semiconductor chip ထုတ်လုပ်ခြင်းနှင့် တိကျသော optical စစ်ဆေးခြင်းကဲ့သို့သော ခေတ်မီနယ်ပယ်များတွင်၊ အဓိကဒေတာများရယူရန်အတွက် မြင့်မားသောတိကျမှုရှိသော sensor များသည် အဓိကကိရိယာများဖြစ်သည်။ သို့သော်၊ ရှုပ်ထွေးသောလျှပ်စစ်သံလိုက်ပတ်ဝန်းကျင်များနှင့် မတည်ငြိမ်သောရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာအခြေအနေများသည် မကြာခဏ မတိကျသောတိုင်းတာမှုဒေတာများကို ဖြစ်ပေါ်စေသည်။ ဂရနိုက်အခြေခံသည် ၎င်း၏သံလိုက်မဟုတ်သော၊ အကာအကွယ်ပေးထားသောဂုဏ်သတ္တိများနှင့် အလွန်ကောင်းမွန်သောရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာတည်ငြိမ်မှုဖြင့် အာရုံခံကိရိယာအတွက် ယုံကြည်စိတ်ချရသောတိုင်းတာမှုပတ်ဝန်းကျင်ကို တည်ဆောက်ပေးသည်။

သံလိုက်မဟုတ်သော သဘောသဘာဝသည် အနှောင့်အယှက်ဖြစ်စေသော အရင်းအမြစ်ကို ဖြတ်တောက်ပေးသည်
inductive displacement sensor များနှင့် magnetic scale scale များကဲ့သို့သော မြင့်မားသောတိကျမှုရှိသော sensor များသည် သံလိုက်စက်ကွင်းပြောင်းလဲမှုများကို အလွန်အာရုံခံနိုင်စွမ်းရှိပါသည်။ ရိုးရာသတ္တုအခြေခံများ (သံမဏိနှင့် အလူမီနီယမ်သတ္တုစပ်ကဲ့သို့) ၏ မွေးရာပါသံလိုက်စွမ်းအားသည် sensor ပတ်လည်တွင် အနှောင့်အယှက်ဖြစ်စေသော သံလိုက်စက်ကွင်းကို ဖန်တီးပေးနိုင်သည်။ sensor လည်ပတ်နေချိန်တွင် ပြင်ပအနှောင့်အယှက်သံလိုက်စက်ကွင်းသည် အတွင်းပိုင်းသံလိုက်စက်ကွင်းနှင့် အပြန်အလှန်အကျိုးသက်ရောက်ပြီး တိုင်းတာမှုဒေတာ သွေဖည်မှုများကို အလွယ်တကူဖြစ်စေနိုင်သည်။
ဂရန်နိုက်သည် သဘာဝမီးသင့်ကျောက်တစ်ခုအနေဖြင့် ကွာ့ဇ်၊ ဖယ်ဒ်စပါနှင့် မိုက်ကာကဲ့သို့သော သတ္တုဓာတ်များဖြင့် ဖွဲ့စည်းထားသည်။ ၎င်း၏အတွင်းပိုင်းဖွဲ့စည်းပုံသည် ၎င်းတွင် သံလိုက်ဓာတ်လုံးဝမရှိကြောင်း ဆုံးဖြတ်ပေးသည်။ အမြစ်မှ အောက်ခြေ၏ သံလိုက်ဝင်ရောက်စွက်ဖက်မှုကို ဖယ်ရှားရန် ဂရန်နိုက်အောက်ခြေတွင် အာရုံခံကိရိယာကို တပ်ဆင်ပါ။ အီလက်ထရွန် မိုက်ခရိုစကုပ်နှင့် နျူကလီးယား သံလိုက်ပဲ့တင်ရိုက်ခတ်မှုကဲ့သို့သော တိကျသောကိရိယာများတွင် ဂရန်နိုက်အောက်ခြေသည် အာရုံခံကိရိယာသည် ပစ်မှတ်အရာဝတ္ထု၏ သိမ်မွေ့သောပြောင်းလဲမှုများကို တိကျစွာဖမ်းယူပေးပြီး သံလိုက်ဝင်ရောက်စွက်ဖက်မှုကြောင့် ဖြစ်ပေါ်လာသော တိုင်းတာမှုအမှားများကို ရှောင်ရှားပေးသည်။
ဖွဲ့စည်းပုံဆိုင်ရာ ဝိသေသလက္ခဏာများကို လျှပ်စစ်သံလိုက်ဒိုင်းကာနှင့် ပေါင်းစပ်ထားသည်။
ဂရန်နိုက်တွင် သတ္တုများကဲ့သို့ လျှပ်ကူးနိုင်စွမ်းမရှိသော်လည်း ၎င်း၏ထူးခြားသော ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာဖွဲ့စည်းပုံသည် လျှပ်စစ်သံလိုက်ဝင်ရောက်စွက်ဖက်မှုကိုလည်း အားနည်းစေနိုင်သည်။ ဂရန်နိုက်သည် အသားမာပြီး သိပ်သည်းသောဖွဲ့စည်းပုံရှိသည်။ သတ္တုပုံဆောင်ခဲများ၏ အပြန်အလှန်ချိတ်ဆက်ထားသော အစီအစဉ်သည် ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာအတားအဆီးတစ်ခုကို ဖန်တီးပေးသည်။ ပြင်ပလျှပ်စစ်သံလိုက်လှိုင်းများသည် အောက်ခြေသို့ ပျံ့နှံ့သွားသောအခါ စွမ်းအင်၏တစ်စိတ်တစ်ပိုင်းကို ပုံဆောင်ခဲမှ စုပ်ယူပြီး အပူစွမ်းအင်အဖြစ် ပြောင်းလဲပြီး တစ်စိတ်တစ်ပိုင်းကို ပုံဆောင်ခဲမျက်နှာပြင်ပေါ်တွင် ထင်ဟပ်ပြီး ပြန့်ကျဲစေသောကြောင့် အာရုံခံကိရိယာသို့ရောက်ရှိသော လျှပ်စစ်သံလိုက်လှိုင်းများ၏ ပြင်းထန်မှုကို လျော့ကျစေသည်။
