တိကျသော hydrostatic လေပေါ်မျောလှုပ်ရှားမှုပလက်ဖောင်း၏ “မမြင်ရသောဒိုင်း”: ဂရနိုက်တိကျသောအခြေခံ၏ တင်းကျပ်သောပတ်ဝန်းကျင်ဆိုင်ရာလိုအပ်ချက်များ။

အဆင့်မြင့်ထုတ်လုပ်မှုနှင့် ခေတ်မီသိပ္ပံနည်းကျသုတေသနနယ်ပယ်များတွင်၊ တိကျသော static pressure air floating movement platform သည် အလွန်တိကျသောလည်ပတ်မှုကိုရရှိရန် အဓိကပစ္စည်းကိရိယာများဖြစ်သည်။ granite precision base သည် platform ၏အဓိကထောက်ပံ့မှုအစိတ်အပိုင်းဖြစ်ပြီး ၎င်း၏စွမ်းဆောင်ရည်သည် အလုပ်ခွင်ပတ်ဝန်းကျင်နှင့် နီးကပ်စွာဆက်စပ်နေသည်။ ဤပတ်ဝန်းကျင်လိုအပ်ချက်များကို နားလည်ခြင်းနှင့် ကိုက်ညီခြင်းသည် platform ၏ မြင့်မားသောတိကျသောလည်ပတ်မှုကို သေချာစေရုံသာမက ဆက်စပ်နယ်ပယ်များတွင် ၎င်း၏ယှဉ်ပြိုင်နိုင်စွမ်းကို မြှင့်တင်ရန် လုပ်ငန်း၏အရေးကြီးသောအစိတ်အပိုင်းတစ်ခုလည်းဖြစ်ပြီး အောက်တွင်အသေးစိတ်ဖော်ပြထားသည်။

ဇိမ်ဂ် အိုင်ဆို
၁။ အပူချိန်- အတိုင်းအတာတည်ငြိမ်မှုကိုသေချာစေရန် တိကျသောထိန်းချုပ်မှု
ဂရန်နိုက်သည် ၎င်း၏တည်ငြိမ်မှုအတွက် လူသိများသော်လည်း ၎င်း၏အပူချဲ့ထွင်မှုကိန်းဂဏန်းသည် သုညမဟုတ်ပါ၊ အပူချိန်ပြောင်းလဲမှုအနည်းငယ်သည် ၎င်း၏အတိုင်းအတာတိကျမှုကို ထိခိုက်နိုင်သည်။ ယေဘုယျအားဖြင့် ဂရန်နိုက်၏ အပူချဲ့ထွင်မှုကိန်းဂဏန်းသည် 5-7 ×10⁻⁶/℃ ဖြစ်သည်။ တိကျသော static pressure air floating movement platform ၏အသုံးချမှုအခြေအနေတွင်၊ ဤအနည်းငယ်ပြောင်းလဲမှုကို platform မှပိုမိုများပြားစေပြီး ရွေ့လျားမှုတိကျမှု၏ သွေဖည်မှုကို ဖြစ်ပေါ်စေနိုင်သည်။ ဥပမာအားဖြင့်၊ semiconductor chip ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်တွင်၊ danami အဆင့်၏ positioning accuracy အတွက် lithography လုပ်ငန်းစဉ်၊ 1°C ၏ ambient temperature အတက်အကျ၊ 1 မီတာ granite base ၏ဘေးတစ်ဖက်အရှည်သည် 5-7 microns linear expansion သို့မဟုတ် contraction ကိုဖြစ်ပေါ်စေနိုင်ပြီး chip lithography pattern သွေဖည်စေပြီး yield ကို လျော့ကျစေသည်။ ထို့ကြောင့်၊ granite precision base တပ်ဆင်ထားသော precision static pressure air floating platform