တိကျမှုတိုင်းတာခြင်းနယ်ပယ်တွင်၊ ဂရန်နိုက်ဖြောင့်တန်းသည် စက်ပစ္စည်းများနှင့် တိုင်းတာမှုများ၏ တိကျမှုကိုသေချာစေရန် အဓိကကိရိယာတစ်ခုအနေဖြင့်၊ ၎င်း၏ ပြားချပ်မှုအဆင့်သည် တိုင်းတာမှုရလဒ်များ၏ ယုံကြည်စိတ်ချရမှုကို တိုက်ရိုက်အကျိုးသက်ရောက်သည်။ အမေရိကန်ပြည်ထောင်စု၏ အမျိုးသားစံချိန်စံညွှန်းနှင့်နည်းပညာအင်စတီကျု (NIST) အသိအမှတ်ပြုလက်မှတ်သည် မြင့်မားသောတိကျမှုတိုင်းတာရေးပစ္စည်းများအတွက် ကမ္ဘာလုံးဆိုင်ရာအသိအမှတ်ပြု တရားဝင်စံနှုန်းတစ်ခုဖြစ်ပြီး AA-level ပြားချပ်မှုသည် အလွန်မြင့်မားသောတိကျမှုလိုအပ်ချက်များရှိသော အဆင့်များထဲမှ တစ်ခုဖြစ်သည်။ လုပ်ငန်းတွင် ဦးဆောင်အမှတ်တံဆိပ်တစ်ခုအနေဖြင့် ZHHIMG သည် ၎င်း၏အဆင့်မြင့်နည်းပညာနှင့် တင်းကျပ်သောလက်မှုပညာဖြင့် အသုံးပြုသူများအား ဂရန်နိုက်ဖြောင့်တန်းစက်များအတွက် NIST အသိအမှတ်ပြုလက်မှတ်နှင့် AA-level ပြားချပ်မှုရည်မှန်းချက်များရရှိရန် ကူညီပေးသည်။ အောက်ပါတို့သည် ချိန်ညှိခြင်း၏ အဓိကအချက်များနှင့် အကောင်အထည်ဖော်မှုလမ်းကြောင်းများ၏ အသေးစိတ်ခွဲခြမ်းစိတ်ဖြာမှုကို ပေးပါမည်။
၁။ NIST အသိအမှတ်ပြုလက်မှတ်နှင့် AA-level flatness စံနှုန်းကို နားလည်ပါ။
NIST အသိအမှတ်ပြုလက်မှတ်သည် ၎င်း၏တင်းကျပ်သောစမ်းသပ်မှုနှင့် အကဲဖြတ်လုပ်ငန်းစဉ်များအတွက် နာမည်ကြီးပြီး ၎င်း၏အဓိကရည်ရွယ်ချက်မှာ တိုင်းတာသည့်ကိရိယာများသည် ကမ္ဘာ့ဦးဆောင်တိကျမှုစံနှုန်းများနှင့် ကိုက်ညီကြောင်းသေချာစေရန်ဖြစ်သည်။ ဂရန်နိုက်ဖြောင့်တန်းစက်ကွင်းတွင် AA အဆင့် ပြားချပ်မှုလိုအပ်ချက်သည် အလွန်တင်းကျပ်သည်။ ယေဘုယျအားဖြင့် မီတာအရှည်တစ်ခုစီအတွင်းရှိ ပြားချပ်မှုအမှားအယွင်းကို ±0.5μm အတွင်း ထိန်းချုပ်သင့်သည်ဟု သတ်မှတ်ထားသည်။ ဤစံနှုန်းသည် ဖြောင့်တန်းစက်ကွင်း၏ ပစ္စည်းဂုဏ်သတ္တိများ၊ လုပ်ဆောင်ခြင်းနည်းပညာနှင့် ချိန်ညှိနည်းပညာအတွက် အလွန်မြင့်မားသောလိုအပ်ချက်များကို တင်ပြသည်။ NIST မှ အသိအမှတ်ပြုထားသော AA-level ဂရန်နိုက်ဖြောင့်တန်းစက်ကွင်းသည် မြင့်မားသောတိကျမှုတိုင်းတာမှုအတွက် ယုံကြည်စိတ်ချရသောအာမခံချက်တစ်ခုသာမက လုပ်ငန်း၏နည်းပညာအစွမ်းသတ္တိနှင့် ထုတ်ကုန်အရည်အသွေး၏ အစွမ်းထက်သောသက်သေတစ်ခုလည်းဖြစ်သည်။
