တိကျသော ဟိုက်ဒရိုစတက်တစ် လေပေါ်မျောပလက်ဖောင်း- အလွန်တရာ တိကျမှုရှိသော ဂရနိုက်အခြေခံကို သွန်းလောင်းထားသည်။

တိကျသောထုတ်လုပ်မှုနှင့် သိပ္ပံနည်းကျသုတေသနစူးစမ်းလေ့လာမှု၏ ရှေ့တန်းတွင်၊ အမှားအယွင်းတိုင်းသည် အောင်မြင်မှုများကို တားဆီးသည့် "အတားအဆီး" ဖြစ်လာနိုင်သည်။ မြင့်မားသောတိကျသောရွေ့လျားမှုထိန်းချုပ်မှုရရှိရန် အဓိကပစ္စည်းကိရိယာများအနေဖြင့်၊ တိကျသော static pressure air floating motion platform ၏စွမ်းဆောင်ရည်သည် ရလဒ်များ၏ အရည်အသွေးနှင့် အောင်မြင်မှုနှင့် တိုက်ရိုက်ဆက်စပ်နေသည်။ လွှမ်းမိုးမှုရှိသောအချက်များစွာထဲတွင်၊ ၎င်း၏ပြိုင်ဘက်ကင်းသောဝိသေသလက္ခဏာများဖြင့် granite base သည် platform ၏ ကောင်းမွန်သောစွမ်းဆောင်ရည်ကိုသေချာစေရန် အဓိကအစိတ်အပိုင်းဖြစ်လာသည်။
ဂရန်နိုက်သည် နှစ်သန်းပေါင်းများစွာ ဘူမိဗေဒဆိုင်ရာပြောင်းလဲမှုများ ပြုလုပ်ပြီးနောက် အတွင်းပိုင်းဖွဲ့စည်းပုံသည် သိပ်သည်းပြီး တစ်ပြေးညီဖြစ်ပြီး အဓိကအားဖြင့် ကွာ့ဇ်၊ ဖယ်ဒ်စပါနှင့် အခြားသတ္တုများဖြင့် နီးကပ်စွာ ဆက်စပ်နေသည်။ ဤသဘာဝအတိုင်း ဖွဲ့စည်းထားသော ထူးခြားသည့်ဖွဲ့စည်းပုံသည် ဂရန်နိုက်အောက်ခြေကို ထူးချွန်သောဂုဏ်သတ္တိများစွာ ပေးစွမ်းသည်။

