ဂရနိုက်ပလက်ဖောင်း၏ ငလျင်ဒဏ်ခံနိုင်သောအဆင့်စံနှုန်းကို ခွဲခြမ်းစိတ်ဖြာခြင်း- စက်မှုလုပ်ငန်းနှင့် သိပ္ပံနည်းကျသုတေသန၏ တည်ငြိမ်သောအုတ်မြစ်။

တိကျသော စက်မှုထုတ်လုပ်မှုနှင့် ခေတ်မီသိပ္ပံနည်းကျသုတေသနစူးစမ်းလေ့လာမှုနယ်ပယ်တွင်၊ ၎င်း၏ကောင်းမွန်သောငလျင်ဒဏ်ခံနိုင်စွမ်းဖြင့် ဂရနိုက်ပလက်ဖောင်းသည် မြင့်မားသောတိကျမှုရှိသောလုပ်ငန်းအမျိုးမျိုး၏ချောမွေ့စွာဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်မှုကိုသေချာစေရန်အဓိကပစ္စည်းကိရိယာတစ်ခုဖြစ်လာခဲ့သည်။ ၎င်း၏တင်းကျပ်သောတုန်ခါမှုဒဏ်ခံနိုင်သောအဆင့်သတ်မှတ်ချက်စံနှုန်းသည်တုန်ခါမှုကိုအလွန်အမင်းထိခိုက်လွယ်သောအလုပ်အခြေအနေများစွာအတွက်ယုံကြည်စိတ်ချရသောအာမခံချက်ကိုပေးသည်။
ပထမဦးစွာ၊ ဂရနိုက်ပလက်ဖောင်း၏ ငလျင်ဒဏ်ခံနိုင်သောအဆင့်၏ ဆုံးဖြတ်ချက်အခြေခံ
ပစ္စည်းဝိသေသလက္ခဏာများ- ဂရန်နိုက်ပလက်ဖောင်းကို သဘာဝဂရန်နိုက်ဖြင့် ပြုလုပ်ထားပြီး၊ ဘူမိဗေဒလုပ်ငန်းစဉ်များ သန်းပေါင်းများစွာကြာပြီးနောက်၊ အတွင်းပိုင်းပုံဆောင်ခဲဖွဲ့စည်းပုံကို အနီးကပ်စီစဉ်ထားပြီး အလွန်တူညီသည်။ ဤထူးခြားသောဖွဲ့စည်းပုံသည် ဂရန်နိုက်အား elastic modulus ပြောင်းလဲမှုနှုန်း အလွန်နည်းပါးစေပြီး၊ တုန်လှုပ်ချောက်ချားမှုခံရသောအခါ၊ သတ္တုကဲ့သို့သော အခြားဘုံပစ္စည်းများနှင့် နှိုင်းယှဉ်ပါက၊ ၎င်း၏ elastic deformation ကို အလွန်သေးငယ်သောအတိုင်းအတာဖြင့် ထိန်းချုပ်နိုင်သည်။ အာဏာပိုင်စမ်းသပ်အဖွဲ့အစည်းများ၏ ဆုံးဖြတ်ချက်အရ၊ စံတုန်ခါမှုစမ်းသပ်မှုပတ်ဝန်းကျင်တွင် ဂရန်နိုက်၏ elastic deformation သည် သာမန်သတ္တုပစ္စည်းများထက် 1/10-1/20 သာရှိပြီး၊ ပလက်ဖောင်း၏ အဆင့်မြင့်ငလျင်စွမ်းဆောင်ရည်အတွက် ခိုင်မာသောပစ္စည်းအခြေခံကို ချမှတ်ပေးသည်။
ဖွဲ့စည်းပုံဒီဇိုင်း- မက်ခရိုဖွဲ့စည်းပုံ၏ရှုထောင့်မှကြည့်လျှင် ဂရန်နိုက်ပလက်ဖောင်းကို အကောင်းဆုံးဂျီဩမေတြီပုံသဏ္ဍာန်နှင့် အထောက်အပံ့အပြင်အဆင်ဖြင့် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသည်။ ပလက်ဖောင်း၏ ಒಟ್ಟಾರೆအလျား-အနံ-အမြင့်အချိုးကို ဂရုတစိုက်တွက်ချက်ထားပြီး တည်ငြိမ်သောဆွဲငင်အားဗဟိုကိုသေချာစေပြီး တုန်ခါမှုကြောင့်ဖြစ်ပေါ်လာသော တုန်ခါမှုအန္တရာယ်ကို