တိကျသော ရွေ့လျားမှု ထိန်းချုပ်ခြင်း- Optical Metrology တွင် Air Bearing Stages များနှင့် Granite Systems များကို နှိုင်းယှဉ်ခြင်း

တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း ထုတ်လုပ်ခြင်းနှင့် ကြီးမားသော အလင်းစစ်ဆေးမှုတွင် နာနိုမီတာအဆင့် တိကျမှုကို အဆက်မပြတ် လိုက်စားခြင်းသည် ရွေ့လျားမှု ထိန်းချုပ်စနစ်များအပေါ် မကြုံစဖူး လိုအပ်ချက်များကို ဖြစ်ပေါ်စေခဲ့သည်။ အင်ဂျင်နီယာများသည် အရေးကြီးသော ဒီဇိုင်းရွေးချယ်မှုနှင့် မကြာခဏ ရင်ဆိုင်ရလေ့ရှိသည်- လေဝင်လေထွက်ကောင်းသော အဆင့်များ၏ ပွတ်တိုက်မှုမရှိသော ကြော့ရှင်းမှု သို့မဟုတ် ဂရနိုက်အခြေခံ စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ အဆင့်များ၏ ခိုင်မာပြီး တုန်ခါမှုကို လျှော့ချပေးသော ယုံကြည်စိတ်ချရမှု။ ZHHIMG Group တွင် အကောင်းဆုံးဖြေရှင်းချက်သည် ပစ္စည်းသိပ္ပံနှင့် အရည်ဒိုင်းနမစ်တို့၏ ဆုံချက်တွင် မကြာခဏ ရှိနေတတ်ကြောင်း ကျွန်ုပ်တို့ အသိအမှတ်ပြုပါသည်။

အဓိကငြင်းခုံချက်- လေဝင်လေထွက်ကောင်းသော စင်မြင့်များနှင့် ဂရနိုက်စင်မြင့်များ

ခြားနားချက်ကို နားလည်ရန်အတွက် ထိတွေ့မှုယန္တရားကို ကြည့်ရှုရပါမည်။ ရိုးရာဂရန်နိုက်အဆင့်များသည် မြင့်မားသောတိကျမှုရှိသော စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ bearings များကို အသုံးပြုလေ့ရှိပြီး ၎င်းတို့သည် cross-roller သို့မဟုတ် ball slides များကဲ့သို့သော အစိတ်အပိုင်းတစ်ခုပေါ်တွင် တိုက်ရိုက်ပေါင်းစပ်ထားသည်။ဂရနိုက်အခြေခံဤစနစ်များသည် ၎င်းတို့၏ မြင့်မားသော ဝန်အားနှင့် ထူးခြားသော မာကျောမှုအတွက် တန်ဖိုးထားခံရသည်။ ဂရနိုက်၏ သဘာဝအလျောက် တုန်ခါမှုဂုဏ်သတ္တိများသည် မော်တာ သို့မဟုတ် ပတ်ဝန်းကျင်မှ ကျန်ရှိနေသော တုန်ခါမှုကို လျင်မြန်စွာ ပျောက်ကွယ်သွားစေပြီး လေးလံသော မက်ထရိုလိုဂျီတွင် အဓိကကျသော အရာတစ်ခု ဖြစ်လာစေသည်။