II. ZHHIMG ဂရန်နိုက်ဖြောင့်တန်း၏ အရည်အသွေးအခြေခံ
ZHHIMG ဂရန်နိုက်ဖြောင့်တန်းသည် ပစ္စည်းရွေးချယ်မှုအဆင့်မှစ၍ မြင့်မားသောတိကျမှုအုတ်မြစ်ချပေးခဲ့သည်။ ရွေးချယ်ထားသော အရည်အသွေးမြင့် သဘာဝဂရန်နိုက်သည် သိပ်သည်းသော အတွင်းပိုင်းသတ္တုပုံဆောင်ခဲများဖြစ်ပေါ်ခြင်းနှင့် တစ်ပြေးညီဖွဲ့စည်းပုံရှိပြီး 5-7 ×10⁻⁶/℃ အထိ အပူချိန်ချဲ့ထွင်မှုကိန်းရှိပြီး သဘာဝတည်ငြိမ်မှုနှင့် ပုံပျက်ခြင်းကို ဆန့်ကျင်နိုင်စွမ်းရှိပြီး AA-အဆင့် ပြားချပ်ချပ်ရရှိစေရန် မွေးရာပါအားသာချက်ကို ပေးစွမ်းသည်။ လုပ်ဆောင်သည့်အဆင့်တွင် ZHHIMG သည် CNC ကြိတ်ခွဲခြင်းနှင့် ඔප දැමීමကဲ့သို့သော အဆင့်မြင့်နည်းပညာများကို အသုံးပြုပြီး အချိန်နှင့်တပြေးညီ ချိန်ညှိရန်အတွက် လေဆာ interferometers ကဲ့သို့သော မြင့်မားသောတိကျမှုထောက်လှမ်းသည့်ကိရိယာများနှင့် ပေါင်းစပ်အသုံးပြုကာ ဖြောင့်တန်းစက်၏မျက်နှာပြင်သည် လုပ်ဆောင်နေစဉ်အတွင်း အလွန်မြင့်မားသော ကနဦးတိကျမှုကို ရရှိစေပြီး နောက်ဆက်တွဲ ချိန်ညှိမှုလုပ်ငန်းအတွက် ကောင်းမွန်သောအခြေအနေများကို ဖန်တီးပေးသည်။
III. စံကိုက်ညှိခြင်းမပြုမီ ပြင်ဆင်မှုများ
NIST အသိအမှတ်ပြု စံကိုက်ညှိမှု မပြုလုပ်မီ၊ ဖြောင့်တန်းသည် အကောင်းဆုံးအခြေအနေတွင်ရှိကြောင်း သေချာစေရန် လိုအပ်ပါသည်။ ပထမဦးစွာ၊ ဖြောင့်တန်း၏ မျက်နှာပြင်ကို နက်ရှိုင်းစွာ သန့်ရှင်းရေးလုပ်သင့်သည်။ စံကိုက်ညှိမှု တိကျမှုကို ထိခိုက်စေသော မသန့်စင်မှုများကို ရှောင်ရှားရန် မျက်နှာပြင်ပေါ်ရှိ ဆီအစွန်းအထင်းများ၊ ဖုန်မှုန့်များနှင့် အခြားအညစ်အကြေးများကို ဖယ်ရှားရန် အမွေးအမှင်ကင်းသော အဝတ်စနှင့် အထူးသန့်စင်ဆေးရည်ကို အသုံးပြုပါ။ ဒုတိယအနေဖြင့်၊ ပတ်ဝန်းကျင်အပူချိန်နှင့် စိုထိုင်းဆကို အပြည့်အဝ လိုက်လျောညီထွေဖြစ်အောင် ၂၄ နာရီထက်ပို၍ ဖြောင့်တန်းကို ထားပါ။ ပတ်ဝန်းကျင်ပြောင်းလဲမှုများကြောင့် ဖြစ်ပေါ်လာသော အသေးစားပုံပျက်မှုများကို ဖယ်ရှားပေးခြင်းဖြင့် ပတ်ဝန်းကျင်အပူချိန်နှင့် စိုထိုင်းဆကို အပြည့်အဝ လိုက်လျောညီထွေဖြစ်အောင် ထားရန်။ ထို့အပြင်၊ လေဆာ interferometers နှင့် အီလက်ထရွန်းနစ်အဆင့်များကဲ့သို့သော မြင့်မားသောတိကျမှုရှိသော စံကိုက်ညှိကိရိယာများကို ပြင်ဆင်ရန် လိုအပ်ပါသည်။ ဤကိရိယာများ၏ တိကျမှုသည် စံကိုက်ညှိမှုရလဒ်များ၏ တိကျမှုကို တိုက်ရိုက်အကျိုးသက်ရောက်ပါသည်။