သည် အကောင်းဆုံးအလုပ်လုပ်ပတ်ဝန်းကျင်အပူချိန်ကို 20°C ±1°C တွင် တင်းကြပ်စွာထိန်းချုပ်သင့်ပြီး၊ လုပ်ငန်းများသည် မြင့်မားသောတိကျမှုရှိသော constant temperature air conditioning system ကိုတပ်ဆင်နိုင်ပြီး၊ ambient temperature ကို စဉ်ဆက်မပြတ်စောင့်ကြည့်ပြီး တိကျစွာချိန်ညှိနိုင်ပြီး၊ ဂရန်နိုက် base ၏ တည်ငြိမ်မှုကို ထိန်းသိမ်းကာ platform သည် မြင့်မားသောတိကျမှုရှိသောလည်ပတ်မှုကိုသေချာစေသည်။
၂။စိုထိုင်းဆ- သင့်တင့်လျောက်ပတ်သော ထိန်းချုပ်မှု၊ အခြေခံစွမ်းဆောင်ရည်ကို ကာကွယ်ပေးသည်
စိုထိုင်းဆသည် တိကျသော ဂရန်နိုက်အခြေခံများအပေါ် သိသာထင်ရှားသော အကျိုးသက်ရောက်မှုရှိသည်။ စိုထိုင်းဆမြင့်မားသောပတ်ဝန်းကျင်တွင် ဂရန်နိုက်သည် ရေငွေ့ကို စုပ်ယူရလွယ်ကူပြီး မျက်နှာပြင်ပေါ်တွင် ငွေ့ရည်ဖွဲ့နိုင်သောကြောင့် လေပေါ်မျောစနစ်၏ ပုံမှန်လည်ပတ်မှုကို အနှောင့်အယှက်ဖြစ်စေရုံသာမက ဂရန်နိုက်မျက်နှာပြင်၏ ရေရှည်တိုက်စားမှုကိုလည်း ဖြစ်ပေါ်စေပြီး ၎င်း၏တိကျမှုနှင့် ဝန်ဆောင်မှုသက်တမ်းကို လျော့ကျစေသည်။ ဥပမာအားဖြင့် မှန်ဘီလူးကြိတ်ခွဲသည့်အလုပ်ရုံကို ယူ၍ စိုထိုင်းဆ ၆၀% RH ထက် ကြာရှည်စွာမြင့်မားပါက ဂရန်နိုက်အခြေခံ၏ မျက်နှာပြင်ပေါ်တွင် စုပ်ယူထားသော ရေငွေ့သည် လေပေါ်မျောအလွှာ၏ တစ်ပြေးညီဖြစ်မှုကို ဖျက်ဆီးပစ်ပြီး မှန်ဘီလူးကြိတ်ခွဲမှုတိကျမှုနှင့် မျက်နှာပြင်ချို့ယွင်းချက်များကို လျော့ကျစေသည်။ ထို့ကြောင့် အလုပ်ခွင်ပတ်ဝန်းကျင်၏ ဆွေမျိုးစိုထိုင်းဆကို ၄၀% မှ ၆၀% RH အကြား ထိန်းချုပ်ရန် လိုအပ်သည်။ စီးပွားရေးလုပ်ငန်းများသည် စိုထိုင်းဆကို အချိန်နှင့်တပြေးညီ စောင့်ကြည့်ထိန်းချုပ်ရန်၊ တိကျသော ဂရန်နိုက်အခြေခံအတွက် သင့်လျော်သော စိုထိုင်းဆပတ်ဝန်းကျင်ကို ဖန်တီးရန်နှင့် တိကျသော static pressure လေပေါ်မျောလှုပ်ရှားမှုပလက်ဖောင်း၏ တည်ငြိမ်သောလည်ပတ်မှုကို သေချာစေရန် dehumidifiers၊ စိုထိုင်းဆအာရုံခံကိရိယာများနှင့် အခြားပစ္စည်းများကို အသုံးပြုနိုင်သည်။

တိကျသော ဂရန်နိုက် ၂၆
၃။ သန့်ရှင်းမှု- တင်းကြပ်စွာ ထိန်းချုပ်ပြီး အမှုန်အမွှားများ ဝင်ရောက်စွက်ဖက်မှုကို ဖယ်ရှားပါ။
