တိကျမှုထုတ်လုပ်ခြင်းနှင့် အဆင့်မြင့်သိပ္ပံနည်းကျသုတေသနနယ်ပယ်တွင်၊ တိကျမှု static pressure air floating platform ၏အခြေခံရွေးချယ်မှုသည် ၎င်း၏စွမ်းဆောင်ရည်ကိုဆုံးဖြတ်ရန် အဓိကအချက်ဖြစ်သည်။ ဂရန်နိုက်တိကျမှုအခြေခံနှင့် ကြွေအခြေခံတွင် ၎င်းတို့၏ကိုယ်ပိုင်ဝိသေသလက္ခဏာများရှိပြီး တည်ငြိမ်မှု၊ တိကျမှုထိန်းသိမ်းမှု၊ တာရှည်ခံမှုစသည်တို့တွင် အားသာချက်များနှင့် ဝိသေသလက္ခဏာများကွဲပြားမှုကိုပြသသည်။
တည်ငြိမ်မှု- သဘာဝဖွဲ့စည်းပုံနှင့် ဓာတုဖွဲ့စည်းပုံ
ဘူမိဗေဒဆိုင်ရာ အသွင်ကူးပြောင်းမှု ရှည်လျားပြီးနောက်၊ ဂရနိုက်သည် ကွာ့ဇ်၊ ဖယ်ဒ်စပါနှင့် အခြားသတ္တုများဖြင့် နီးကပ်စွာ ရောနှောနေပြီး သိပ်သည်းပြီး တူညီသောဖွဲ့စည်းပုံကို ဖန်တီးပေးသည်။ စက်ရုံအလုပ်ရုံတွင် ကြီးမားသော စက်ကိရိယာများ လည်ပတ်မှုကြောင့် ဖြစ်ပေါ်လာသော ပြင်းထန်သော တုန်ခါမှုကဲ့သို့သော ပြင်ပတုန်ခါမှုဝင်ရောက်စွက်ဖက်မှုကို ရင်ဆိုင်ရာတွင် ဂရနိုက်အခြေခံသည် ထိရောက်စွာ ပိတ်ဆို့ပြီး ပျော့ပျောင်းစေနိုင်ပြီး တိကျသော static pressure air floating platform ၏ တုန်ခါမှုပမာဏကို 80% ထက်ပို၍ လျှော့ချပေးနိုင်ပြီး မြင့်မားသော တိကျသော လုပ်ငန်းစဉ် သို့မဟုတ် ထောက်လှမ်းမှုတွင် ချောမွေ့စွာ ရွေ့လျားနိုင်စေရန် ပလက်ဖောင်းအတွက် တည်ငြိမ်သော လည်ပတ်မှုအခြေခံကို ပံ့ပိုးပေးသည်။ ဥပမာအားဖြင့်၊ semiconductor chip ထုတ်လုပ်ခြင်း၏ lithography လုပ်ငန်းစဉ်တွင် တည်ငြိမ်သော ဂရနိုက်အခြေခံသည် ချစ်ပ် lithography ပစ္စည်းကိရိယာများ၏ တိကျသောလည်ပတ်မှုကို သေချာစေပြီး ချစ်ပ်ပုံစံများ၏ မြင့်မားသော တိကျသော လက္ခဏာရပ်များကို ရရှိစေနိုင်သည်။
ကြွေထည်အောက်ခံကို လူလုပ်ပေါင်းစပ်မှုနှင့် အဆင့်မြင့်နည်းပညာဖြင့် ပြုလုပ်ထားပြီး ၎င်း၏အတွင်းပိုင်းဖွဲ့စည်းပုံသည်လည်း တစ်ပြေးညီဖြစ်ပြီး တုန်ခါမှုကို လျော့ချပေးသည့် ဂုဏ်သတ္တိကောင်းများရှိသည်။ ယေဘုယျတုန်ခါမှုကို ကိုင်တွယ်ဖြေရှင်းသည့်အခါ တိကျသော static pressure air floating platform အတွက် တည်ငြိမ်သောအလုပ်လုပ်ပတ်ဝန်းကျင်ကို ဖန်တီးပေးနိုင်သည်။ သို့သော် မြင့်မားသောခိုင်ခံ့မှုနှင့် စဉ်ဆက်မပြတ်တုန်ခါမှုကို ရင်ဆိုင်ရာတွင် ၎င်း၏တုန်ခါမှုလျှော့ချနိုင်စွမ်းသည် granite အောက်ခံထက် အနည်းငယ်နိမ့်ကျပြီး တုန်ခါမှုအနှောင့်အယှက်ကို တူညီသောနိမ့်သောအဆင့်သို့ လျှော့ချရန်ခက်ခဲပြီး ၎င်းသည် ပလက်ဖောင်း၏ အလွန်တိကျသောလှုပ်ရှားမှုအပေါ် တစ်စုံတစ်ရာသက်ရောက်မှုရှိနိုင်သည်။
တိကျမှု ထိန်းသိမ်းခြင်း- သဘာဝအားသာချက်များ၏ ချဲ့ထွင်မှု နည်းပါးခြင်းနှင့် တိကျမှုကို အတုအယောင်ထိန်းချုပ်မှု