လျှော့ချပေးသည်။ တစ်ချိန်တည်းမှာပင်၊ အထောက်အပံ့အမှတ်များ၏ဖြန့်ဖြူးမှုကို စက်ပိုင်းဆိုင်ရာမူများနှင့်အညီ သိပ္ပံနည်းကျစီစဉ်ထားပြီး ပလက်ဖောင်းပေါ်တွင်ထားရှိသော အရာဝတ္ထုများ၏အလေးချိန်နှင့် ပြင်ပတုန်ခါမှုများမှထုတ်လုပ်သော သက်ရောက်မှုအားကို ညီတူညီမျှဖြန့်ဝေပေးနိုင်သည်။ ဥပမာအားဖြင့်၊ ဂရန်နိုက်ပလက်ဖောင်းကြီးတွင်၊ ဘက်စုံအထောက်အပံ့ဖွဲ့စည်းပုံကို အသုံးပြုထားပြီး အနီးနားရှိအထောက်အပံ့အမှတ်များအကြား အကွာအဝေးအမှားအယွင်းကို ±0.05 မီလီမီတာအတွင်း ထိန်းချုပ်ထားပြီး ဒေသတွင်းဖိစီးမှုအာရုံစူးစိုက်မှုကို ထိရောက်စွာရှောင်ရှားပြီး ပလက်ဖောင်း၏ငလျင်ခံနိုင်ရည်ကို ပိုမိုတိုးတက်စေသည်။
၂။ တုန်ခါမှုဒဏ်ခံနိုင်သော အဆင့်တစ်ခုစီ၏ အသေးစိတ်ညွှန်းကိန်းများနှင့် အသုံးချမှုအခြေအနေများ
အဆင့် I တုန်ခါမှုဒဏ်ခံနိုင်သော စံနှုန်း (အလွန်မြင့်မားသော တိကျမှုလိုအပ်ချက် အခြေအနေများ)
တုန်ခါမှု ရွေ့လျားမှု အညွှန်းကိန်း- တုပထားသော ငလျင်လှိုင်း တုန်ခါမှုကြိမ်နှုန်း (0.1Hz-100Hz) အတိုင်းအတာအတွင်း၊ ပလက်ဖောင်းမျက်နှာပြင်ပေါ်ရှိ မည်သည့်နေရာတွင်မဆို တုန်ခါမှု ရွေ့လျားမှု၏ အမြင့်ဆုံးတန်ဖိုးသည် 0.001 မီလီမီတာထက် မပိုပါ။ ပတ်ဝန်းကျင်ရှိ ကြီးမားသော စက်ပစ္စည်းများ (ဥပမာ 1Hz-10Hz ခန့် ကြိမ်နှုန်းတွင် လေးလံသော စက်ကိရိယာ၏ တုန်ခါမှုကဲ့သို့) လည်ပတ်မှုကြောင့် ဖြစ်ပေါ်လာသော အနိမ့်ကြိမ်နှုန်း တုန်ခါမှုကို ဝင်ရောက်စွက်ဖက်သောအခါ၊ ပလက်ဖောင်းပေါ်တွင် တပ်ဆင်ထားသော မြင့်မားသော တိကျမှုရှိသော အလင်းတိုင်းတာသည့် ကိရိယာများ၊ ဥပမာ အက်တမ်အား မိုက်ခရိုစကုပ်ကဲ့သို့သော တိုင်းတာသည့် စမ်းသပ်ကိရိယာနှင့် တိုင်းတာထားသော နမူနာအကြား ဆွေမျိုး ရွေ့လျားမှု ပြောင်းလဲမှုသည် မပြောပလောက်ဘဲဖြစ်ပြီး နာနိုစကေးတွင် တိုင်းတာမှု တိကျမှုကို မထိခိုက်ကြောင်း သေချာစေသည်။
အသုံးချမှုအခြေအနေ- ၎င်းကို အဓိကအားဖြင့် semiconductor chip ထုတ်လုပ်ခြင်း၏ lithography လုပ်ငန်းစဉ်တွင် အသုံးပြုသည်။ ချစ်ပ်ထုတ်လုပ်မှုသည် အလွန်မြင့်မားသော lithographic တိကျမှု လိုအပ်ပြီး မျဉ်းအကျယ်သည် nanometer အဆင့်သို့ ရောက်ရှိသည်။ lithography လုပ်ငန်းစဉ်တွင်၊ ဂရန်နိုက်ပလက်ဖောင်းသည် lithography