ဇိမ်ဂ် အိုင်ဆို
အလွန်တည်ငြိမ်ပြီး ပြင်ပဝင်ရောက်စွက်ဖက်မှုမှ သီးခြားခွဲထုတ်ထားသည်
ပြင်ပပတ်ဝန်းကျင်ရှိ တုန်ခါမှုသည် တိကျသော static pressure air floating platform အတွက် တိကျမှု၏ ရန်သူဖြစ်သည်။ စက်ရုံကြမ်းပြင်နှင့် အနီးတစ်ဝိုက်ရှိ ယာဉ်ကြောပိတ်ဆို့မှုတွင် ကြီးမားသော စက်ယန္တရားများနှင့် စက်ပစ္စည်းများ လည်ပတ်မှုကြောင့် ဖြစ်ပေါ်လာသော တုန်ခါမှုကို မြေပြင်မှတစ်ဆင့် ရွေ့လျားနေသော platform သို့ ကူးစက်နိုင်သည်။ သို့သော် ဂရန်နိုက်အခြေခံသည် ခိုင်မာသော "ငလျင်ဒဏ်ခံနိုင်သော ခံတပ်" ကဲ့သို့ဖြစ်သည်။ ၎င်း၏ ရှုပ်ထွေးသော ပုံဆောင်ခဲဖွဲ့စည်းပုံသည် တုန်ခါမှုကို ထိရောက်စွာ ပိတ်ဆို့ပြီး လျော့ပါးစေနိုင်ပြီး လက်တွေ့စမ်းသပ်မှုများမှတစ်ဆင့် platform သို့ ထုတ်လွှင့်သော တုန်ခါမှုပမာဏကို 80% ကျော် လျှော့ချနိုင်သည်။ semiconductor chip ထုတ်လုပ်ရေးအလုပ်ရုံတွင်၊ photolithography လုပ်ငန်းစဉ်သည် nanometer အဆင့်သို့ရောက်ရှိရန် တည်နေရာတိကျမှု လိုအပ်ပြီး ဂရန်နိုက်အခြေခံမှ ပံ့ပိုးပေးထားသော တိကျသော static pressure air floating movement platform သည် ရှုပ်ထွေးသော တုန်ခါမှုပတ်ဝန်းကျင်တွင် chip lithography ပစ္စည်းများ၏ တည်ငြိမ်သောလည်ပတ်မှုကို သေချာစေပြီး circuit pattern ၏ ထွင်းထုမှုကို တိကျစွာ ပြီးမြောက်စေပြီး chip ထုတ်လုပ်မှု၏ ထွက်နှုန်းကို များစွာတိုးတက်စေနိုင်သည်။
အပူချိန်တည်ငြိမ်မှုကောင်းမွန်ခြင်း၊ အပူချိန်ပြောင်းလဲမှုကို မကြောက်ခြင်း
အပူချိန်အတက်အကျကြောင့် ပစ္စည်းများစွာ ကျယ်ပြန့်ကျုံ့သွားမည်ဖြစ်ပြီး ၎င်းသည် ပစ္စည်းကိရိယာများ၏ တိကျမှုကို ထိခိုက်စေမည်ဖြစ်သည်။ သို့သော် ဂရန်နိုက်အောက်ခြေသည် အလွန်ကောင်းမွန်သော အပူချိန်တည်ငြိမ်မှုကို ပြသပြီး ၎င်း၏ အပူချိန်ကျယ်ပြန့်မှုကိန်းဂဏန်းသည် အလွန်နိမ့်ပြီး ယေဘုယျအားဖြင့် 5-7 ×10⁻⁶/℃ တွင်ရှိသည်။ နက္ခတ္တဗေဒနယ်ပယ်တွင် ဂရန်နိုက်အောက်ခြေပါရှိသော တိကျသော static pressure air floating movement platform သည် တယ်လီစကုပ်မှန်ဘီလူးကြီးများကို အသေးစိတ်ချိန်ညှိရန်အတွက် အသုံးပြုပြီး နေ့နှင့်ညအကြား အပူချိန်ကွာခြားချက် သိသိသာသာပြောင်းလဲမှုများရှိနေသည့်တိုင် ၎င်းသည် မှန်ဘီလူး၏ တည်နေရာတိကျမှုကို sub-micron အဆင့်တွင် ထိန်းသိမ်းထားနိုင်ပြီး နက္ခတ္တဗေဒပညာရှင်များအား ဝေးလံသောကောင်းကင်အရာဝတ္ထုများ၏ သိမ်မွေ့သောပြောင်းလဲမှုများကို ရှင်းရှင်းလင်းလင်းဖမ်းယူရန်နှင့် နက်ရှိုင်းသောစကြဝဠာ၏ လျှို့ဝှက်ချက်များကို စူးစမ်းလေ့လာရန် ကူညီပေးသည်။
မာကျောမှုနှင့် ပွတ်တိုက်မှုဒဏ်ခံနိုင်မှုမြင့်မားသောကြောင့် ရေရှည်အသုံးပြုနိုင်ခြင်း
တိကျသော static pressure air floating platform ၏ ရေရှည်တွင်၊ platform နှင့် base အကြားတွင် air floating support ရှိသော်လည်း၊ ပွတ်တိုက်မှုအတိုင်းအတာတစ်ခုအထိ ရှိနေသေးသည်။ Granite မာကျောမှုမြင့်မားပြီး Mohs မာကျောမှု 6-7 အထိရောက်ရှိနိုင်ပြီး၊ ပွတ်တိုက်မှုဒဏ်ခံနိုင်မှု အလွန်ကောင်းမွန်သည်။ Materials science laboratory တွင်၊ မကြာခဏအသုံးပြုလေ့ရှိသော precision static pressure air floating movement platform ဖြစ်သည့် ၎င်း၏ granite base သည် ရေရှည်ပွတ်တိုက်မှုဆုံးရှုံးမှုကို ထိရောက်စွာ ခံနိုင်ရည်ရှိပြီး၊ သာမန် base နှင့် နှိုင်းယှဉ်ပါက platform ၏ ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းမှုစက်ဝန်းကို 50% ထက်ပို၍ တိုးချဲ့နိုင်ပြီး၊ စက်ပစ္စည်းပြုပြင်ထိန်းသိမ်းမှုကုန်ကျစရိတ်များကို လျှော့ချပေးနိုင်ပြီး သိပ္ပံနည်းကျသုတေသနလုပ်ငန်း၏ စဉ်ဆက်မပြတ်တည်တံ့မှုကို သေချာစေသည်။
တိကျမှုမြင့်မားသော static pressure air floating movement platform အတွက် ဂရနိုက်အခြေခံကို ရွေးချယ်ခြင်းသည် တိကျမှု၊ တည်ငြိမ်မှုနှင့် တာရှည်ခံမှုကို အဆုံးစွန်သော လိုက်စားမှုဖြစ်သည်။ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်ခြင်း၊ အလင်းတန်းတူရိယာထုတ်လုပ်ခြင်း၊ အာကာသ၊ သိပ္ပံနည်းကျသုတေသနနှင့် စမ်းသပ်မှုနယ်ပယ်များတွင်၊ တိကျမှုအလွန်လိုအပ်ပြီး ဂရနိုက်အခြေခံမှ ပံ့ပိုးပေးထားသော တိကျမှုမြင့်မားသော static pressure air floating movement platform သည် အစားထိုး၍မရသော အဓိကအခန်းကဏ္ဍမှ ပါဝင်နေပြီး၊ ပိုမိုတိကျမှုမြင့်မားလာစေရန် မတူညီသောစက်မှုလုပ်ငန်းများ ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်မှုကို မြှင့်တင်ပေးပါသည်။

တိကျသော ဂရန်နိုက် ၂၉


ပို့စ်တင်ချိန်: ၂၀၂၅ ခုနှစ်၊ ဧပြီလ ၉ ရက်