ဂရန်နိုက်သည် ၎င်း၏ အပူချဲ့ထွင်မှုကိန်း အလွန်နည်းသောကြောင့် လူသိများပြီး ပုံမှန်အားဖြင့် 5-7 ×10⁻⁶/℃ တွင် ရှိသည်။ အပူချိန်အတက်အကျပတ်ဝန်းကျင်တွင် ဂရန်နိုက်၏ တိကျသောအခြေခံ၏ အရွယ်အစားသည် အလွန်နည်းပါးစွာ ပြောင်းလဲသည်။ နက္ခတ္တဗေဒနယ်ပယ်တွင် တယ်လီစကုပ်မှန်ဘီလူး၏ အသေးစိတ်ချိန်ညှိမှုအတွက် တိကျသော static pressure air float platform ကို ဂရန်နိုက်အခြေခံနှင့် တွဲဖက်ထားပြီး နေ့နှင့်ညကြား အပူချိန်ကွာခြားချက် သိသာထင်ရှားသော်လည်း မှန်ဘီလူး၏ တည်နေရာတိကျမှုကို submicron အဆင့်တွင် ထိန်းသိမ်းထားနိုင်ပြီး နက္ခတ္တဗေဒပညာရှင်များအား ဝေးလံသော ကောင်းကင်အရာဝတ္ထုများ၏ သိမ်မွေ့သော ဒိုင်းနမစ်များကို ဖမ်းယူနိုင်ရန် ကူညီပေးသည်။
ကြွေထည်ပစ္စည်းများသည် အပူချိန်တည်ငြိမ်မှုအရ အလွန်ကောင်းမွန်ပြီး မြင့်မားသောစွမ်းဆောင်ရည်ရှိသော ကြွေထည်အချို့၏ အပူချိန်ချဲ့ထွင်မှုကိန်းဂဏန်းသည် သုညနီးပါးအထိ နိမ့်နိုင်ပြီး ဖော်မြူလာနှင့် လုပ်ငန်းစဉ်မှတစ်ဆင့် တိကျစွာ ထိန်းညှိနိုင်သည်။ အပူချိန်အာရုံခံနိုင်သော မြင့်မားသောတိကျမှုတိုင်းတာသည့် ကိရိယာများတွင် ကြွေထည်အခြေခံသည် အပူချိန်ပြောင်းလဲသောအခါ တည်ငြိမ်သောအရွယ်အစားကို ထိန်းသိမ်းထားနိုင်ပြီး တိကျသော static pressure air floating platform ၏ ရွေ့လျားမှုတိကျမှုကို သေချာစေသည်။ သို့သော် လက်တွေ့အသုံးချမှုများတွင် ၎င်း၏ရေရှည်တိကျမှုတည်ငြိမ်မှုသည် ပစ္စည်းအိုမင်းခြင်းကဲ့သို့သော အချက်များကြောင့် ထိခိုက်ပြီး ထပ်မံအတည်ပြုရန် လိုအပ်ပါသည်။
ကြာရှည်ခံမှု- မာကျောမှုမြင့်မားသော သဘာဝကျောက်နှင့် ချေးခံနိုင်ရည်ရှိသော ဓာတုပစ္စည်းများ
ဂရန်နိုက်မာကျောမှုမြင့်မားပြီး Mohs မာကျောမှု ၆-၇ အထိရှိကာ ပွတ်တိုက်မှုဒဏ်ခံနိုင်ကောင်းမွန်ပါသည်။ ပစ္စည်းသိပ္ပံဓာတ်ခွဲခန်းတွင် မကြာခဏအသုံးပြုလေ့ရှိသော တိကျသော static pressure air float platform သည် ၎င်း၏ဂရန်နိုက်အခြေခံသည် သာမန်အခြေခံနှင့်နှိုင်းယှဉ်ပါက ရေရှည်ပွတ်တိုက်မှုဆုံးရှုံးမှုကို ထိရောက်စွာခံနိုင်ရည်ရှိပြီး ပလက်ဖောင်း၏ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းမှုစက်ဝန်းကို ၅၀% ထက်ပို၍တိုးချဲ့နိုင်ပြီး စက်ပစ္စည်းပြုပြင်ထိန်းသိမ်းမှုကုန်ကျစရိတ်များကို လျှော့ချပေးနိုင်ပြီး သိပ္ပံနည်းကျသုတေသနလုပ်ငန်း၏ စဉ်ဆက်မပြတ်တည်တံ့မှုကို သေချာစေပါသည်။ သို့သော် ဂရန်နိုက်ပစ္စည်းသည် ကြွပ်ဆတ်ပြီး မတော်တဆထိခိုက်မိပါက ကွဲအက်နိုင်ခြေရှိပါသည်။