စက်အတွက် တည်ငြိမ်သောပံ့ပိုးမှုပေးရန်၊ အလုပ်ရုံရှိ အခြားပစ္စည်းများ၏ လည်ပတ်မှုကြောင့် ဖြစ်ပေါ်လာသော တုန်ခါမှုကို ခွဲထုတ်ရန်နှင့် lithography ပုံစံ၏ တိကျသောလွှဲပြောင်းမှုကို သေချာစေရန် လိုအပ်ပြီး ထို့ကြောင့် ချစ်ပ်ထုတ်လုပ်မှု၏ ထွက်နှုန်းကို သိသိသာသာ တိုးတက်စေသည်။ စက်မှုလုပ်ငန်းစာရင်းအင်းများအရ ပထမအဆင့် တုန်ခါမှုဒဏ်ခံနိုင်သော စံနှုန်းဖြစ်သော ဂရန်နိုက်ပလက်ဖောင်းနှင့် ကိုက်ညီသော ချစ်ပ်ထုတ်လုပ်မှုလိုင်းကို အသုံးပြုခြင်းသည် သာမန်ပလက်ဖောင်းများ အသုံးပြုခြင်းနှင့် နှိုင်းယှဉ်ပါက ထွက်နှုန်းကို ၁၅% မှ ၂၀% အထိ တိုးမြှင့်ပေးခဲ့သည်။
အဆင့် ၂ ရှော့ခ်ကာကွယ်မှုစံနှုန်း (မြင့်မားသောတိကျမှုအခြေအနေ)
တုန်ခါမှု ရွေ့လျားမှု အညွှန်းကိန်း- 0.1Hz-100Hz တုန်ခါမှုကြိမ်နှုန်းအောက်တွင်၊ ပလက်ဖောင်းမျက်နှာပြင်၏ အမြင့်ဆုံးတုန်ခါမှု ရွေ့လျားမှုကို 0.005 မီလီမီတာအတွင်း ထိန်းချုပ်ထားသည်။ တက္ကသိုလ်များရှိ သိပ္ပံသုတေသနဓာတ်ခွဲခန်းများတွင် ပြုလုပ်သော အဏုကြည့်မှန်ပြောင်းဖြင့်သာမြင်နိုင်သော အမှုန်အမွှား ထောက်လှမ်းခြင်း စမ်းသပ်မှုများအတွက်၊ ဥပမာ scanning tunneling microscope (STM) စမ်းသပ်ချက်များအတွက်၊ ဤတုန်ခါမှုဒဏ်ခံနိုင်သော စွမ်းဆောင်ရည်အဆင့်သည် ဓာတ်ခွဲခန်းတစ်ဝိုက်တွင် လှုပ်ရှားနေသော ဝန်ထမ်းများနှင့် ဓာတ်ခွဲခန်းတစ်ဝိုက်တွင် လှုပ်ရှားနေသော စက်ပစ္စည်းများကဲ့သို့သော ရိုးရာတုန်ခါမှုရင်းမြစ်အချို့ရှိသော်လည်း STM ၏ အဖျားနှင့် နမူနာကြားရှိ ဆွေမျိုးအနေအထားသည် တည်ငြိမ်ကြောင်း သေချာစေသည်။ ထို့ကြောင့်၊ အဏုကြည့်မှန်ပြောင်းဖြင့်သာမြင်နိုင်သော အမှုန်များ၏ ကွမ်တမ်အခြေအနေအချက်အလက်များကို တိကျစွာဖမ်းယူထားပြီး၊ ၎င်းသည် သုတေသီများအတွက် တိကျသော စမ်းသပ်ဒေတာများရရှိရန် အာမခံချက်ပေးသည်။
အသုံးချမှုအခြေအနေ- မြင့်မားသောတိကျမှုရှိသော အီလက်ထရွန်းနစ်ချိန်ခွင်လျှာထုတ်လုပ်မှု debugging လုပ်ငန်းစဉ်ကဲ့သို့သော အဆင့်မြင့်တိကျသောတူရိယာထုတ်လုပ်မှုတွင် ကျယ်ကျယ်ပြန့်ပြန့်အသုံးပြုကြသည်။ အီလက်ထရွန်းနစ်ချိန်ခွင်လျှာများသည် တုန်ခါမှုကို အလွန်ထိခိုက်လွယ်ပြီး တုန်ခါမှုအနည်းငယ်ပင် တိုင်းတာမှုရလဒ်များတွင် သွေဖည်မှုများဖြစ်စေနိုင်သည်။ ဒုတိယအဆင့် တုန်ခါမှုဒဏ်ခံနိုင်သောစံနှုန်းနှင့်ကိုက်ညီသော ဂရနိုက်ပလက်ဖောင်းသည် အီလက်ထရွန်းနစ်ချိန်ခွင်လျှာကို ချိန်ညှိခြင်းနှင့် စတင်အသုံးပြုရန်အတွက် တည်ငြိမ်သောပတ်ဝန်းကျင်ကို ပေးစွမ်းနိုင်ပြီး ချိန်ခွင်လျှာ၏တိုင်းတာမှုတိကျမှုသည် မိုက်ခရိုဂရမ်အဆင့်သို့ရောက်ရှိကြောင်း သေချာစေပြီး ဆေးဝါးနှင့် လက်ဝတ်ရတနာခွဲခြားသတ်မှတ်ခြင်းကဲ့သို့သော မြင့်မားသောအလေးချိန်တိုင်းတာမှုတိကျမှုအတွက် စက်မှုလုပ်ငန်းလိုအပ်ချက်ကို ဖြည့်ဆည်းပေးနိုင်သည်။
အဆင့်သုံးဆင့် တုန်ခါမှုဒဏ်ခံနိုင်သော စံနှုန်း (မြင့်မားသော တိကျမှုအခြေအနေ)
တုန်ခါမှု ရွေ့လျားမှု အညွှန်းကိန်း- တုန်ခါမှုကြိမ်နှုန်း 0.1Hz-100Hz အတိုင်းအတာတွင်၊ ပလက်ဖောင်းမျက်နှာပြင်၏ အမြင့်ဆုံးတုန်ခါမှု ရွေ့လျားမှုသည် 0.01 မီလီမီတာထက် မပိုပါ။ စက်ရုံအလုပ်ရုံတွင် အသုံးများသော အလတ်စား စက်ပစ္စည်းများ လည်ပတ်မှုကြောင့် ဖြစ်ပေါ်လာသော တုန်ခါမှုနှင့် ရင်ဆိုင်ရသည့်အခါ (တုန်ခါမှုကြိမ်နှုန်းမှာ ယေဘုယျအားဖြင့် 10Hz-50Hz)၊ ဂရနိုက်ပလက်ဖောင်းပေါ်တွင် တပ်ဆင်ထားသော သာမန်တိုင်းတာသည့် စက်ပစ္စည်းများ၊ ဥပမာ ကိုဩဒိနိတ်တိုင်းတာသည့် ကိရိယာသည် တိုင်းတာမှုတိကျမှုကို တည်ငြိမ်စွာ ထိန်းသိမ်းထားနိုင်ပြီး တိုင်းတာမှုဒေတာ၏ သွေဖည်မှုကို အလွန်သေးငယ်သော အတိုင်းအတာအတွင်း ထိန်းချုပ်ထားသည်။
အသုံးချမှုအခြေအနေ- အော်တိုအစိတ်အပိုင်းများထုတ်လုပ်ရာတွင် တိကျစွာတိုင်းတာရန်အတွက် သင့်လျော်ပါသည်။ အော်တိုအင်ဂျင်ဆလင်ဒါဘလောက်၊ ဂီယာဂီယာနှင့် အခြားအစိတ်အပိုင်းများ၏ စက်ပိုင်းဆိုင်ရာတိကျမှုသည် အော်တို၏စွမ်းဆောင်ရည်နှင့် ယုံကြည်စိတ်ချရမှုကို တိုက်ရိုက်အကျိုးသက်ရောက်ပါသည်။ ဤအစိတ်အပိုင်းများကို တိုင်းတာရာတွင်၊ တုန်ခါမှုဒဏ်ခံနိုင်သော စွမ်းဆောင်ရည်သုံးခု၏ ဂရနိုက်ပလက်ဖောင်းသည် အလုပ်ရုံစက်ပစ္စည်းလည်ပတ်နေသော တုန်ခါမှုကို ထိရောက်စွာခွဲထုတ်နိုင်ပြီး၊ ကိုဩဒိနိတ်တိုင်းတာသည့်ကိရိယာသည် အစိတ်အပိုင်းများ၏ အရွယ်အစား၊ ပုံသဏ္ဍာန်နှင့် အနေအထားခံနိုင်ရည်နှင့် အခြားကန့်သတ်ချက်များကို တိကျစွာတိုင်းတာကြောင်းသေချာစေရန်၊ အော်တိုအစိတ်အပိုင်းများ၏ အရည်အသွေးထိန်းချုပ်မှုအတွက် ခိုင်မာသောပံ့ပိုးမှုပေးစွမ်းရန်နှင့် အော်တိုအစိတ်အပိုင်းများ ထုတ်လုပ်မှုအောင်မြင်နှုန်းကို မြှင့်တင်ရန်။
