တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်ခြင်း၏တိကျသောကွင်းဆက်တွင်၊ wafer လွှဲပြောင်းစနစ်သည် "ချစ်ပ်ထုတ်လုပ်မှုလိုင်း၏အသက်သွေးကြော" နှင့်တူပြီး ၎င်း၏တည်ငြိမ်မှုနှင့် တိကျမှုသည် ချစ်ပ်များ၏အထွက်နှုန်းကို တိုက်ရိုက်ဆုံးဖြတ်သည်။ မျိုးဆက်သစ် wafer အပြောင်းအရွှေ့စနစ်များသည် လိုင်းယာမော်တာများကို granite bases များဖြင့် တော်လှန်ပြီး granite ပစ္စည်းများ၏ ထူးခြားသောအားသာချက်များမှာ စွမ်းဆောင်ရည်မြင့်မားသော ဂီယာကိုသော့ဖွင့်ရန်အတွက် အဓိကကုဒ်ဖြစ်သည်။
့
Granite အခြေခံ- တည်ငြိမ်သောဂီယာအတွက် "ကျောက်-အစိုင်အခဲအုတ်မြစ်" ကိုတည်ဆောက်ခြင်း။
ဘူမိဗေဒ သန့်စင်မှု နှစ်သန်းပေါင်း ရာနှင့်ချီ ကြုံတွေ့ခဲ့ရသော Granite သည် အလွန်သိပ်သည်းပြီး တူညီသော အတွင်းတွင်းထွက်ပစ္စည်း ပုံဆောင်ခဲများ ပါဝင်သည်။ ဤသဘာဝလက္ခဏာသည် wafer လွှဲပြောင်းမှုစနစ်အတွက် စံပြအခြေခံပစ္စည်းတစ်ခုဖြစ်စေသည်။ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း သန့်စင်ခန်းများ၏ ရှုပ်ထွေးသော ပတ်ဝန်းကျင်တွင် အပူပိုင်းချဲ့ထွင်မှု အလွန်နည်းသော (5-7 ×10⁻⁶/℃) ရှိသော ကျောက်တုံးကျောက်စိမ်းများသည် စက်လည်ပတ်စဉ်အတွင်း ထုတ်ပေးသော အပူနှင့် ပတ်ဝန်းကျင် အပူချိန်ပြောင်းလဲမှုများ၏ လွှမ်းမိုးမှုကို ခံနိုင်ရည်ရှိပြီး အခြေခံအရွယ်အစား၏ တည်ငြိမ်မှုနှင့် အပူပုံပျက်ခြင်းကြောင့် ဖြစ်ပေါ်လာသော ဂီယာလမ်းကြောင်းသွေဖည်မှုကို ရှောင်ရှားနိုင်သည်။ ၎င်း၏ထူးခြားသောတုန်ခါမှုအား စိုစွတ်စေသောစွမ်းဆောင်ရည်သည် စတင်ချိန်အတွင်း၊ စက်ပိတ်ခြင်းနှင့် အရှိန်မြှင့်စဉ်အတွင်း ထုတ်ပေးသော စက်တုန်ခါမှုများကို လျင်မြန်စွာစုပ်ယူနိုင်ပြီး အလုပ်ရုံရှိ အခြားစက်ပစ္စည်းများ၏လည်ပတ်မှုမှ ပြင်ပအနှောင့်အယှက်များကို wafer ဂီယာအတွက် "သုညလှုပ်ခါခြင်း" ဖြင့် တည်ငြိမ်သောပလပ်ဖောင်းကို ပေးစွမ်းနိုင်သည်။ ့
တစ်ချိန်တည်းတွင်၊ အက်ဆစ်နှင့် အယ်လကာလီဓာတ်များ မတည်မငြိမ်ဖြစ်ပြီး သန့်ရှင်းမှုမြင့်မားရန် လိုအပ်သည့် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း အလုပ်ရုံများတွင် ကျောက်စိမ်းတုံး သို့မဟုတ် သံချေးမတက်စေရန် ဓာတုဗေဒဆိုင်ရာ တည်ငြိမ်မှုသည် သေချာစေသည်၊ ထို့ကြောင့် ပစ္စည်းအိုမင်းခြင်း သို့မဟုတ် ညစ်ညမ်းသောစုပ်ယူမှုတို့ကြောင့် ထုတ်လွှင့်မှုတိကျမှုအပေါ် သက်ရောက်မှုကို ရှောင်ရှားနိုင်သည်။ ချောမွေ့ပြီး သိပ်သည်းသော မျက်နှာပြင်လက္ခဏာများသည် ဖုန်မှုန့်များ ကပ်ငြိမှုကို ပိုမိုထိရောက်စွာ လျှော့ချနိုင်ပြီး သန့်ရှင်းသောအခန်းများ၏ တင်းကျပ်သော ဖုန်မှုန့်ကင်းစင်သည့် စံနှုန်းများနှင့် ကိုက်ညီပြီး အမြစ်မှ wafer ညစ်ညမ်းမှုအန္တရာယ်ကို ဖယ်ရှားပေးနိုင်ပါသည်။ ့
linear motors နှင့် granite တို့၏ "ရွှေလက်တွဲမှု" အကျိုးသက်ရောက်မှု
စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ဂီယာရှင်းလင်းမှု၊ မြင့်မားသောအရှိန်နှင့် တုံ့ပြန်မှုအမြန်နှုန်းမြင့်မားသော ၎င်းတို့၏ဝိသေသလက္ခဏာများဖြင့် တစ်ပြေးညီ မော်တာများသည် "မြန်၊ တိကျပြီး တည်ငြိမ်" ဟူသော အားသာချက်များဖြင့် wafer ဂီယာကို ထုတ်ပေးသည်။ Granite Base သည် ၎င်းအတွက် ခိုင်မာပြီး ယုံကြည်စိတ်ချရသော ပံ့ပိုးမှုပလက်ဖောင်းကို ပံ့ပိုးပေးပါသည်။ နှစ်ယောက်သား စွမ်းဆောင်ရည် အရှိန်အဟုန်ဖြင့် အောင်မြင်ရန် အတူတကွ လုပ်ဆောင်ကြသည်။ linear motor သည် wafer carrier ကို granite base track တွင် လည်ပတ်ရန် မောင်းနှင်သောအခါ base deformation ကြောင့် ဖြစ်ပေါ်လာသော force loss သို့မဟုတ် transmission lag ကို ရှောင်ရှားရန် base ၏ ခိုင်ခံ့မှုနှင့် တည်ငြိမ်မှုသည် motor drive force ကို ထိရောက်စွာ ဂီယာသေချာစေရန် သေချာစေသည်။ ့
နာနိုစကေးတိကျမှုအတွက် လိုအပ်ချက်ကြောင့်၊ linear motor များသည် sub-micron-level displacement control ကိုရရှိနိုင်ပါသည်။ Granite Base များ၏ တိကျမှုမြင့်မားသော လုပ်ဆောင်ချက်ဝိသေသလက္ခဏာများ (±1μm အတွင်း ထိန်းချုပ်ထားသော ချောမွေ့မှုအမှားများနှင့်အတူ) သည် linear motors များ၏ တိကျသောထိန်းချုပ်မှုနှင့် ကိုက်ညီပြီး wafer ဂီယာအတွင်း နေရာချထားမှု အမှားအယွင်းသည် ±5μm ထက်နည်းကြောင်း ပူးတွဲအာမခံပါသည်။ အမျိုးမျိုးသော လုပ်ငန်းစဉ်ပစ္စည်းများကြားတွင် မြန်နှုန်းမြင့် ပြေးဆွဲခြင်း သို့မဟုတ် wafer လွှဲပြောင်းခြင်းအတွက် တိကျသော ကားပါကင်ပဲဖြစ်ဖြစ်၊ linear motors နှင့် granite bases များပေါင်းစပ်ခြင်းသည် wafer transmission တွင် "သုညသွေဖည်ပြီး zero jitter" ကို သေချာစေနိုင်ပါသည်။ ့
စက်မှုလက်တွေ့စစ်ဆေးခြင်း- စွမ်းဆောင်ရည်နှင့် အထွက်နှုန်းတွင် နှစ်ဆတိုးတက်ခြင်း။
၎င်း၏ wafer လွှဲပြောင်းမှုစနစ်ကို အဆင့်မြှင့်တင်ပြီးနောက်၊ ထိပ်တန်းကမ္ဘာ့တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းလုပ်ငန်းတစ်ခုသည် linear motor + granite base solution ကို လက်ခံကျင့်သုံးခဲ့ပြီး wafer transfer efficiency ကို 40% တိုးမြင့်စေကာ လွှဲပြောင်းခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်အတွင်း တိုက်မိခြင်းနှင့် အော့ဖ်ဆက်ကဲ့သို့သော အမှားအယွင်းများ ဖြစ်ပွားနှုန်းကို 85% လျှော့ချကာ ချစ်ပ်များ၏ စုစုပေါင်းအထွက်နှုန်းကို 6% တိုးတက်စေသည်။ ဒေတာနောက်ကွယ်တွင် granite base မှပေးသော ဂီယာတည်ငြိမ်မှုအာမခံချက်နှင့် linear motor ၏ မြန်နှုန်းမြင့်ပြီး တိကျသောပေါင်းစပ်အကျိုးသက်ရောက်မှုသည် wafer ဂီယာလုပ်ငန်းစဉ်တွင် ဆုံးရှုံးမှုနှင့် အမှားအယွင်းများကို သိသိသာသာ လျှော့ချပေးပါသည်။ ့
ပစ္စည်းဂုဏ်သတ္တိများမှတိကျသောထုတ်လုပ်မှုအထိ၊ စွမ်းဆောင်ရည်အားသာချက်များမှလက်တွေ့အတည်ပြုခြင်းအထိ၊ linear motors နှင့် granite bases ပေါင်းစပ်မှုသည် wafer transfer systems ၏စံနှုန်းများကိုပြန်လည်သတ်မှတ်ထားသည်။ အနာဂတ်တွင် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာနည်းပညာသည် 3nm နှင့် 2nm လုပ်ငန်းစဉ်များဆီသို့ တိုးတက်လာသောအခါတွင်၊ ကျောက်တုံးပစ္စည်းများသည် ၎င်းတို့၏ အစားထိုးမရနိုင်သော အားသာချက်များဖြင့် လုပ်ငန်း၏ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်မှုသို့ ခိုင်မာသောတွန်းအား ဆက်လက်ထိုးသွင်းလာမည်ဖြစ်သည်။
စာတိုက်အချိန်- မေလ ၁၄-၂၀၂၅