IV. စံကိုက်ညှိခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်နှင့် အဓိကနည်းပညာများ
အကြမ်းဖျင်းချိန်ညှိခြင်း- ဖြောင့်တန်းသော မျက်နှာပြင်၏ ကနဦးတိုင်းတာမှုပြုလုပ်ရန် အီလက်ထရွန်းနစ်အဆင့်ကို အသုံးပြုပါ။ ဖြောင့်တန်းသော မျက်နှာပြင်၏ ခန့်မှန်းခြေ ပုံသဏ္ဍာန်ဒေတာကို ရရှိရန် သတ်မှတ်ထားသော အကွာအဝေးများ (ဥပမာ ၁၀၀ မီလီမီတာကဲ့သို့) တွင် တိုင်းတာမှုအမှတ်တစ်ခုကို စုဆောင်းပါ။ တိုင်းတာမှုရလဒ်များအပေါ် အခြေခံ၍ ဖြောင့်တန်းသော မျက်နှာပြင်ကို ထင်ရှားသော မြင့်မားသောအမှတ်များကို ဖယ်ရှားရန် CNC ကြိတ်ခွဲသည့် စက်ကိရိယာများမှတစ်ဆင့် အကြမ်းဖျင်း စက်ဖြင့် စက်ဖြင့် ပြုလုပ်ခဲ့ပြီး ပြားချပ်မှုသည် AA အဆင့် စံနှုန်းလိုအပ်ချက်များနှင့် ကနဦးတွင် နီးကပ်လာစေပါသည်။
တိကျမှုချိန်ညှိခြင်း- မြင့်မားသောတိကျမှုရှိသောတိုင်းတာမှုကို လေဆာအင်တာဖယ်ရိုမီတာကို အသုံးပြု၍ ပြုလုပ်ထားပြီး ၎င်းသည် ဖြောင့်တန်းသောမျက်နှာပြင်ပေါ်ရှိ အမြင့်ပြောင်းလဲမှုများကို မိုက်ခရိုမီတာအဆင့်တွင် တိကျစွာထောက်လှမ်းနိုင်သည်။ အင်တာဖယ်ရိုမီတာမှ ပြန်လည်ပေးပို့သောဒေတာအပေါ်အခြေခံ၍ ဖြောင့်တန်းသောမျက်နှာပြင်ကို လက်ဖြင့်ကြိတ်ခြင်းနှင့် CNC စက်ဖြင့်ပြုလုပ်ခြင်းကို ပေါင်းစပ်ခြင်းဖြင့် ကောင်းစွာကြိတ်ခွဲခဲ့သည်။ ကြိတ်ခွဲခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်အတွင်း ပြားချပ်မှုအမှားအယွင်းကို တဖြည်းဖြည်းဖယ်ရှားရန် ကြိတ်ခွဲဖိအားနှင့် ဦးတည်ချက်ကို အဆက်မပြတ်ချိန်ညှိရန် လိုအပ်သောကြောင့် ဖြောင့်တန်းသောမျက်နှာပြင်ပြားချပ်မှုသည် ပိုမိုမြင့်မားသောအဆင့်သို့ရောက်ရှိနိုင်သည်။
ထပ်ခါတလဲလဲ အတည်ပြုခြင်းနှင့် အသေးစိတ်ချိန်ညှိခြင်း- အသေးစိတ်ချိန်ညှိမှုပြီးဆုံးပြီးနောက်၊ တိုင်းတာမှုအမှတ်တစ်ခုစီ၏ ပြားချပ်မှုအမှားအယွင်းသည် AA-အဆင့် စံသတ်မှတ်ချက်အတိုင်းအတာအတွင်းရှိကြောင်း သေချာစေရန်အတွက် ဖြောင့်တန်း၏ ဘက်စုံစစ်ဆေးမှုကို ထပ်မံပြုလုပ်ရန် လေဆာ interferometer နှင့် အီလက်ထရွန်းနစ်အဆင့်ကို အသုံးပြုပါ။ ဒေသတွင်းတွင် အသေးစားအမှားအယွင်းများတွေ့ရှိပါက၊ ဖြောင့်တန်း၏ အလုံးစုံပြားချပ်မှုသည် NIST အသိအမှတ်ပြုလက်မှတ်၏ AA-အဆင့် လိုအပ်ချက်များနှင့် အပြည့်အဝကိုက်ညီသည်အထိ ပစ်မှတ်ထား အသေးစိတ်ချိန်ညှိမှုကို ပြုလုပ်သင့်သည်။
