လစ်သိုဂရပ်ဖီစက်ကိရိယာတွင် alignment drift သည် တစ်ကြိမ်တည်းသော ချို့ယွင်းမှုအဖြစ် ရှားရှားပါးပါးသာ ဖော်ပြလေ့ရှိသည်။ ၎င်းသည် တဖြည်းဖြည်းပေါ်လာသည် - အချို့သော shift များတွင် overlay error သည် spec ပြင်ပသို့ တဖြည်းဖြည်းချင်း တိုးဝင်လာခြင်း သို့မဟုတ် မနက်ခင်းတွင် ကောင်းမွန်ပြီး နေ့လယ်ခင်းတွင် မေးခွန်းထုတ်စရာဖြစ်သော repeatability။ semiconductor စက်ကိရိယာထုတ်လုပ်သူတစ်ဦးက gantry-based exposure system တွင် ထိုပုံစံအတိအကျဖြင့် ကျွန်ုပ်တို့ထံ ချဉ်းကပ်လာသောအခါ၊ ၎င်းတို့ဘက်မှ ဗီဇမှာ optics နှင့် stage motors များကို ဦးစွာကြည့်ရှုရန်ဖြစ်သည်။ ကျိုးကြောင်းဆီလျော်သော ဗီဇ - ၎င်းတို့သည် များသောအားဖြင့် သံသယရှိသူများဖြစ်သည်။ ဤကိစ္စတွင်၊ gantry အောက်ရှိ structural base သည် မည်သူမျှ မျှော်လင့်ထားသည်ထက် ပိုမိုကြီးမားသော ပံ့ပိုးကူညီမှုတစ်ခုဖြစ်လာခဲ့သည်။
ချိန်ညှိမှုပြဿနာ
စက်ပစ္စည်းတွင် optical head ကို အလုပ်ခွင်တစ်လျှောက် သယ်ဆောင်ရန်အတွက် welded steel gantry frame ကို အသုံးပြုခဲ့သည်။ စာရွက်ပေါ်တွင် frame သည် ၎င်း၏ static tolerance ကို ပြည့်မီခဲ့သည်။ သို့သော် ထုတ်လုပ်မှုတွင် ထုတ်လုပ်သူသည် အချိန်နှင့် အလုပ်ခွင်ကြမ်းပြင် အပူချိန်အတက်အကျနှင့် လျော့ရဲစွာ ဆက်စပ်နေသော overlay error ကို တွေ့မြင်နေရပြီး ၎င်းသည် စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ သို့မဟုတ် ထိန်းချုပ်မှုစနစ် ချို့ယွင်းချက်ထက် အပူချိန်ချဲ့ထွင်မှုကို ညွှန်ပြသည့် ပုံစံဖြစ်သည်။ သံမဏိ၏ အပူချိန်ချဲ့ထွင်မှုကိန်းဂဏန်းနှင့် frame ၏ welded တည်ဆောက်ပုံတို့ ပေါင်းစပ်လိုက်သောအခါ gantry span ကိုယ်တိုင်က ပုံမှန်ထုတ်လုပ်မှုနေ့တွင် ပတ်ဝန်းကျင်အပူချိန် ပြောင်းလဲသွားသည်နှင့်အမျှ အနည်းငယ်သာ ရွေ့လျားနေခဲ့သည်။ sub-micron alignment သည် အခြေခံလိုအပ်ချက်ဖြစ်သော စနစ်တွင်၊ မရေတွက်နိုင်သော ဖွဲ့စည်းပုံဆိုင်ရာ ရွေ့လျားမှု၏ micron အနည်းငယ်သည် overlay error ကို သတ်မှတ်ချက်မှ ရံဖန်ရံခါ တွန်းထုတ်ရန် လုံလောက်သည် - ၎င်းသည် frame ကို မည်သူမျှ မေးခွန်းမထုတ်မီ အင်ဂျင်နီယာအချိန် ရက်သတ္တပတ်များစွာ ကုန်ဆုံးစေသည့် ရံဖန်ရံခါ ရောဂါရှာဖွေရန် ခက်ခဲသော ပြဿနာမျိုးဖြစ်သည်။
ဘာကြောင့် Granite က ဖွဲ့စည်းပုံဆိုင်ရာ အဖြေဖြစ်ခဲ့တာလဲ