လက်တွေ့အသုံးချမှုများတွင် ဂရနိုက်အခြေခံများကို သတ္တုအကာအကွယ်ပိုက်ကွန်များနှင့် ပေါင်းစပ်အသုံးပြု၍ ပေါင်းစပ်ဖွဲ့စည်းပုံများ ဖွဲ့စည်းလေ့ရှိသည်။ သတ္တုကွက်သည် မြင့်မားသောကြိမ်နှုန်းရှိသော လျှပ်စစ်သံလိုက်လှိုင်းများကို ပိတ်ဆို့ထားပြီး ဂရနိုက်သည် ကျန်ရှိနေသော အနှောင့်အယှက်များကို ပိုမိုအားနည်းစေပြီး တည်ငြိမ်သောပံ့ပိုးမှုကို ပေးပါသည်။ ကြိမ်နှုန်းပြောင်းစက်များနှင့် မော်တာများပြည့်နှက်နေသော စက်မှုလုပ်ငန်းဆိုင်ရာအလုပ်ရုံများတွင် ဤပေါင်းစပ်မှုသည် အာရုံခံကိရိယာများအား ပြင်းထန်သောလျှပ်စစ်သံလိုက်ပတ်ဝန်းကျင်တွင်ပင် တည်ငြိမ်စွာလည်ပတ်နိုင်စေပါသည်။
ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာဂုဏ်သတ္တိများကို တည်ငြိမ်စေပြီး တိုင်းတာမှုယုံကြည်စိတ်ချရမှုကို မြှင့်တင်ပါ
ဂရနိုက်၏ အပူချဲ့ထွင်မှုကိန်းသည် အလွန်နိမ့်သည် ((4-8) ×10⁻⁶/℃ သာ)၊ အပူချိန်အတက်အကျရှိသောအခါ ၎င်း၏အရွယ်အစားသည် အလွန်နည်းပါးပြီး အာရုံခံကိရိယာတပ်ဆင်မှုအနေအထား၏ တည်ငြိမ်မှုကို သေချာစေသည်။ ၎င်း၏ အလွန်ကောင်းမွန်သော တုန်ခါမှုစွမ်းဆောင်ရည်သည် ပတ်ဝန်းကျင်တုန်ခါမှုများကို လျင်မြန်စွာစုပ်ယူနိုင်ပြီး တိုင်းတာမှုများအပေါ် စက်ပိုင်းဆိုင်ရာနှောင့်ယှက်မှုများ၏ လွှမ်းမိုးမှုကို လျှော့ချပေးနိုင်သည်။ တိကျသော အလင်းတိုင်းတာမှုတွင် ဂရနိုက်အခြေခံသည် အပူပုံပျက်ခြင်းနှင့် တုန်ခါမှုကြောင့် ဖြစ်ပေါ်လာသော အလင်းလမ်းကြောင်းအော့ဖ်ဆက်ကို ကာကွယ်ပေးနိုင်ပြီး တိုင်းတာမှုဒေတာ၏ တိကျမှုနှင့် ထပ်ခါတလဲလဲလုပ်ဆောင်နိုင်မှုကို သေချာစေသည်။
တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း wafer အထူထောက်လှမ်းခြင်းဆိုင်ရာ အခြေအနေတွင်၊ အချို့သောလုပ်ငန်းတစ်ခုသည် ဂရနိုက်အခြေခံကို လက်ခံကျင့်သုံးပြီးနောက်၊ တိုင်းတာမှုအမှားသည် ±5μm မှ ±1μm အတွင်းသို့ လျော့ကျသွားသည်။ အာကာသယာဉ်အစိတ်အပိုင်းများ၏ ပုံသဏ္ဍာန်နှင့် အနေအထားခံနိုင်ရည်စစ်ဆေးခြင်းတွင်၊ ဂရနိုက်အခြေခံကိုအသုံးပြုသော တိုင်းတာမှုစနစ်သည် ဒေတာထပ်ခါတလဲလဲလုပ်ဆောင်နိုင်မှုကို 30% ကျော်တိုးတက်စေခဲ့သည်။ ဤဖြစ်ရပ်များသည် ဂရနိုက်အခြေခံသည် လျှပ်စစ်သံလိုက်အနှောင့်အယှက်ကို ဖယ်ရှားခြင်းနှင့် ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာပတ်ဝန်းကျင်ကို တည်ငြိမ်စေခြင်းဖြင့် မြင့်မားသောတိကျမှုအာရုံခံကိရိယာများ၏ တိုင်းတာမှုယုံကြည်စိတ်ချရမှုကို သိသိသာသာမြှင့်တင်ပေးပြီး ခေတ်မီတိကျမှုတိုင်းတာခြင်းနယ်ပယ်တွင် မရှိမဖြစ်လိုအပ်သော အဓိကအစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်လာစေကြောင်း အပြည့်အဝသက်သေပြနေပါသည်။
ပို့စ်တင်ချိန်: ၂၀၂၅ ခုနှစ်၊ မေလ ၂၀ ရက်
