။
ပစ္စည်းများ တသမတ်တည်းရှိမှသာလျှင် Mount Tai ကဲ့သို့ လုပ်ဆောင်ချက် တည်ငြိမ်နိုင်မည်ဖြစ်သည်။
Granite Base ၏ ပစ္စည်းဂုဏ်သတ္တိများသည် တစ်ပြေးညီဖြစ်ပြီး တသမတ်တည်းဖြစ်သောအခါ အကျိုးကျေးဇူးများမှာ ချက်ချင်းဖြစ်သည်-
တည်ငြိမ်သော၊ တိကျပြီး အားကောင်းသည့် တက်ကြွသောစွမ်းဆောင်ရည်- တသမတ်တည်းရှိသောပစ္စည်းများဖြင့်ပြုလုပ်ထားသည့် အခြေခံသည် အလုပ်စားပွဲစတင်ချိန်၊ ရပ်သွားသည့်အခါ သို့မဟုတ် လျှင်မြန်စွာလှည့်သည့်အခါ တုန်ခါမှုကို အညီအမျှစုပ်ယူနိုင်သည်။ ဤနည်းဖြင့်၊ ထပ်ခါတလဲလဲ နေရာချထားခြင်း တိကျမှုသည် လူ့ဆံပင်ကို အစိတ်အပိုင်း 300 ခွဲ၍ တိကျမှုနှင့် ညီမျှသော အံ့သြဖွယ် ±0.3μm သို့ ရောက်ရှိနိုင်သည်။
တိကျသောအပူချိန်တုံ့ပြန်မှု- အပူချဲ့ထွင်မှု၏ ပေါင်းစပ်ကိန်းဂဏန်းသည် အခြေခံတွင် "အသိဉာဏ်ရှိသော အပူချိန်ထိန်းချုပ်မှုစနစ်" ကို တပ်ဆင်ခြင်းနှင့် တူသည်။ အင်ဂျင်နီယာများသည် အပူချိန်ပြောင်းလဲသောအခါတွင် အခြေခံ၏ ပုံပျက်ခြင်းကို တိကျစွာ ခန့်မှန်းနိုင်သည်။ algorithm လျော်ကြေးပေးခြင်းဖြင့်၊ အပူပုံပျက်ခြင်းအမှားကို ±0.5μm အတွင်း ထိန်းချုပ်ထားသည်။
ပိုရှည်သော "ဝန်ဆောင်မှုသက်တမ်း"- တူညီသော မာကျောမှုနှင့် သိပ်သည်းဆသည် အောက်ခြေ၏အစိတ်အပိုင်းအားလုံးကို "အညီအမျှ ဖိစီးထားသည်" ဖြစ်ကြောင်း သေချာစေရန်၊ ဒေသအတွင်း အလွန်အကျွံဝတ်ဆင်ခြင်းကို ရှောင်ကြဉ်ပါ။ သာမာန်စက်အောက်ခံများကို ငါးနှစ်တစ်ကြိမ် လဲလှယ်ရန် လိုအပ်သော်လည်း တစ်သမတ်တည်းပြုလုပ်ထားသည့် အရည်အသွေးမြင့်ပစ္စည်းများသည် ရှစ်နှစ်မှ ဆယ်နှစ်အထိ ကြာရှည်နိုင်ပြီး စက်ပစ္စည်းအစားထိုးမှုကုန်ကျစရိတ်များစွာကို သက်သာစေပါသည်။
"ယုံကြည်စိတ်ချရသော" granite လေယာဉ်အခြေစိုက်စခန်းကို မည်သို့ရွေးချယ်နိုင်မည်နည်း။
"ဇာစ်မြစ်" ကို ခွဲခြားသတ်မှတ်ပါ- တူညီသော ဓာတ်သတ္တုအလွှာမှ တူးဖော်ရရှိသော ကျောက်တုံးကျောက်တုံးများကို တစ်ပင်တည်းမှ အသီးအနှံများကို ကောက်ယူခြင်းကဲ့သို့ပင်၊ တူညီသော သတ္တုအလွှာမှ တူးဖော်ရရှိသော ကျောက်တုံးများကို ရွေးချယ်ပါ၊ ၎င်းသည် ဓာတ်သတ္တုပါဝင်မှု တူညီကြောင်း သေချာစေပါသည်။
တင်းကျပ်သော "ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာ စစ်ဆေးခြင်း"- ယုံကြည်စိတ်ချရသော ကျောက်တုံးစက်ခြေရင်းများသည် ရောင်စဉ်တန်းခွဲခြမ်းစိတ်ဖြာခြင်းနှင့် သိပ်သည်းဆစမ်းသပ်ခြင်းကဲ့သို့သော "စစ်ဆေးရေးဂိတ်" 12 ခုကို ဖြတ်သန်းရမည်ဖြစ်ပြီး အဆင့်အတန်းမမီသော ပစ္စည်းများအားလုံးကို ဖယ်ရှားပစ်မည်ဖြစ်သည်။
"ID ကတ်" ကို စစ်ဆေးပါ- အရည်အသွေး အသိအမှတ်ပြု လက်မှတ်နှင့် စမ်းသပ်မှု အစီရင်ခံစာများ ပေးအပ်ရန် ပေးသွင်းသူကို တောင်းဆိုပါ။ တရားဝင် အသိအမှတ်ပြု ထောက်ခံချက်ပါသော အခြေခံတစ်ခုကိုသာ စိတ်အေးချမ်းသာစွာ အသုံးပြုနိုင်မည်ဖြစ်သည်။
တိကျသော စက်ယန္တရားလောကတွင်၊ အောင်မြင်မှု သို့မဟုတ် ကျရှုံးမှုကို အသေးစိတ် ဆုံးဖြတ်သည်။ Granite Base ၏ ပစ္စည်းများ၏ ညီညွတ်မှုသည် တိကျသေချာစေရန်နှင့် ကုန်ကျစရိတ်များကို လျှော့ချရန်အတွက် အဓိကသော့ချိတ်တစ်ခုဖြစ်သည်။ နောက်တစ်ကြိမ် ပစ္စည်းရွေးချယ်သည့်အခါ၊ ဤ "အသေးစိတ်အသေးစိတ်" ကို ထပ်၍ မေ့လျော့မနေပါနှင့်။
တင်ချိန်- ဇွန်လ ၁၇-၂၀၂၅