ဂဟေဆော်သံမဏိ gantry ကို ဂရန်နိုက်နှင့်ညီမျှသောပစ္စည်းဖြင့် အစားထိုးခြင်းသည် တူညီသောပြောင်းလဲမှုမဟုတ်ပါ - ၎င်းသည် ဒီဇိုင်းယူဆချက်များကို ပြောင်းလဲစေသည်။ ဂရန်နိုက်၏ အပူချိန်ချဲ့ထွင်မှုကိန်းဂဏန်းနိမ့်ခြင်းနှင့် တုန်ခါမှုကိန်းဂဏန်းမြင့်မားခြင်းတို့ကြောင့် အဆောက်အအုံသည် ပတ်ဝန်းကျင်အတက်အကျများကို ပိုမိုနှေးကွေးစွာနှင့် ပြင်းထန်မှုနည်းစွာ တုံ့ပြန်မည်ဖြစ်သည်။ အလားတူသက်ဆိုင်သည်- ဂရန်နိုက်သည် ဂဟေဆော်သံမဏိဘောင်ကဲ့သို့ ကျန်ရှိနေသော အတွင်းပိုင်းဖိစီးမှုများကို သယ်ဆောင်ခြင်းမရှိသောကြောင့် သတ္တုတည်ဆောက်ပုံကဲ့သို့ နှစ်ပေါင်းများစွာ အပူလည်ပတ်မှုကြာလာသည်နှင့်အမျှ အတိုင်းအတာအားဖြင့် တဖြည်းဖြည်း တိုးဝင်လာခြင်းမရှိပါ။
အင်ဂျင်နီယာဆိုင်ရာစိန်ခေါ်မှုက ပစ္စည်းရွေးချယ်မှုမဟုတ်ဘဲ အကောင်အထည်ဖော်မှုသာဖြစ်သည် — စက်ပစ္စည်း၏ အလုပ်အထုပ်တစ်ခုလုံးကို ဖြတ်ကျော်ထားသော gantry bridge beam ကို ရှည်လျားပြီး အပိုင်းတစ်ခုတည်းပါသော ဖွဲ့စည်းပုံအဖြစ် စက်ဖြင့်ပြုလုပ်ရမည်ဖြစ်ပြီး မတည်ငြိမ်မှုကို ဂရန်းနစ်ဖြေရှင်းရန် ရည်ရွယ်ထားသည့်အတိုင်း ပြန်လည်မိတ်ဆက်ပေးမည့် အဆစ်များ မပါဝင်စေရန်ဖြစ်သည်။ ၎င်းသည် စက်ပိုင်းဆိုင်ရာစွမ်းရည်မေးခွန်းတစ်ခုကဲ့သို့ပင် ပစ္စည်းတစ်ခုလည်းဖြစ်သည်။ ဂရန်းနစ်ထုတ်လုပ်သူတိုင်းသည် ထိုအရှည်နှင့် အလေးချိန်ရှိသော beam ကို လိုအပ်သော ပြားချပ်ချပ်နှင့် စတုရန်းပုံစံအထိ တစ်ခုတည်းသော setup တွင် လုပ်ဆောင်နိုင်ခြင်းမရှိပါ။ ကျွန်ုပ်တို့၏ စက်ရုံ၏ အပိုင်းတစ်ခုတည်းကို စက်ဖြင့်ပြုလုပ်နိုင်စွမ်းဂရက်နိုက် အစိတ်အပိုင်းများအရှည် ၂၀ မီတာအထိ ရှိတာကြောင့် အပိုင်းလိုက် ဘိုလ်ချ်တွေ တပ်ဆင်ဖို့ မလိုအပ်ဘဲ ရိုးရှင်းတဲ့ တပ်ဆင်မှုတစ်ခု ဖြစ်စေပါတယ်။
အကောင်အထည်ဖော်မှုအသေးစိတ်
gantry beam ကို ဖောက်သည်၏ optical mounting interface များကို granite ထဲသို့ တိုက်ရိုက်စက်ဖြင့် ပြုလုပ်ထားပြီး၊ flatness နှင့် perpendicularity tools များကို exposure system ၏ alignment budget ၏ ကျန်အပိုင်းများနှင့် ကိုက်ညီအောင် ထိန်းထားပေးပါသည်။ မျက်နှာပြင် အပြီးသတ်ခြင်းတွင် ကျွန်ုပ်တို့၏ granite reference tooling တွင် အသုံးပြုသည့် measurement chain အတိုင်း — national metrology institute standards များသို့ ခြေရာခံနိုင်သော equipment များနှင့် ချိန်ညှိထားသည် — ထို့ကြောင့် ဖောက်သည်၏ incoming inspection တွင် တပ်ဆင်ခြင်းမပြုမီ flatness ကို သီးခြားစီ ပြန်လည်အတည်ပြုရန် မလိုအပ်ဘဲ ကိုက်ညီမည့် စာရွက်စာတမ်းများ ရှိပါသည်။