ဆန့်ကျင်ဘက်အနေနဲ့၊ လေဝင်လေထွက်အဆင့်တွေဟာ ချောမွေ့မှုရဲ့ အထွတ်အထိပ်ကို ကိုယ်စားပြုပါတယ်။ ဖိအားပေးထားတဲ့လေရဲ့ ပါးလွှာတဲ့အလွှာပေါ်မှာ ရွေ့လျားနေတဲ့ လှည်းကို ထောက်ပံ့ပေးခြင်းအားဖြင့်—ပုံမှန်အားဖြင့် မိုက်ခရွန်အနည်းငယ်သာထူတဲ့—ဒီအဆင့်တွေဟာ ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာထိတွေ့မှုကို ဖယ်ရှားပေးပါတယ်။ ဒီပွတ်တိုက်မှုမရှိခြင်းက ပွတ်တိုက်မှုလုံးဝမရှိစေဘဲ ဟောင်းနွမ်းမှုလုံးဝမဖြစ်စေဘဲ စကင်ဖတ်စစ်ဆေးတဲ့ အသုံးချမှုတွေမှာ လိုအပ်တဲ့ အလွန်တည်ငြိမ်တဲ့အလျင်ကို ရရှိစေမှာပါ။ လေဝင်လေထွက်ဟာ ဂျီဩမေတြီတိကျမှုကို ပေးစွမ်းနိုင်ပေမယ့်၊ ၎င်းတို့ဟာ သန့်ရှင်းခြောက်သွေ့တဲ့ လေထောက်ပံ့မှု လိုအပ်ပြီး ယေဘုယျအားဖြင့် ၎င်းတို့၏ စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ အပေါင်းအပါများနဲ့ နှိုင်းယှဉ်ရင် ဗဟိုချက်ကနေ ဝန်ထုပ်ဝန်ပိုးကို ပိုမိုထိခိုက်လွယ်ပါတယ်။

အထူးပြုအသုံးချမှုများအတွက် အလင်းတန်းအမျိုးအစားများကို ခွဲခြမ်းစိတ်ဖြာခြင်း

အလင်းပညာနယ်ပယ်တွင် အထူးပြု ရွေ့လျားမှုပရိုဖိုင်များ လိုအပ်ပြီး အလင်းပညာအဆင့်အမျိုးမျိုး ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်လာစေပါသည်။ မှန်ကန်သောအမျိုးအစားကို ရွေးချယ်ခြင်းသည် လိုအပ်သော လွတ်လပ်မှုအတိုင်းအတာနှင့် စစ်ဆေးမှုပတ်ဝန်းကျင်ပေါ်တွင် မူတည်ပါသည်။

လိုင်းယာနိုက် အလင်းတန်းအဆင့်များသည် အသုံးအများဆုံးဖြစ်နိုင်ပြီး မြင့်မားသောအားအတွက် ခဲဝက်အူများ သို့မဟုတ် မြင့်မားသောအရှိန်အတွက် လိုင်းယာနိုက်မော်တာများကို အသုံးပြုကြသည်။ ခရီးရှည်များတွင် နာနိုမီတာအဆင့် ဖြောင့်တန်းမှု လိုအပ်သည့်အခါ၊ လေဝင်လေထွက်ကောင်းသော လိုင်းယာနိုက်အဆင့်များကို မကြာခဏ တုံ့ပြန်ချက်အတွက် လေဆာ အင်တာဖယ်ရိုမီတာများနှင့် တွဲဖက်အသုံးပြုလေ့ရှိသည်။

လည်ပတ်မှု မှန်ဘီလူးအဆင့်များသည် goniometry သို့မဟုတ် မှန်ဘီလူးအစိတ်အပိုင်းများ၏ ဗဟိုချက်ကို စစ်ဆေးခြင်းကဲ့သို့သော ထောင့်ပေါ်မူတည်သည့် တိုင်းတာမှုများအတွက် မရှိမဖြစ်လိုအပ်ပါသည်။ လေပါဝင်သည့် လည်ပတ်မှုအဆင့်များသည် ဤနေရာတွင် အထူးအကျိုးရှိပါသည်၊ အဘယ်ကြောင့်ဆိုသော် ၎င်းတို့သည် axial နှင့် radial runout သုညနီးပါးကို ပြသသောကြောင့်ဖြစ်ပြီး လည်ပတ်နေစဉ်အတွင်း မှန်ဘီလူးဝင်ရိုးသည် ပြီးပြည့်စုံစွာ ချိန်ညှိထားနိုင်စေသောကြောင့်ဖြစ်သည်။