ဖုန်မှုန့်အမှုန်များသည် တိကျသော static pressure air floating movement platform ၏ "ရန်သူ" ဖြစ်ပြီး granite precision base ကို ကြီးမားသော ထိခိုက်မှုဖြစ်စေသည်။ ဓာတ်ငွေ့ float slider နှင့် granite base အကြားရှိ ဓာတ်ငွေ့ဖလင်ကွာဟချက်ထဲသို့ သေးငယ်သော အမှုန်များ ဝင်ရောက်သွားသည်နှင့် ၎င်းတို့သည် ဓာတ်ငွေ့ဖလင်၏ တစ်ပြေးညီဖြစ်မှုကို ပျက်စီးစေပြီး ပွတ်တိုက်မှုကို တိုးစေပြီး base မျက်နှာပြင်ကိုပင် ခြစ်ရာဖြစ်စေပြီး platform ရွေ့လျားမှု၏ တိကျမှုကို ပြင်းထန်စွာ ထိခိုက်စေနိုင်သည်။ အာကာသယာဉ်အစိတ်အပိုင်းများ၏ အလွန်တိကျသော စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ အလုပ်ရုံတွင်၊ လေထဲရှိ ဖုန်မှုန့်များသည် granite base ပေါ်သို့ ကျရောက်ပါက စက်ပိုင်းဆိုင်ရာကိရိယာ၏ ရွေ့လျားမှုလမ်းကြောင်း သွေဖည်သွားနိုင်ပြီး အစိတ်အပိုင်းများ၏ စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ တိကျမှုကို ထိခိုက်စေနိုင်သည်။ ထို့ကြောင့်၊ အလုပ်လုပ်သည့်နေရာကို အလွန်သန့်ရှင်းစွာထားပြီး 10,000 သို့မဟုတ် ထို့ထက်ပိုသော သန့်ရှင်းမှုစံနှုန်းကို ရောက်ရှိသင့်သည်။ စီးပွားရေးလုပ်ငန်းများသည် မြင့်မားသောစွမ်းဆောင်ရည်ရှိသော လေစစ်ထုတ်ကိရိယာများ (HEPA) တပ်ဆင်ခြင်းဖြင့် လေထဲတွင် ဖုန်မှုန့်များကို စစ်ထုတ်နိုင်ပြီး လူသားများမှ ယူဆောင်လာသော ဖုန်မှုန့်များကို လျှော့ချရန်နှင့် granite base နှင့် တိကျသော static pressure air floating movement platform ၏ မြင့်မားသောတိကျသော လည်ပတ်မှုပတ်ဝန်းကျင်ကို ထိန်းသိမ်းရန် ဝန်ထမ်းများအား ဖုန်မှုန့်ကင်းစင်သော အဝတ်အစား၊ ဖိနပ်အဖုံးများ စသည်တို့ကို ဝတ်ဆင်ရန် လိုအပ်ပါသည်။
၄။ တုန်ခါမှု- ချောမွေ့သောနေရာတစ်ခုဖန်တီးရန် ထိရောက်သောအထီးကျန်မှု
ပြင်ပတုန်ခါမှုသည် တိကျသော static pressure air floating platform ၏ တိကျမှုကို ပြင်းထန်စွာ အနှောင့်အယှက်ဖြစ်စေနိုင်သော်လည်း၊ တိကျသော granite base တွင် တုန်ခါမှုကို လျှော့ချနိုင်သည့်စွမ်းရည် အတိုင်းအတာတစ်ခုရှိသော်လည်း၊ မြင့်မားသောအစွမ်းသတ္တိရှိသော တုန်ခါမှုသည် ၎င်း၏ buffer limit ကို ချိုးဖောက်နိုင်သည်။ စက်ရုံပတ်လည်ရှိ ယာဉ်ကြောပိတ်ဆို့မှုနှင့် ကြီးမားသော စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ စက်ပစ္စည်းများ လည်ပတ်မှုကြောင့် ဖြစ်ပေါ်လာသော တုန်ခါမှုကို မြေပြင်မှတစ်ဆင့် granite base သို့ ပေးပို့ပြီး ၎င်းသည် platform ရွေ့လျားမှု၏ တိကျမှုကို အနှောင့်အယှက်ဖြစ်စေလိမ့်မည်။ high-end CMM တွင်၊ တုန်ခါမှုသည် တိုင်းတာသည့် probe နှင့် workpiece အကြား ထိတွေ့မှုကို တိုင်းတာရာတွင် မတည်မငြိမ်ဖြစ်စေပြီး တိုင်းတာမှုဒေတာ သွေဖည်မှုကို ဖြစ်ပေါ်စေနိုင်သည်။ ဤပြဿနာကို ဖြေရှင်းရန်အတွက်၊ စက်ပစ္စည်းတပ်ဆင်သည့်နေရာတွင် တုန်ခါမှု isolation pad များချထားခြင်း၊ တုန်ခါမှု isolation foundation တည်ဆောက်ခြင်း သို့မဟုတ် ပြင်ပတုန်ခါမှုကို တက်ကြွစွာ ချိန်ညှိရန် active vibration isolation system ကို အသုံးပြုခြင်းကဲ့သို့သော ထိရောက်သော တုန်ခါမှု isolation အစီအမံများကို လက်ခံကျင့်သုံးရန်နှင့် granite precision base နှင့် precision static pressure air floating movement platform အတွက် တိတ်ဆိတ်ငြိမ်သက်ပြီး တည်ငြိမ်သော အလုပ်ခွင်ပတ်ဝန်းကျင်ကို ဖန်တီးရန် လိုအပ်ပါသည်။
အထက်ဖော်ပြပါ ပတ်ဝန်းကျင်ဆိုင်ရာ လိုအပ်ချက်များနှင့် ကိုက်ညီစေရန်၊ တိကျသော static pressure air floating movement platform တွင် granite precision base ၏ အားသာချက်များကို အပြည့်အဝ အသုံးချနိုင်ရန်၊ platform သည် မတူညီသော စက်မှုလုပ်ငန်းများအတွက် မြင့်မားသော တိကျမှုနှင့် မြင့်မားသော တည်ငြိမ်မှု motion control ဝန်ဆောင်မှုများကို ပေးစွမ်းနိုင်ကြောင်း သေချာစေရန်အတွက်ဖြစ်သည်။ အကယ်၍ စီးပွားရေးလုပ်ငန်းများသည် ထုတ်လုပ်မှုပတ်ဝန်းကျင်တွင် ဤအသေးစိတ်အချက်အလက်များကို အာရုံစိုက်နိုင်ပါက၊ ၎င်းတို့သည် တိကျသော ထုတ်လုပ်မှု၊ သိပ္ပံနည်းကျ သုတေသနနှင့် အခြားနယ်ပယ်များတွင် အခွင့်အရေးကို ဆုပ်ကိုင်နိုင်မည်ဖြစ်ပြီး၊ ၎င်းတို့၏ ယှဉ်ပြိုင်နိုင်စွမ်းကို မြှင့်တင်ပေးမည်ဖြစ်ပြီး၊ ရေရှည်တည်တံ့သော ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်မှုကို ရရှိစေမည်ဖြစ်သည်။

တိကျသော ဂရန်နိုက် ၂၂


ပို့စ်တင်ချိန်: ၂၀၂၅ ခုနှစ်၊ ဧပြီလ ၁၀ ရက်