ကြွေအောက်ခံသည် မာကျောရုံသာမက ချေးခံနိုင်ရည်လည်း အလွန်ကောင်းမွန်ပါသည်။ ဓာတုဗေဒပစ္စည်းစစ်ဆေးရေးကိရိယာရှိ တိကျသော hydrostatic air flotation platform များကဲ့သို့သော ဓာတုဗေဒချေးခံနိုင်ရည်ရှိသော စက်မှုလုပ်ငန်းပတ်ဝန်းကျင်များတွင် ကြွေအောက်ခံများသည် ချေးခံနိုင်ရည်ရှိသောဓာတ်ငွေ့များ သို့မဟုတ် အရည်များကို ခံနိုင်ရည်ရှိပြီး မျက်နှာပြင်ကောင်းမွန်မှုနှင့် စက်ပိုင်းဆိုင်ရာဂုဏ်သတ္တိများကို ကြာရှည်စွာထိန်းသိမ်းထားပါသည်။ စိုထိုင်းဆမြင့်မားခြင်းကဲ့သို့သော အလွန်အမင်းပတ်ဝန်းကျင်တွင် ကြွေအောက်ခံ၏ စွမ်းဆောင်ရည်တည်ငြိမ်မှုသည် ဂရနိုက်အောက်ခံထက် ပိုကောင်းပါသည်။
ထုတ်လုပ်မှုကုန်ကျစရိတ်နှင့် လုပ်ဆောင်ရခက်ခဲမှု- သဘာဝကျောက်တုံးတူးဖော်ရေးစိန်ခေါ်မှုနှင့် လူလုပ်ပေါင်းစပ်မှု၏ နည်းပညာဆိုင်ရာ ကန့်သတ်ချက်
ဂရန်နိုက်ကုန်ကြမ်းများကို တူးဖော်ခြင်းနှင့် သယ်ယူပို့ဆောင်ခြင်းသည် ရှုပ်ထွေးပြီး ပြုပြင်ထုတ်လုပ်ခြင်းသည် အလွန်အဆင့်မြင့်သော ပစ္စည်းကိရိယာများနှင့် နည်းပညာများ လိုအပ်ပါသည်။ ၎င်း၏ မာကျောမှုမြင့်မားခြင်း၊ ကြွပ်ဆတ်ခြင်း၊ ဖြတ်တောက်ခြင်း၊ ကြိတ်ခွဲခြင်း၊ ඔප දැමීමနှင့် အခြားလုပ်ငန်းစဉ်များသည် ပြိုကျခြင်း၊ အက်ကွဲခြင်း၊ စွန့်ပစ်နှုန်းမြင့်မားခြင်းတို့ကို ဖြစ်ပေါ်စေပြီး ထုတ်လုပ်မှုကုန်ကျစရိတ်များ မြင့်မားစေပါသည်။
ကြွေထည်အခြေခံထုတ်လုပ်မှုသည် ကုန်ကြမ်းပြင်ဆင်ခြင်း၊ ပုံသွင်းခြင်းမှသည် sintering အထိ အဆင့်တိုင်းတွင် တိကျစွာထိန်းချုပ်ရန် လိုအပ်ပြီး အဆင့်တိုင်းတွင် တိကျစွာထိန်းချုပ်ရန် လိုအပ်ပါသည်။ အစောပိုင်းသုတေသနနှင့် ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်မှုနှင့် စက်ပစ္စည်းရင်းနှီးမြှုပ်နှံမှုသည် အလွန်ကြီးမားပြီး နည်းပညာပိုင်းဆိုင်ရာ ကန့်သတ်ချက်မြင့်မားပါသည်။ သို့သော် ထုတ်လုပ်မှုစကေး တိုးချဲ့လာသည်နှင့်အမျှ ကုန်ကျစရိတ် လျော့ကျလာမည်ဟု မျှော်လင့်ရပြီး အဆင့်မြင့်အသုံးချမှုများတွင် ကုန်ကျစရိတ်သက်သာသော အလားအလာရှိသည်။
အလုံးစုံပြောရလျှင် ဂရနိုက် တိကျသော အောက်ခံများသည် အလုံးစုံ တည်ငြိမ်မှုနှင့် ရိုးရာ ကြာရှည်ခံမှုတွင် ကောင်းမွန်စွာ စွမ်းဆောင်ရည်ရှိပြီး ကြွေအောက်ခံများသည် အပူချိန် အလွန်အမင်း လိုက်လျောညီထွေဖြစ်မှုနှင့် ချေးခံနိုင်ရည်ရှိမှုတို့တွင် ထူးခြားသော အားသာချက်များ ရှိသည်။ အောက်ခံရွေးချယ်မှုသည် တိကျသော static pressure air float platform ၏ သီးခြား အသုံးချမှု အခြေအနေ၊ ပတ်ဝန်းကျင်အခြေအနေများနှင့် ကုန်ကျစရိတ် ဘတ်ဂျက်အပေါ် အခြေခံသင့်သည်။
ပို့စ်တင်ချိန်: ၂၀၂၅ ခုနှစ်၊ ဧပြီလ ၁၀ ရက်