XY သို့မဟုတ် XYZ stack ကဲ့သို့သော multi-axis စနစ်များကို အလိုအလျောက် wafer စစ်ဆေးခြင်းတွင် မကြာခဏ အသုံးပြုလေ့ရှိသည်။ ဤဖွဲ့စည်းပုံများတွင် ဂရန်နိုက်အခြေခံရွေးချယ်မှုကို ညှိနှိုင်း၍မရပါ။ ဂရန်နိုက်သည် လိုအပ်သောဒြပ်ထုနှင့် အပူအရှိန်အဟုန်ကို ပေးစွမ်းပြီး တစ်ဝင်ရိုး၏ရွေ့လျားမှုကြောင့် အခြားတစ်ဝင်ရိုး၏တိကျမှုကို ပုံပျက်ခြင်းမှ ကာကွယ်သည်။

ဂရနိုက်နှင့် လေဝင်ပေါက်များ၏ ပေါင်းစပ်စွမ်းအား

လေဝင်လေထွက်ကောင်းသော အဆင့်များသည် ယေဘုယျအားဖြင့် အထင်အမြင်လွဲမှားနေကြပြီးဂရနိုက် အဆင့်များအပြန်အလှန် သီးခြားစီဖြစ်သည်။ အမှန်စင်စစ်၊ အဆင့်မြင့်ဆုံး ရွေ့လျားမှုစနစ်များသည် နှစ်ခုပေါင်းစပ်ထားသော ပေါင်းစပ်မှုတစ်ခုဖြစ်သည်။ အဆင့်မြင့်လေဝင်လေထွက်ကောင်းသော အဆင့်များသည် ဂရနိုက်ကို လမ်းညွှန်မျက်နှာပြင်အဖြစ် အများစုအသုံးပြုကြသည်။ အကြောင်းရင်းမှာ ဂရနိုက်၏ ဧရိယာကြီးများတွင် မိုက်ခရွန်အောက် ပြားချပ်ချပ်ဖြစ်အောင် ပွတ်တိုက်နိုင်စွမ်းတွင် တည်ရှိသည်။ အလူမီနီယမ် သို့မဟုတ် သံမဏိဖြင့် ရရှိရန် ခက်ခဲသော လုပ်ဆောင်ချက်တစ်ခုဖြစ်သည်။

လေဝင်ပေါက်များသည် လမ်းညွှန်၏ မျက်နှာပြင် မညီမညာမှုများကို "ပျမ်းမျှအားဖြင့် ခွဲထုတ်" သောကြောင့်၊ ZHHIMG ထုတ်လုပ်သော ဂရန်နိုက်ရောင်ခြည်၏ အလွန်အမင်း ပြားချပ်မှုသည် ခရီးစဉ်တစ်လျှောက်လုံးတွင် လေအလွှာကို တသမတ်တည်းရှိနေစေပါသည်။ ဤပေါင်းစပ်လုပ်ဆောင်မှုသည် ကမ္ဘာနှစ်ခုလုံး၏ အကောင်းဆုံးကို ပေးစွမ်းသည့် ရွေ့လျားမှုစနစ်များကို ဖြစ်ပေါ်စေသည်- လေ၏ ပွတ်တိုက်မှုကင်းသော ရွေ့လျားမှုနှင့် ဂရန်နိုက်၏ ကျောက်တုံးကဲ့သို့ မာကျောသော တည်ငြိမ်မှု။

စက်မှုတိုင်းတာခြင်း

ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းမှုနှင့် ပတ်ဝန်းကျင်ဆိုင်ရာ ထည့်သွင်းစဉ်းစားရမည့်အချက်များ