သုံး၊ ငလျင်အဆင့်သည် စံချိန်စံညွှန်းနှင့် ကိုက်ညီကြောင်း သေချာစေရန် တင်းကျပ်သော အရည်အသွေးစစ်ဆေးမှု
ဂရနိုက်ပလက်ဖောင်းတစ်ခုစီသည် သက်ဆိုင်ရာငလျင်ဒဏ်ခံနိုင်သောအဆင့်စံနှုန်းများနှင့်ကိုက်ညီကြောင်းသေချာစေရန်အတွက်၊ ကျွန်ုပ်တို့သည် တင်းကျပ်ပြီးပြီးပြည့်စုံသော အရည်အသွေးစစ်ဆေးရေးစနစ်တစ်ခုကို တည်ထောင်ထားပါသည်။ ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်တွင်၊ ၎င်း၏အတွင်းပိုင်းဖွဲ့စည်းပုံသည် တစ်ပြေးညီဖြစ်ပြီး သိသာထင်ရှားသောချို့ယွင်းချက်များမရှိကြောင်းသေချာစေရန် ဂရနိုက်ကုန်ကြမ်းတစ်ခုစီတွင် ပြည့်စုံသောရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာဂုဏ်သတ္တိစမ်းသပ်မှုကို ပြုလုပ်ပါသည်။ ပလက်ဖောင်းလုပ်ဆောင်ခြင်းပြီးဆုံးပြီးနောက်၊ ပလက်ဖောင်းကိုစမ်းသပ်ရန် အဆင့်မြင့်တုန်ခါမှုတုပခြင်းစမ်းသပ်ကိရိယာများကို အသုံးပြု၍ ရှုပ်ထွေးသောတုန်ခါမှုပတ်ဝန်းကျင်အမျိုးမျိုးကိုတုပပါသည်။ မြင့်မားသောတိကျသောလေဆာရွေ့လျားမှုအာရုံခံကိရိယာမှတစ်ဆင့်၊ တုန်ခါမှုလုပ်ငန်းစဉ်အတွင်း ပလက်ဖောင်းမျက်နှာပြင်ပေါ်ရှိအမှတ်တစ်ခုစီ၏ရွေ့လျားမှုပြောင်းလဲမှုများကို အချိန်နှင့်တပြေးညီစောင့်ကြည့်ပြီး အချက်အလက်များကို ခွဲခြမ်းစိတ်ဖြာရန်အတွက် ပရော်ဖက်ရှင်နယ်ဒေတာလုပ်ဆောင်ခြင်းစနစ်သို့ ပေးပို့ပါသည်။ ပလက်ဖောင်း၏တုန်ခါမှုညွှန်ပြချက်များသည် သက်ဆိုင်ရာတုန်ခါမှုဒဏ်ခံနိုင်သောအဆင့်စံနှုန်းများနှင့် အပြည့်အဝကိုက်ညီမှသာ ၎င်းတို့ကို ဈေးကွက်တွင်ရောင်းချခွင့်ပြုပါသည်။
အကျဉ်းချုပ်ရလျှင် ဂရန်နိုက်ပလက်ဖောင်းသည် ၎င်း၏ သိပ္ပံနည်းကျ တုန်ခါမှုဒဏ်ခံနိုင်သော အဆင့်စံနှုန်းများ၊ အလွန်ကောင်းမွန်သော တုန်ခါမှုဒဏ်ခံနိုင်သော စွမ်းဆောင်ရည်နှင့် တင်းကျပ်သော အရည်အသွေးထိန်းချုပ်မှုတို့ဖြင့်၊ စက်မှုထုတ်လုပ်မှုနှင့် သိပ္ပံနည်းကျ သုတေသနလုပ်ငန်းအတွက် မြင့်မားသော တိကျမှုရှိသော လုပ်ငန်းဆောင်တာများတွင် မရှိမဖြစ် တည်ငြိမ်သော ပံ့ပိုးမှုပေးစွမ်းရန် မရှိမဖြစ်လိုအပ်သော ရွေးချယ်မှုဖြစ်ပြီး၊ အဆုံးစွန်သော တိကျမှုနှင့် ယုံကြည်စိတ်ချရမှုကို လိုက်စားခြင်းဖြစ်သည်။