V. NIST အသိအမှတ်ပြုလက်မှတ်လျှောက်လွှာနှင့် ပြန်လည်သုံးသပ်ခြင်း
စံကိုက်ညှိခြင်းပြီးဆုံးပြီး ဖြောင့်တန်းသည် AA-အဆင့် ပြားချပ်မှုရှိကြောင်း အတည်ပြုပြီးနောက်၊ အသိအမှတ်ပြုလက်မှတ်လျှောက်လွှာကို NIST သို့ တင်သွင်းနိုင်ပါသည်။ လျှောက်လွှာလုပ်ငန်းစဉ်အတွင်း ဖြောင့်တန်း၏ အသေးစိတ်နည်းပညာဆိုင်ရာ ကန့်သတ်ချက်များ၊ လုပ်ဆောင်ခြင်းနည်းပညာဖော်ပြချက်များ၊ စံကိုက်ညှိမှတ်တမ်းများနှင့် အခြားပစ္စည်းများကို ပေးရပါမည်။ NIST သည် ဖြောင့်တန်း၏ လုပ်ငန်းခွင်စစ်ဆေးမှုများနှင့် အကဲဖြတ်မှုများပြုလုပ်ရန် ပရော်ဖက်ရှင်နယ်ပြန်လည်သုံးသပ်သူများကို စေလွှတ်ပါမည်။ ပြန်လည်သုံးသပ်ချက်တွင် ဖြောင့်တန်း၏ ပြားချပ်မှု၊ အပူချိန်တည်ငြိမ်မှုနှင့် ယိုယွင်းပျက်စီးမှုခံနိုင်ရည်ကဲ့သို့သော ရှုထောင့်များစွာကို လွှမ်းခြုံထားမည်ဖြစ်သည်။ တင်းကျပ်သော ပြန်လည်သုံးသပ်မှုကို အောင်မြင်သော ဂရန်နိုက်ဖြောင့်တန်းသာလျှင် NIST အသိအမှတ်ပြုလက်မှတ်ရရှိနိုင်ပြီး တိကျမှုတိုင်းတာခြင်းနယ်ပယ်တွင် စံသတ်မှတ်ချက်ထုတ်ကုန်တစ်ခု ဖြစ်လာနိုင်သည်။
အထက်ဖော်ပြပါ ZHHIMG ဂရန်းနိုက်ဖြောင့်တန်းချိန်ညှိမှုလမ်းညွှန်ချက်များကို လိုက်နာခြင်းဖြင့် လုပ်ငန်းများနှင့် သုတေသနအဖွဲ့အစည်းများသည် NIST အသိအမှတ်ပြုလက်မှတ်နှင့် AA အဆင့် ပြားချပ်ချပ်ရည်မှန်းချက်များကို ပိုမိုထိရောက်စွာ ရရှိနိုင်ပါသည်။ စက်မှုထုတ်လုပ်မှု၊ အာကာသယာဉ် သို့မဟုတ် အီလက်ထရွန်းနစ်ချစ်ပ်များကဲ့သို့သော အလွန်မြင့်မားသော တိကျမှုလိုအပ်ချက်များရှိသော လုပ်ငန်းများတွင်ဖြစ်စေ၊ NIST မှ အသိအမှတ်ပြုထားသော ZHHIMG ဂရန်းနိုက်ဖြောင့်တန်းသည် တိုင်းတာမှုတိကျမှုနှင့် ထုတ်ကုန်အရည်အသွေးကို သေချာစေရန် ယုံကြည်စိတ်ချရသော မိတ်ဖက်တစ်ဦးဖြစ်လာပြီး လုပ်ငန်းများကို တိကျမှုတိုင်းတာမှုနယ်ပယ်တွင် အဆက်မပြတ်ထိုးဖောက်ဝင်ရောက်ရန်နှင့် ပိုမိုမြင့်မားသောတိကျမှု၏အနာဂတ်သို့ ဦးတည်ရန် ကူညီပေးပါလိမ့်မည်။
ပို့စ်တင်ချိန်: ၂၀၂၅ ခုနှစ်၊ မေလ ၁၃ ရက်