ဤစနစ်များကို လည်ပတ်ရန်အတွက် တင်းကျပ်သော ပတ်ဝန်းကျင်ထိန်းချုပ်မှု လိုအပ်ပါသည်။ စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ဂရန်နိုက်အဆင့်များသည် အတော်လေး ခိုင်မာသော်လည်း အပျက်အစီးများစုပုံခြင်းကို ကာကွယ်ရန်အတွက် bearing လမ်းကြောင်းများကို ပုံမှန် ချောဆီလိမ်းခြင်းနှင့် သန့်ရှင်းရေးလုပ်ရန် လိုအပ်ပါသည်။ လေ bearing စနစ်များသည် ချောဆီလိမ်းခြင်းအရ ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းမှုမလိုအပ်သော်လည်း pneumatic ထောက်ပံ့မှု၏ အရည်အသွေးပေါ်တွင် မူတည်ပါသည်။ လေလမ်းကြောင်းရှိ အစိုဓာတ် သို့မဟုတ် ဆီသည် “အပေါက်ပိတ်ဆို့ခြင်း” ကို ဖြစ်ပေါ်စေနိုင်ပြီး လေအလွှာကို ထိခိုက်စေပြီး မျက်နှာပြင်ထိတွေ့မှုကို ဆိုးရွားစွာ ဖြစ်စေနိုင်သည်။

ထို့အပြင်၊ အပူချိန်စီမံခန့်ခွဲမှုသည် အလွန်အရေးကြီးပါသည်။ စနစ်နှစ်ခုစလုံးသည် linear motor များအတွက် အပူစုပ်အဖြစ် လုပ်ဆောင်သော ဂရနိုက်၏ မြင့်မားသော အပူဒြပ်ထုမှ အကျိုးကျေးဇူးရရှိကြသည်။ သို့သော်၊ နာနိုမီတာစကေးအသုံးချမှုများတွင် တစ်ဒီဂရီစင်တီဂရိတ်အတက်အကျပင် သိသာထင်ရှားသော ချဲ့ထွင်မှုကို ဖြစ်စေနိုင်သည်။ ပရော်ဖက်ရှင်နယ်ဓာတ်ခွဲခန်းများသည် စင်မြင့်တစ်ဝိုက်တွင် တည်ငြိမ်သော micro-climate ကို ထိန်းသိမ်းရန် အထူးပြုဂရနိုက်အကာအရံများကို မကြာခဏအသုံးပြုလေ့ရှိသည်။

နိဂုံးချုပ်- သင့်ဆန်းသစ်တီထွင်မှုအတွက် မှန်ကန်သောအခြေခံကို ရွေးချယ်ခြင်း

သင့်အပလီကေးရှင်းသည် စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ဂရန်းနိုက်စင်၏ မြင့်မားသော ဝန်ခံနိုင်ရည် သို့မဟုတ် လေတိုက်စနစ်၏ အလွန်ချောမွေ့သော အလျင်ထိန်းချုပ်မှုကို တောင်းဆိုသည်ဖြစ်စေ၊ အခြေခံအုတ်မြစ်သည် အရေးကြီးဆုံး အစိတ်အပိုင်းအဖြစ် ဆက်လက်တည်ရှိနေပါသည်။ ZHHIMG တွင်၊ ကျွန်ုပ်တို့သည် စင်များကိုသာ ပံ့ပိုးပေးသည်မဟုတ်ပါ။ သင်၏ ရည်မှန်းချက်ကြီးမားသော ပရောဂျက်များအတွက် လိုအပ်သော ဘူမိဗေဒနှင့် စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ သေချာမှုကို ကျွန်ုပ်တို့ ပံ့ပိုးပေးပါသည်။ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းနှင့် အလင်းတန်းလုပ်ငန်းများသည် ပိုမိုတင်းကျပ်သော ခံနိုင်ရည်များဆီသို့ ရွေ့လျားလာသည်နှင့်အမျှ၊ ပစ္စည်းထူးချွန်မှုနှင့် တိကျမှုအင်ဂျင်နီယာအပေါ် ကျွန်ုပ်တို့၏ ကတိကဝတ်သည် သင်၏ ရွေ့လျားမှုထိန်းချုပ်မှုစနစ်သည် သင်၏ သုတေသန သို့မဟုတ် ထုတ်လုပ်မှုတွင် အကန့်အသတ်ဖြစ်စေမည့် အချက်တစ်ခု မဟုတ်ကြောင်း သေချာစေပါသည်။


ပို့စ်တင်ချိန်: ၂၀၂၆ ခုနှစ်၊ ဇန်နဝါရီလ ၂၂ ရက်