အလေးချိန်ကတော့ ရိုးရိုးသားသားပြောရရင် ဒုတိယအချက်အနေနဲ့ ထည့်သွင်းစဉ်းစားရမယ့်အချက်ပါ။ ဂရန်နိုက်ဟာ ညီမျှတဲ့ သံမဏိဖွဲ့စည်းပုံအပိုင်းထက် ပိုသိပ်သည်းဆများပြီး ဖောက်သည်ရဲ့ စင်မြင့်မော်တာတွေနဲ့ အထောက်အပံ့ဖွဲ့စည်းပုံက အဲဒီကွာခြားချက်ကို လိုက်လျောညီထွေဖြစ်အောင် လုပ်ဆောင်ဖို့ လိုအပ်ပါတယ်။ ဒါက ဂရန်နိုက် gantry ဒီဇိုင်းတွေရဲ့ တကယ့်အပေးအယူတစ်ခုပါ၊ ဖုံးကွယ်ထားရမယ့်အရာမဟုတ်ပါဘူး - အပူနဲ့ တုန်ခါမှုအကျိုးကျေးဇူးတွေက လျစ်လျူရှုမယ့်အစား အင်ဂျင်နီယာပိုင်းဆိုင်ရာ အကျိုးကျေးဇူးတွေနဲ့ တွဲပါလာတာပါ။
ရလဒ်
တပ်ဆင်ပြီးနောက်၊ ဖောက်သည်က overlay error ကို အချိန်ကာလ သို့မဟုတ် ပတ်ဝန်းကျင်အပူချိန်ဖြင့် ယခင်ကကဲ့သို့ ခြေရာခံတော့မည် မဟုတ်ကြောင်း တင်ပြခဲ့ပြီး မူလရောဂါရှာဖွေမှုတွင် အပူရွေ့လျားမှုကို ညွှန်ပြခဲ့သော ဆက်စပ်မှုသည် အများအားဖြင့် ပျောက်ကွယ်သွားခဲ့သည်။ အဆိုင်းများတစ်လျှောက် ထပ်ခါတလဲလဲလုပ်ဆောင်နိုင်မှုသည် ပိုမိုတသမတ်တည်းဖြစ်လာခဲ့ပြီး၊ ထုတ်လုပ်မှုအထွက်နှုန်းသည် အကောင်းဆုံးအခြေအနေတိုင်းတာမှုထက် အပြည့်အဝလည်ပတ်မှုတစ်လျှောက် တသမတ်တည်းလုပ်ဆောင်နိုင်မှုပေါ်တွင် မူတည်သောကြောင့် ၎င်းသည် မည်သည့်အမြင့်ဆုံးတိကျမှုနံပါတ်ထက်မဆို လုပ်ငန်းလည်ပတ်မှုတွင် ပိုမိုအရေးပါခဲ့သည်။
ဤကိစ္စက ပိုမိုကျယ်ပြန့်စွာ ညွှန်ပြနေသည်မှာ အဘယ်နည်း။
ဖွဲ့စည်းပုံအခြေခံပစ္စည်းကို alignment ပြဿနာရှာဖွေရာတွင် လျစ်လျူရှုရန်လွယ်ကူသည်၊ အဘယ်ကြောင့်ဆိုသော် ၎င်းသည် ပထမဆုံးသံသယဖြစ်ဖွယ်မဟုတ်သောကြောင့်ဖြစ်သည် - မှန်ဘီလူးများ၊ ထိန်းချုပ်မှုကွင်းများနှင့် စင်မက္ကင်းနစ်များကို ဦးစွာအပြစ်တင်လေ့ရှိပြီး တစ်ခါတစ်ရံတွင် မှန်ကန်စွာအပြစ်တင်ခံရသည်။ သို့သော် ရွေ့လျားမှုသည် ဝန် သို့မဟုတ် ရွေ့လျားမှုပုံစံထက် အပူချိန်နှင့် ဆက်စပ်နေသောအခါ၊ တကယ့်ပြဿနာမဟုတ်သော စနစ်များကို ပြန်လည်ချိန်ညှိရန် အချိန်ပိုမကုန်မီ frame ကိုယ်တိုင်ကို ကြည့်ရှုသင့်သည်။ Granite gantry နှင့် bridge structures များသည် universal fix မဟုတ်ပါ၊ ၎င်းတို့သည် ပစ္စည်းကိရိယာအမျိုးအစားတိုင်းအတွက် မှန်ကန်သောအဖြေမဟုတ်ပါ - သို့သော် အပူချိန်တည်ငြိမ်မှုသည် အထွက်နှုန်းကို တိုက်ရိုက်ဆုံးဖြတ်သည့် အသုံးချမှုများအတွက်၊ ၎င်းတို့ကို ရောဂါရှာဖွေခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်တွင် ပုံမှန်ထက်စော၍ အကဲဖြတ်သင့်သည်။
ပို့စ်တင်ချိန်: ၂၀၂၆ ခုနှစ်၊ သြဂုတ်လ ၇ ရက်